ГОСТ 8.367-79 Государственная система обеспечения единства измерений (ГСИ). Меры длины концевые плоскопараллельные образцовые 1-го и 2-го разрядов и рабочие классов точности 00 и 0 длиной до 1000 мм. Методы и средства поверки.

ГОСТ 8.367-79

Группа Т88.5*

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ СТАНДАРТ СОЮЗА ССР

 Государственная система обеспечения единства измерений

 МЕРЫ ДЛИНЫ КОНЦЕВЫЕ ПЛОСКОПАРАЛЛЕЛЬНЫЕ ОБРАЗЦОВЫЕ

1 И 2-го РАЗРЯДОВ  И РАБОЧИЕ КЛАССОВ ТОЧНОСТИ 00 И 0 ДЛИНОЙ ДО 1000 мм

 Методы и средства поверки

 State system for ensuring the uniformity of measurements

Reference gauge-blocks of the 1st and the 2nd accuracy orders and working gauge-blocks

 of 00 and 0 accuracy classes up to 1000 mm. Methods and means for verification

Дата введения 1981-01-01

РАЗРАБОТАН Государственным комитетом СССР по стандартам

ИСПОЛНИТЕЛИ

Ю.П.Ефремов (руководитель темы); Е.И.Латышева

ВНЕСЕН Государственным комитетом СССР по стандартам

Член Госстандарта В.И.Кипаренко

УТВЕРЖДЕН И ВВЕДЕН В ДЕЙСТВИЕ Постановлением Государственного комитета СССР по стандартам от 27 ноября 1979 г. N 4542

ВЗАМЕН Инструкции 96-65

Настоящий стандарт распространяется на плоскопараллельные концевые меры длины (далее - концевые меры) длиной до 1000 мм образцовые 1 и 2-го разрядов по ГОСТ 8.166-75, рабочие классов точности 00 и 0 по ГОСТ 9038-73 и рабочие класса точности 0 по ГОСТ 13581-68 и устанавливает методы и средства их первичной и периодической поверок.

 1. ОПЕРАЦИИ И СРЕДСТВА ПОВЕРКИ

1.1. При проведении поверки концевых мер длины должны выполняться операции и применяться средства поверки, указанные в табл.1.

Таблица 1

1.2. Допускается применять другие вновь разработанные или находящиеся в применении средства поверки, прошедшие метрологическую аттестацию в органах государственной метрологической службы и удовлетворяющие по точности требованиям настоящего стандарта.

 2. УСЛОВИЯ ПОВЕРКИ И ПОДГОТОВКА К НЕЙ

2.1. При проведении поверки необходимо соблюдать условия, указанные в ГОСТ 8.166-75.

2.1.1. При поверке концевых мер абсолютным интерференционным методом их температура должна удовлетворять требованиям, указанным в табл.2; при поверке методом сравнения - в табл.3.

Таблица 2

Номинальная длина концевых мер 1-го разряда, мм	Допускаемые отклонения температуры концевых мер от 20 °С, если ТКЛР* мер известен с погрешностью не более, °С		Допускаемые изменения температуры концевых мер в течение 8 ч, °С	Длительность выдержки мер, не менее, ч
	±1·10 К	±0,1·10 К		около прибора	на измерительном столике прибора
От 0,1 до 4,5	2	3	1	2	0,25
"   5    "    9,5	1	3	0,5	2	0,5
"   10  "    25	0,5	2	0,5	2	1,0
"   30  "    40	0,2	2	0,2	2	1,0
"   50  "    70	0,2	1	0,2	4	2
"   80  "   100	0,1	1	0,2	4	2
"  125 "   175	0,1	1	0,2	4	4
"  200 "   500	0,1	1	0,1	6	6
"  600 "  1000	0,1	0,5	0,1	8	8

________________

* ТКЛР - температурный коэффициент линейного расширения.

Таблица 3

Номинальная длина концевых мер 2-го разряда, мм	Допускаемые отклонения температуры концевых мер от 20 °С, если ТКЛР мер известен с погрешностью не более, °С		Длительность выдержки мер рядом друг с другом, не менее, ч
	±1·10 К	±0,1 ·10 К	около прибора	на измерительном столике
От 0,1 до 4,5	2	4	1	0,25
"  5      " 9,5	1	4	1	0,25
"  10    " 25	0,5	3	1	0,4
"  30    " 40	0,2	3	1,5	0,5
"  50    " 70	0,2	2	1,5	0,5
"  80    " 100	0,2	2	2	1
"  125  " 175	0,1	1	2	2
"  200  " 500	0,1	1	3	2
"  600  " 1000	0,1	1	4	2

2.1.2. Относительная влажность воздуха в помещении не должна превышать 80%.

2.1.3. Необходимо предусмотреть возможность затемнения помещения.

2.1.4. При поверке образцовых мер 1 и 2-го разрядов абсолютным интерференционным методом погрешности измерения температуры мер

, давления воздуха

и его влажности

не должны превышать значений, указанных в табл.4.

Таблица 4

2.1.5. Для определения температуры воздуха и поверяемых концевых мер используют ртутные стеклянные термометры с ценой деления от 0,1 °С до 0,01 °С по ГОСТ 13646-68, а также платиновые термометры сопротивления в комплекте с термометрическими местами, медь-константановыми термопарами, переключателями направления термотока и гальванометрами или микровольтнаноамперметрами.

Температуру концевых мер длиной до 10 мм принимают равной температуре термометра, вставленного в столик измерительного прибора.

Схемы измерения температуры концевых мер с помощью стеклянного ртутного термометра с ценой деления 0,01 °С или с помощью платинового термометра сопротивления и медь-константановых термопар с гальванометром представлены на черт.1 и 2 справочного приложения 17.

2.1.6. Отсчитанное по барометру значение атмосферного давления необходимо привести к температуре 0 °С, географической широте 45° и к уровню моря.

Поправки для приведения показаний барометра к температуре 0 °С приведены в табл.1, к уровню моря - в табл.2, к широте 45° - в табл.3 обязательного приложения 13.

Для условий измерения поправки вычисляют, интерполируя данные таблиц обязательного приложения 13 (см. пример 1 обязательного приложения 15).

Для каждой поверочной лаборатории (для данной географической широты и высоты над уровнем моря) необходимо составить сводную таблицу поправок.

2.1.7. Влажность воздуха

в мм рт.ст. вычисляют по показаниям сухого

и влажного

термометров аспирационного психрометра по ГОСТ 6353-52 по формуле:

,                                                         (1)

где

- давление насыщенных паров воды в мм рт.ст. при температуре

, °C.

Давление насыщенных паров воды при температурах от 8 до 30 °С приведено в обязательном приложении 14.

Пример вычисления влажности воздуха приведен в обязательном приложении 15 (пример 2).

2.2. Перед проведением поверки концевых мер длины должны быть выполнены следующие подготовительные работы.

2.2.1. После транспортирования концевые меры необходимо выдержать в помещении в их упаковке не менее 18 ч, после чего каждая мера должна быть распакована, освобождена от смазки, тщательно промыта авиационным бензином по ГОСТ 1012-72 и вытерта чистой сухой салфеткой из хлопчатобумажной ткани.

2.2.2. Вспомогательные пластины должны быть подготовлены, как указано в п.2.2.1.

Металлические пластины должны быть промыты авиационным бензином, стеклянные и кварцевые - этиловым спиртом по ГОСТ 18300-72*.

2.2.3. Подготовительные работы необходимо проводить в специальном помещении, имеющем вытяжной шкаф.

 3. ПРОВЕДЕНИЕ ПОВЕРКИ

3.1. Внешний осмотр

3.1.1. При проведении внешнего осмотра должно быть установлено соответствие концевых мер требованиям ГОСТ 9038-73 на комплектность наборов, маркировку мер и футляров.

3.1.2. На нерабочих поверхностях образцовых мер не должно быть следов коррозии.

3.1.3. На измерительных поверхностях концевых мер, находящихся в эксплуатации или выпускаемых из ремонта, допускается наличие незначительных дефектов, не влияющих на притираемость мер.

3.2. Проверка притираемости

3.2.1. Проверке на притираемость подвергают обе измерительные поверхности каждой концевой меры не ранее чем через 20-30 мин для мер длиной до 100 мм и через 1-2 ч для мер длиной св. 100 мм после подготовки мер и вспомогательных пластин к поверке.

Проверку усилия сдвига при притирании мер друг к другу производят в соответствии с требованиями ГОСТ 8.166-75.

3.2.2. Непосредственно перед притиранием измерительная поверхность концевой меры и рабочая поверхность вспомогательной пластины должны быть протерты чистой сухой салфеткой.

Рукой в тонкой перчатке или закрытой салфеткой концевую меру необходимо приложить поверяемой измерительной поверхностью к рабочей поверхности вспомогательной пластины, находящейся в другой руке.

Наблюдая поверхность концевой меры через пластину, слегка прижимают меру к пластине или пластину к мере, чтобы появились интерференционные полосы, расширяющиеся при дальнейшем сдавливании, и, наконец, исчезающие. При этом поверхности концевой меры и вспомогательной пластины должны прочно сцепиться между собой.

3.2.3. Если расширения и исчезновения полос не происходит или после сцепления поверхностей наблюдаются цветные или белые пятна, необходимо повторить очистку поверхностей более тщательно. С помощью лупы проводят внешний осмотр измерительных поверхностей, особенно в местах появления пятен, и при отсутствии заметных дефектов снова притирают меру к пластине.

Можно также сдвинуть меру на соседний участок поверхности пластины или притереть меру к другой пластине.

3.2.4. Притираемость образцовых концевых мер должна соответствовать требованиям ГОСТ 8.166-75, рабочих концевых мер - требованиям ГОСТ 9038-73 или ГОСТ 13581-68.

3.2.5. Перед определением срединной длины и отклонения от плоскопараллельности абсолютным интерференционным методом каждая концевая мера должна быть притерта посредине вспомогательной пластины.

При поверке методом сличения обе меры - поверяемая и образцовая (или эталонная) - должны быть притерты в середине пластины рядом, так, чтобы длинные ребра измерительных поверхностей мер были параллельны друг другу.

Меры, притертые к пластине, должны быть выдержаны вблизи интерферометра, а затем внутри его, на измерительном столике, в течение времени, указанного в табл.2 и 3.

3.2.6. При поверке концевых мер длиной свыше 100 мм на горизонтальном интерферометре ВНИИМ (см. обязательное приложение 10) к ним должны притираться стальные вспомогательные пластины.

К концевым мерам, длина которых не кратна 100 мм, должны быть притерты вспомогательные меры известной длины, чтобы длина блока была кратна 100 мм.

3.3. Определение отклонения от плоскостности концевых мер в свободном состоянии.

3.3.1. Определение отклонения от плоскостности измерительных поверхностей концевых мер длиной св. 0,6 до 3 мм включительно в свободном состоянии должно проводиться на интерферометре Кестерса (см. обязательное приложение 1).

3.3.2. Концевую меру располагают на стеклянной пластине, установленной на предметном столике 18 (см. черт.1 или 2 обязательного приложения 1) так, чтобы она была видна в середине поля зрения интерферометра и длинное ребро измерительной поверхности было параллельно горизонтальной нити перекрестия зрительной трубы. Далее необходимо найти интерференционные полосы на поверхности концевой меры (см. пп.2 и 3 обязательного приложения 1).

3.3.3. Сначала полосы располагают в вертикальном направлении (черт.1,

а

) и производят отсчет максимальной стрелы прогиба полос в долях расстояния между ними (

). Затем полосы располагают в горизонтальном направлении (черт.1,

б

) и производят отсчет максимальной стрелы прогиба полос (

).

Черт.1

Отклонение от измерительной поверхности концевой меры

подсчитывают по формуле

,                                                    (2)

где

- длина волны используемого света;

       

- наибольший из отсчетов (

или

).

3.3.4. Наличие разнонаправленной кривизны (извернутости) обнаруживается либо по появлению точек перегиба на интерференционных полосах (черт.2), либо по появлению не менее двух линий или точек, в которые полосы стягиваются или из которых они расходятся при легком нажиме на зрительную трубу интерферометра (направление движения полос на черт.2 показано стрелками).

Черт.2

3.3.5. Отклонение от плоскостности поверхности в случае ее извернутости должно определяться по максимальному отклонению от плоскостности в той части меры, где кривизна поверхности односторонняя (см. черт.2).

3.3.6. Отклонение от плоскостности измерительной поверхности меры в свободном состоянии не должно превышать значений, указанных в ГОСТ 9038-73.

3.4. Определение отклонения от плоскопараллельности, срединной длины и отклонений длины от номинальной образцовых концевых мер 1-го разряда и рабочих мер класса точности 00 длиной до 100 мм.

3.4.1. Притертую к вспомогательной пластине и выдержанную согласно требованиям табл.2 концевую меру устанавливают на предметный столик 18 интерферометра Кестерса (черт.1 и 2 обязательного приложения 1). Указатель 10 устанавливают посредине меры (черт.1 обязательного приложения 1) или на номинальное значение ее длины по шкале А (черт.2 обязательного приложения 1).

К мерам длиной 10 мм и более присоединяют рабочий спай термопары.

3.4.2. С помощью регулировочных винтов необходимо добиться, чтобы направление интерференционных полос на поверхности пластины было вертикальным и чтобы на поверхности концевой меры было видно 3 или 5 полос.

Кроме того, добиваются, чтобы при легком нажатии рукой на зрительную трубу вниз или при движении вверх столика 9 (черт.1 и 2 обязательного приложения 1) интерференционные полосы в поле зрения перемещались слева направо. В этом случае порядок интерференции в направлении слева направо для полос, наблюдаемых на пластине, увеличивается, а для полос на концевой мере - уменьшается (черт.3, а).

Черт.3

3.4.3. Для меры с незначительным отклонением от плоскопараллельности интерференционные полосы на поверхности меры параллельны полосам на поверхности пластины и имеют такую же ширину (черт.3, б).

Для мер с отклонением от плоскопараллельности интерференционные полосы на поверхности меры по сравнению с полосами на поверхности пластины либо имеют различную ширину, либо наклонены к ним, либо искривлены. В общем случае наблюдаются различные сочетания (черт.3,

в

и 4), например, на черт.4,

г

полосы на мере искривлены и шире полос на пластине. Отклонение от плоскопараллельности

определяется суммой отклонения от плоскопараллельности меры вдоль длинного

и вдоль короткого ребра

по формуле

.                                                            (3)

а

-

=3,75-3,0=0,75,

=0;

б

-

=0,

=0,4;

в

-

=0,

=0,4;

г

-

=3,8-3,2=0,6,

=0,3.

Черт.4

3.4.3.1. Для определения отклонения от плоскопараллельности вдоль длинного ребра концевой меры

находят разность

числа одновременно наблюдаемых полос между точками

b

и

d

на поверхности меры и пластины (черт.4,

а

) и определяют по формуле

,                                                    (4)

где

- длина волны используемого света.

3.4.3.2. Для определения отклонения от плоскопараллельности вдоль короткого ребра концевой меры

измеряют проекцию

интерференционной полосы на мере на длинное ребро ее измерительной поверхности в единицах расстояния между полосами на пластине (черт.4,

б

) и определяют по формуле

.                                                    (4’)

3.4.3.3. Отклонение от плоскопараллельности

вдоль длинного ребра измерительной поверхности меры можно также определить, располагая интерференционные полосы на пластине горизонтально, параллельно длинному ребру, и измеряя

, как проекцию интерференционной полосы на мере на ее короткое ребро в единицах расстояния между полосами на пластине (черт.5).

Черт.5

3.4.3.4. Точки а, b, d и е на черт.4, а должны быть расположены на расстоянии 1,5 мм от меньших боковых (нерабочих) граней и на расстоянии 1 мм - от больших боковых граней меры, точка с - в середине поверхности меры.

Примечание. В поле зрения интерферометра наблюдается зеркальное изображение поверхности меры.

3.4.4. Для определения срединной длины меры производят измерение дробных частей порядков интерференции

для нескольких спектральных линий используемого источника света, температуры меры

, давления

, температуры

и влажности

воздуха, затем производят сравнение измеренных

с вычисленными

(выписанными из таблиц обязательных приложений 3, 5, 7 или 9 для номинальной длины меры) и вводят поправки на условия измерений, отличающиеся от нормальных

.

3.4.4.1. Одну из темных интерференционных полос на поверхности концевой меры располагают так, чтобы вертикальная линия перекрестия проходила через ее середину и середину измерительной поверхности меры.

Значение

в этом случае - расстояние от темной полосы на пластине, первой слева от вертикальной линии перекрестия, до середины полосы на мере, выраженное в долях расстояния между соседними полосами на пластине (черт.3

б

,

в

).

3.4.4.2. Определение

проводят, например, переходя от красной области спектра к фиолетовой, а затем в обратном направлении - от фиолетовой к красной, и вычисляют среднее значение

для каждой линии.

3.4.4.3. Для тех же спектральных линий и номинальной длины поверяемой меры из таблиц обязательных приложений 3, 5, 7 или 9 выписывают дробные части порядков интерференции

и находят разности

и

для каждой линии. Если при этом уменьшаемое меньше вычитаемого, к уменьшаемому надо добавить единицу.

При малом отклонении срединной длины меры от номинального значения (0,3 мкм и менее) числа ряда

,

,

,... (или

,

,

, ...) возрастают от красной к фиолетовой спектральной линиям, так что произведения

(или

) одинаковы для всех спектральных линий. Допускаются отклонения в пределах ±0,02 мкм от среднего значения этих произведений.

При большем отклонении эти произведения неодинаковы, тогда необходимо подобрать такие целые числа

, чтобы были одинаковыми с той же погрешностью произведения

(или

).

Как правило,

=1; 2 или 3 и редко

=4; 5 или 6.

Среднее из найденных таким образом (способом совпадения дробных частей порядков интерференции) произведений для нескольких спектральных линий определяет отклонение срединной длины меры в условиях измерения от ее номинальной длины

.                                                (5)

Значение

положительно, если совпадение найдено для ряда разностей

, и отрицательно - для

.

3.4.4.4. Значение

можно также определять при помощи специальных линеек - номограмм, прилагаемых к интерферометру Кестерса. Внешний вид линейки для криптона показан на черт.6. Линейка имеет движок с визиром, шкалу, всю длину которой условно принимают равной 1 мкм (или 3 мкм), и шкалы для отдельных спектральных линий, показывающие число их полуволн, укладывающихся в той или иной длине от 0 до 1 мкм (или до 3 мкм). Числа 10, 20, 30 ... на черт.6, показывают сотые доли числа полуволн.

Черт.6

3.4.4.5. В результат измерения далее должна быть введена поправка

на отличие длин волн в условиях измерения от их длин в нормальных условиях

,                   (6)

где

,

и

- температура (°C), давление (мм рт.ст.) и влажность воздуха (мм рт.ст.).

Поправку

можно определять также по специальной линейке, часть которой показана на черт.7.

Черт.7

При определении

по формуле (6) или по линейке черт.7 температуру воздуха принимают равной температуре меры.

3.4.4.6. Для приведения результата измерений к нормальной температуре 20 °С должна быть введена поправка

,                                                      (7)

где

- температурный коэффициент линейного расширения меры;

- номинальная длина концевой меры;

       

- температура концевой меры.

Примечания: 1. Значение ТКЛР для стальных мер по ГОСТ 9038-73 принимают равным 11,5·10

К

; для твердосплавных мер по ГОСТ 13581-68 - выбирают из выпускного аттестата (паспорта).

2. При необходимости значение ТКЛР мер с погрешностью до ±0,1·10

К

может быть определено по результатам измерения их длины абсолютным интерференционным методом при различных температурах, отличающихся от 20 °С на ±5 °С (см. справочное приложение 20).

3.4.4.7. Кроме того, в результат измерения должны быть внесены поправки:

на размер входной щели интерферометра по формуле

,                                                     (8)

где

и

- длина и ширина щели;

       

- фокусное расстояние объектива коллиматора;

на разнородность измерительной поверхности меры и поверхности, притертой к ней вспомогательной пластины:

для пары сталь-стекло или сталь-кварц

=+0,02 мкм,                                                         (9)

для пар сталь-сталь и твердый сплав-стекло

=0.                                                                 (9)*

3.4.4.8. Отклонение действительной срединной длины меры при 20 °С от ее номинальной длины должно быть подсчитано по формуле

.                                    (10)

Примеры расчетов

и

приведены в обязательном приложении 15 (примеры 3 и 4).

3.4.4.9. Определение срединной длины и отклонения от плоскопараллельности образцовых концевых мер 1-го разряда должно быть произведено независимо друг от друга двумя наблюдателями при каждой из двух притирок вспомогательной пластины сначала к одной, а затем к другой измерительной поверхности меры. За результат измерения принимают среднее арифметическое из 4 или более результатов, полученных обоими наблюдателями.

3.4.4.10. Расхождение между средними из результатов измерений каждого наблюдателя не должно превышать половины предела допускаемой погрешности измерений длины, установленного для образцовой меры 1-го разряда данной номинальной длины.

3.4.5. Определение срединной длины образцовых концевых мер 1-го разряда методом сравнения с рабочими эталонами производят таким же образом, как измерение длины образцовых концевых мер 2-го разряда методом сравнения с образцовыми концевыми мерами 1-го разряда (пп.3.6.2-3.6.6 и 3.7.2-3.7.8).

3.4.6. Отклонение длины концевой меры от номинального значения

принимают равным сумме абсолютного значения отклонения срединной длины меры при 20 °С

, определенного по (10), и половины отклонения концевой меры от плоскопараллельности

, определенного по формуле (3)

.

Отклонения длины образцовых концевых мер не должны превышать значений, указанных в ГОСТ 9038-73 для мер класса точности 2.

3.5. Определение отклонения от плоскопараллельности, срединной длины и отклонения длины от номинальной образцовых концевых мер 1-го разряда длиной свыше 100 мм.

3.5.1. Определение срединной длины и отклонения от плоскопараллельности образцовых концевых мер 1-го разряда длиной свыше 100 мм производят на установке с горизонтальным интерферометром ВНИИМ (см. обязательное приложение 10).

3.5.2. Сначала отсчитывают температуру меры и эталона (см. справочное приложение 17), атмосферное давление, температуру и давление воздуха в помещении, устанавливают нуль по шкале микроманометра 8 (черт.3 обязательного приложения 10), закрывают кран 9 и, изменяя насосом 10 давление воздуха в эталоне, добиваются совмещения ахроматических полос двух систем полос, как показано на черт.2, в обязательного приложения 10.

Производят 3-4 совмещения ахроматических полос и отсчитывают 3-4 показания по шкале микроманометра 8.

Затем приводят давление внутри эталона к атмосферному, открывают кран 9 и отсчитывают смещение указателя с нуля шкалы.

Вычисляют среднее арифметическое 3-4 отсчетов, вносят в него поправку на смещение нуля и по графику градуировки микроманометра (см. справочное приложение 18) определяют изменение оптической длины эталона

в мкм на 1 м длины.

Значение

при уменьшении давления воздуха в эталоне отрицательно, при увеличении - положительно.

Снова производят отсчеты температуры концевой меры и интерферометра, температуры и давления воздуха и вычисляют их средние значения

,

,

,

.

3.5.3. Отклонение срединной длины концевой меры при 20 °С от ее номинальной длины

в мкм вычисляют по формуле

,          (11)

где  

- отклонение действительной длины интерферометра Фабри-Перо при 20 °С от номинальной длины 100 мм, мкм;

       

и

- ТКЛР интерферометра и концевой меры, К

;

       

- номинальная длина концевой меры, м.

3.5.4. Определение отклонения длины интерферометра Фабри-Перо при 20 °С от номинальной проводят как определение срединной длины концевых мер 1-го разряда длиной до 100 мм (пп.3.4.4.2-3.4.4.8) методом совпадения дробных частей порядков интерференции

в центре интерференционных колец равного наклона. Поправку

принимают равной нулю. Определение дробных частей порядков интерференции проводят либо фотографированием колец равного наклона, либо фотоэлектрической регистрацией их.

3.5.5. При фотографировании колец равного наклона входную щель интерферометра (см. черт.1 обязательного приложения 10) раздвигают по горизонтали до размера 5-6 мм, вводят откидное зеркало 13 и фокусируют изображение щели, вырезающей центральную часть концентрических интерференционных колец, на фотопленку 15.

Получив изображения колец в нескольких спектральных линиях, проводят измерение их диаметров с помощью компаратора типа ИЗА или измерительного микроскопа.

Значение

определяют по формуле

,                                                            (12)

где

- число измеренных диаметров,

,

,

,

.

Для

=5:

=30 и

=1

0.

3.5.6. При определении

в центре колец равного наклона при фотоэлектрической регистрации интерференционных полос щель

7

(черт.3 обязательного приложения 10) ограничивают до квадратной, размером 0,8х0,8 мм

, вместо кассеты с фотопленкой вставляют фотоэлектронный умножитель

1

, на катод которого попадает изображение центра интерференционных колец. Кран

9

поворачивают в положение "фотоэлектрическая регистрация", включают усилитель постоянного тока

12

-

14

, устанавливают указатель чувствительного усилителя

14

на 4·10

А/мм, а указатель скорости движения ленты самописца

13

- на 0,1 или 0,2 мм/с. Включают выпрямитель типа ВС-9 и устанавливают выходное напряжение, соответствующее нормальной работе ФЭУ; подают высокое напряжение на делитель ФЭУ, при этом стрелка показывающего прибора на передней панели

12

должна отклониться на 30-40 мм; при закрывании входной щели

7

стрелка должна отклониться не более чем на 5 мм; в противном случае уменьшают или увеличивают напряжение на делителе ФЭУ.

Устанавливают кран 16 микроманометра - датчика атмосферного давления 15 в положение "Атмосфера", при этом световой указатель его должен быть установлен на нуль шкалы так, чтобы часть света от него попадала на один из фотоэлементов в схеме усилителя типа Ф-16 (в этом случае включение осветителя микроманометра приводит к резкому отклонению стрелки прибора 12 в одну сторону, а выключение - в другую сторону). После этого переводят кран 16 в положение "Регистрация" и включают мотор 17 насоса 19.

Включают мотор лентопротяжного механизма самописца 14 и запись отклонения, для чего нажимают и поворачивают кнопку на панели блока 12. Через некоторое время автоматически произойдет переключение направления вращения электромотора 17 и давление начнет изменяться в другую сторону, при этом на ленте самописца будут регистрироваться интерференционные максимумы и минимумы. В момент, когда давление становится равным атмосферному, перо самописца сделает выброс-отметку. Через 5-8 мин направление вращения электромотора автоматически снова изменится на обратное, и снова будут регистрироваться интерференционные максимумы и минимумы, а в момент прохождения указателя микроманометра через нуль шкалы перо самописца сделает выброс-отметку (черт.8).

Черт.8

Значение

определяют по положению отметок на регистрограмме относительно двух последовательных интерференционных максимумов и направлению изменения давления: при возрастании порядок интерференции

увеличивается, при уменьшении давления - уменьшается:

,

где

- расстояние от отметки до центра максимума

;

       

- расстояние между максимумами

и

.

Определение

для каждой спектральной линии проводят и при увеличении давления, и при его уменьшении, а за результат принимают их среднее арифметическое.

3.5.7. Повторные измерения длины интерферометра Фабри-Перо допускается проводить при определении

только для двух спектральных линий, например, зеленой и фиолетовой кадмия-114 или ртути-198.

3.5.8. Измерение отклонения от плоскопараллельности концевых мер на горизонтальном интерферометре ВНИИМ производят так же, как и на интерферометре Кестерса в пп.3.4.3.1-3.4.3.2.

При этом измерение разности длин концевой меры вдоль длинного

и вдоль короткого

ребра измерительной поверхности должно быть произведено дважды - при расположении меры на опорах сначала одной (

и

), а затем другой своей узкой нерабочей поверхностью (

и

).

В обоих положениях меры добиваются, чтобы полосы в поле зрения интерферометра на поверхности вспомогательной пластины были расположены горизонтально и чтобы обе системы полос, на пластине и на мере, двигались в одну и ту же сторону при одном и том же направлении движения относительного зеркала.

Отсчетам

и

приписывают, например, знак "+", если полосы на пластине шире полос на мере, и знак "-", если полосы на пластине уже полос на мере.

Отсчетам

и

приписывают знак "+", если полосы на мере наклонены в одну сторону, и знак "-", если они наклонены в другую сторону.

Тогда отклонение от плоскопараллельности меры

определяют по формуле

.                                           (13)

3.6. Определение отклонения от плоскопараллельности, срединной длины и отклонения длины от номинальной образцовых концевых мер 2-го разряда и рабочих концевых мер класса точности 0 длиной до 100 мм.

3.6.1. Определение длины и отклонений от плоскопараллельности образцовых концевых мер 2-го разряда и рабочих класса точности 0 длиной до 100 мм производят сравнением их с образцовыми концевыми мерами длины 1-го разряда с помощью интерферометра Кестерса (см. обязательное приложение 1) или двойного контактного интерферометра модели 272 (см. обязательное приложение 12).

3.6.2. На столике интерферометра Кестерса должны быть установлены притертые рядом друг с другом поверяемая (П) и исходная (И) концевые меры, выдержанные предварительно согласно требованиям табл.3, так, чтобы в поле зрения интерферометра поверяемая мера была видна над исходной.

Примечание. При притирании концевых мер длиной свыше 20 мм к вспомогательной пластине сначала притирают исходную меру и ставят ее на зеркало, а затем притирают поверяемую меру, наблюдая в зеркале изображение притираемой поверхности и контролируя качество притирки.

3.6.3. Корпус интерферометра (см. черт.1 обязательного приложения 1) или его столик (черт.2 обязательного приложения 1) перемещают так, чтобы указатель 10 располагался примерно посредине поверяемой меры. Соответствующими наклонами столика устанавливают вертикально интерференционные полосы, наблюдаемые на поверхности пластины, так, чтобы на измерительных поверхностях концевых мер было видно по 3-5 интерференционных полос, а при легком нажиме на зрительную трубу полосы двигались слева направо.

Интерференционные полосы на поверхностях сравниваемых мер могут быть непараллельны полосам на пластине (черт.9).

Черт.9

3.6.4. Определение отклонения от плоскопараллельности поверяемой концевой меры в этом случае проводят независимо от образцовой меры способом, приведенным в пп.3.4.3.1 и 3.4.3.2.

3.6.5. Совместив середину темной полосы на поверяемой концевой мере с вертикальной линией перекрестия, отсчитывают смещение вертикальной линии от середины темной полосы на исходной мере, первой слева от этой линии. За единицу принимают расстояние между полосами на исходной мере. Смещение

отсчитывают для нескольких спектральных линий. Разность срединных длин сравниваемых мер

определяют методом совпадения дробных частей порядков интерференции, как в пп.3.4.4.3 и 3.4.4.4, принимая

, а

вычисляя по формуле (5) или по линейке-номограмме. Дробные части порядков интерференции

определяют по таблицам обязательных приложений 3, 5, 7 или 9 для длины

, равной разности номинальных длин мер.

При сравнении мер одинаковой номинальной длины

=0 и совпадения ищут для рядов дробных

или

.

Срединная длина поверяемой меры

будет равна

,                                                       (14)

где

- срединная длина исходной меры;

       

- измеренная разность длин, положительная, когда совпадение найдено для

, и отрицательная, если совпадение найдено для разностей

.

Примеры измерения разности длин концевых мер приведены в обязательном приложении 15 (примеры 5 и 6).

3.6.6. Использование при сравнении длин мер только одной спектральной линии допускается при повторных поверках стабильных мер, когда ошибка в определении их длины на

исключена. В этом случае используют желтую линию криптона или гелия.

Для удобства работы используют вспомогательную таблицу перевода в микрометры числа полуволн желтой линии криптона (

=0,29355 мкм) или гелия (

=0,29378 мкм), приведенную в обязательном приложении 16.

3.6.7. При определении срединной длины, отклонения от плоскопараллельности и отклонения длины от номинального значения образцовых концевых мер 2-го разряда и рабочих концевых мер класса точности 0 с помощью двойного контактного интерферометра поверяемую и исходную меры выдерживают согласно требованиям табл.3 вблизи прибора и затем на его столике. Подвижная часть контактного интерферометра должна быть закреплена на соответствующей высоте так, чтобы, установив исходную меру на столик 9 (черт.1 обязательного приложения 12) и опустив на ее поверхность наконечник 8, была возможность его перемещения в небольших пределах вверх и вниз. Наконечники 8 и 8’ должны касаться меры в середине ее измерительных поверхностей.

Нулевые (ахроматические) полосы нижнего и верхнего контактных интерферометров должны быть установлены на нуль своих шкал (на экране 14 и в поле зрения трубы с объективом 12 и окуляром 16).

Приподняв наконечник 8, вместо образцовой меры устанавливают поверяемую, опускают наконечник и восстанавливают положение ахроматической полосы на экране 14.

Отсчет положения ахроматической полосы на шкале, наблюдаемой в окуляр 16, производят с погрешностью до десятых долей деления шкалы и, зная цену деления шкалы, находят разность срединных длин сравниваемых мер.

Определение разности срединных длин мер производят, повторив весь процесс измерения не менее трех раз, и за результат измерений принимают среднее арифметическое результатов всех измерений.

3.6.8. Таким же образом должна быть определена разность длин поверяемой концевой меры в точках a, b, d и е (черт.4, а), а затем подсчитана длина концевой меры в этих точках.

Наибольшую по абсолютному значению разность длин концевой меры в любых двух точках из пяти:

а

,

b

,

с

,

d

и

е

принимают равной отклонению от плоскопараллельности меры

.

Наибольшую по абсолютному значению разность между номинальной длиной меры и ее длиной в точках

а

,

b

,

с

,

d

и

е

принимают равной отклонению длины концевой меры от номинальной

.

Значения

и

определяют класс точности концевой меры по ГОСТ 9038-73 и ГОСТ 13581-68.

3.6.9. Поверку образцовых концевых мер 2-го разряда и рабочих класса точности 0 длиной до 100 мм допускается проводить также абсолютным интерференционным методом (пп.3.4.4.1-3.4.4.8). При этом определение отклонения от плоскопараллельности, срединной длины и отклонения длины от номинальной допускается проводить одному наблюдателю по одному измерению при каждой из двух притирок. Расхождение между результатами измерений при двух притирках не должно превышать половины предела допускаемой погрешности измерения длины концевых мер 2-го разряда данной длины.

3.7. Определение отклонения от плоскопараллельности, срединной длины и отклонения длины от номинальной образцовых концевых мер 2-го разряда и рабочих концевых мер класса точности 0 длиной свыше 100 мм.

3.7.1. Определение срединной длины, отклонения от плоскопараллельности и отклонения длины от номинального значения образцовых концевых мер 2-го разряда и рабочих концевых мер класса точности 0 длиной свыше 100 мм проводят с помощью относительного интерферометра ВНИИМ (см. обязательное приложение 11) или оптико-механической машины типа ИЗМ, оснащенной трубкой контактного интерферометра типа ИКПВ или ИКПГ.

3.7.2. При определении разности срединных длин концевых мер с помощью относительного интерферометра ВНИИМ обе меры устанавливают на отдельные каретки на опоры, расположенные на расстоянии 0,211

от концов меры (точки Эри), сначала поверяемую меру помещают ближе к наблюдателю (положение I), затем - образцовую (положение II).

Окуляр 13 (черт.1 обязательного приложения 11) переключают в положение, при котором в поле зрения видны три пары изображений входной щели интерферометра (черт.10, а), одна пара из которых соответствует отражению света от измерительных поверхностей одной меры, вторая пара от измерительных поверхностей другой меры, третья, неподвижная, образована проходящим светом.

Черт.10

Подвижные изображения от правых и от левых измерительных поверхностей мер должны быть попарно совмещены с неподвижными изображениями (черт.10, б).

Затем окуляр 13 должен быть переключен в положение, при котором в поле зрения видны два изображения измерительных поверхностей мер. Вращая рукоятку механизма медленного перемещения одной из мер, добиваются появления интерференционных полос в белом свете на обеих поверхностях.

Поворотом барабана компенсатора

15

(черт.1 обязательного приложения 11) и рукоятки того же механизма перемещения совмещают ахроматические полосы обеих систем в середине измерительных поверхностей, на горизонтальной нити перекрестия (черт.2 обязательного приложения 11). Произведя 3-4 совмещения полос и отсчета по барабану компенсатора, вычисляют среднее арифметическое значение

.

После этого концевые меры должны быть вынуты из прибора, а компенсатор поставлен в такое положение, при котором поле зрения прибора имеет вид темного, более или менее размытого, пятна или, если наблюдается система интерференционных полос, середина ахроматической полосы будет расположена на горизонтальной нити перекрестия. Среднее из 3-4 отсчетов по барабану в этом случае дает положение "нуля"

компенсатора.

Разность длин сравниваемых мер будет равна

, где

- цена деления барабана компенсатора, которая должна быть определена заранее, например, согласно методике, изложенной в справочном приложении 19.

Так же определяют

и в положении II:

и за окончательный результат принимают среднее арифметическое

.

3.7.3. Между результатами сравнения длин мер в положениях I и II допускается расхождение, не превышающее

мкм, где

- длина меры, м.

3.7.4. При определении отклонений от плоскопараллельности концевых мер на относительном интерферометре поверяемую меру устанавливают узкой нерабочей поверхностью на специальных опорах на ближайшей к наблюдателю каретке так, чтобы на каждую измерительную поверхность меры симметрично падали оба пучка света интерферометра. При этом мера "загораживает" чуть меньше половины каждого пучка. Совместив изображения входной щели (черт.10, б), в поле зрения можно будет наблюдать картину, состоящую из трех систем интерференционных полос: фона (Ф), на правой измерительной поверхности меры (П) и на левой (Л) (черт.11).

Черт.11

3.7.5. Отклонение от плоскопараллельности концевой меры вдоль короткого ребра

определяют, не обращая внимания на полосы фона (Ф). Поворотом меры с помощью регулировочных винтов, выведенных наружу, добиваются, чтобы полосы картины

Л

были параллельны горизонтальной нити окуляра (черт.11,

а

). Вращая барабан компенсатора, ахроматическую полосу

Л

3-4 раза приводят к совмещению с горизонтальной нитью, производят отсчеты, вычисляют среднее арифметическое

. Затем, вращая барабан компенсатора, ахроматическую полосу картины

П

приводят к горизонтальной нити, к точке пересечения нити и края меры (черт.11,

б

) и также производят 3-4 отсчета и вычисляют среднее арифметическое

. Далее меру поворачивают на 180° вокруг продольной оси и таким же образом определяют среднее арифметическое 3-4 отсчетов

и

.

Отклонение меры от плоскопараллельности вдоль короткого ребра

определяют по формуле

.                                          (15)

3.7.6. При определении отклонения от параллельности концевой меры вдоль длинного ребра

мера должна быть установлена на две другие опоры плашмя, чтобы на каждую измерительную поверхность симметрично падали оба пучка света интерферометра.

Поворачивая меру сначала от руки грубо, а затем винтами поворота, добиваются появления интерференционных полос в поле зрения (черт.12, а).

Черт.12

Как и в п.3.7.5 устанавливают полосы

Л

параллельно горизонтальной нити окуляра; вращая барабан компенсатора, совмещают ахроматическую полосу

Л

с этой нитью, производят 3-4 отсчета и вычисляют их среднее арифметическое

. Совместив с горизонтальной нитью и краем меры ахроматическую полосу правой картины

П

, производят 3-4 отсчета и вычисляют среднее арифметическое

, (черт.12,

б

).

Повернув меру на 180° вокруг продольной оси и повторив операции, вычисляют среднее арифметическое 3-4 отсчетов

и

.

Так как расстояние между крайними точками пучков составляет примерно

длины ребра, вдоль которого измеряется отклонение от плоскопараллельности, значение

определяют по формуле

.                                          (16)

Общее отклонение от плоскопараллельности

равно сумме

и

.

3.7.7. При определении отклонений от плоскопараллельности, срединной длины и отклонений длины от номинальной образцовых концевых мер 2-го разряда и рабочих концевых мер класса точности 0 длиной свыше 100 мм на оптико-механической машине типа ИЗМ с трубкой контактного интерферометра поверяемую и образцовую меры устанавливают на их узкие нерабочие поверхности в точках Эри на люнеты с цилиндрическими опорными поверхностями или на предметном столе - для мер до 500 мм.

Перед установкой мер на люнеты или на стол пинольная бабка должна быть передвинута влево на расстояние, позволяющее установить меры так, чтобы они не касались наконечников контактного интерферометра и пиноли.

Концевые меры устанавливают так, чтобы их измерительные поверхности находились примерно в одной плоскости.

После соответствующей выдержки мер (согласно требованиям табл.3) перемещают бабку с пинолью до соприкосновения наконечника пиноли с измерительной поверхностью исходной меры; освобождают стопорный винт измерительной бабки и осторожно перемещают бабку до соприкосновения наконечника интерференционной трубки с другой измерительной поверхностью образцовой меры, т.е. до начала движения шкалы в поле зрения интерференционной трубки; закрепляют стопорный винт измерительной бабки и микроподачей перемещают бабку так, чтобы ахроматическая полоса в поле зрения трубки располагалась в пределах ±10 делений шкалы; легкими перемещениями меры в горизонтальном и вертикальном направлениях добиваются минимального показания на шкале интерференционной трубки, после чего микровинтом пиноли или измерительной бабки ахроматическую полосу в поле зрения трубки устанавливают на нуль шкалы; арретиром отводят 2-3 раза наконечник измерительной трубки и убеждаются, что нулевой отсчет в пределах ±0,2 деления шкалы остается постоянным (

).

Далее отводят арретиром наконечник трубки интерферометра и осторожно перемещают в поперечном направлении стол с установленными на нем концевыми мерами так, чтобы наконечники оказались против середин измерительных поверхностей поверяемой меры.

Затем, покачивая меру в горизонтальном и вертикальном направлениях, находят минимальное показание

по шкале трубки интерферометра.

Зная цену деления шкалы интерферометра

, определяют разность срединных длин поверяемой и образцовой мер:

.

3.7.8. При определении отклонения меры от плоскопараллельности измеряют отклонение длины поверяемой меры в точках a, b, d и е (черт.4, а) относительно срединной длины исходной меры, перемещая меру так, чтобы перед наконечниками оказывались поочередно эти точки.

Затем измерение повторяют в обратной последовательности, то есть в точках е, d, b и а, после чего между наконечниками устанавливают исходную меру и проверяют нулевое положение.

Если "нуль конечный" отличается от "нуля начального" не более чем на 0,02 мкм, измерение считают удовлетворительным. В противном случае все измерения повторяют.

3.7.9. Из отклонений

,

,

,

и

должна быть выбрана пара, разность между которыми максимальна по абсолютному значению. Эту разность принимают за отклонение меры от плоскопараллельности.

3.7.10. Вычисляют длину меры в точках а, b, с, d и е и определяют разности этих длин и номинальной длины. Наибольшую по абсолютному значению из этих разностей принимают за отклонение длины меры от номинальной.

3.7.11. При определении срединной длины мер свыше 100 до 1000 мм методом сравнения срединная длина поверяемой меры должна быть подсчитана по формуле

,

где

- номинальная длина мер;

- срединная длина исходной меры;

       

- измеренная разность срединных длин мер;

и

- ТКЛР (К

) и температура (°С) исходной меры;

и

- ТКЛР (К

) и температура (°С) поверяемой ме

ры.

3.8. После проведения поверки концевые меры должны быть промыты бензином, тщательно высушены и вытерты, а затем смазаны антикоррозионным составом и упакованы в соответствии с требованиями ГОСТ 9038-73 или ГОСТ 13581-68.

3.9. После первой аттестации образцовых концевых мер 1 и 2-го разрядов на одной из нерабочих поверхностей мер длиной до 5,5 мм включительно должен быть нанесен условный знак набора, мер длиной свыше 5,5 до 100 мм включительно - условный знак или номер набора, мер длиной свыше 100 мм - номер набора.

3.9.1. Нанесение условного знака или номера набора производит предприятие - владелец концевых мер длины.

 4. ОФОРМЛЕНИЕ РЕЗУЛЬТАТОВ ПОВЕРКИ

4.1. Оформление результатов поверки образцовых концевых мер длины 1 и 2-го разрядов и рабочих мер классов точности 00 и 0 проводят в соответствии с требованиями ГОСТ 8.166-75.

4.2. В свидетельствах о поверке образцовых концевых мер срединную длину забракованных мер не указывают.

4.3. Концевые меры, не удовлетворяющие требованиям настоящего стандарта, к выпуску и применению не допускают.

   ПРИЛОЖЕНИЕ 1

Обязательное

СХЕМА И КРАТКОЕ ОПИСАНИЕ ИНТЕРФЕРОМЕТРА КЕСТЕРСА

1. Схема интерферометра Кестерса (интерференционного компаратора ф. "Карл Цейсс", Иена) представлена на черт.1 (старая модель) и черт.2 (новая модель). Интерферометр состоит из коллиматора с объективом 1 и коллиматорной (входной) щелью 2, дисперсионной призмы 20, разделяющей пластины 7, компенсирующей пластины 6, относительного зеркала 5, зрительной трубы с объективом 17 и выходной щелью 19. Все эти части интерферометра старой модели жестко соединены между собой и могут перемещаться в вертикальном направлении.

Черт.1

Черт.2

В новой модели интерферометра (черт.2) эти части жестко укреплены на стойке прибора. В нижней части интерферометров расположен стол 14, перемещаемый во втулке винтом микроподачи 12 и закрепляемый в требуемом положении стопорным винтом 11. Винтами 10, вращаемыми с помощью стержней 13, регулируют положение поверяемой меры 9 и пластины 16, устанавливаемых на предметный столик 15.

В приборе черт.2 перемещают по вертикальным направляющим только установочный стол 14. Указатель 8, соединенный с подвижной частью приборов, показывает положение изображения поверхности относительного зеркала 5 в верхней поверхности, разделяющей пластины 7.

Свет от газоразрядной лампы 4 конденсором 3 направляется во входную щель 2 интерферометра, находящуюся в фокальной плоскости объектива коллиматора 1. Пройдя призму Аббе с постоянным углом отклонения 90°, пластиной 7 свет делится на два когерентных пучка. Один из них, отраженный, проходит через пластину 6, падает нормально на зеркало 5, и, отразившись от него, попадает в зрительную трубу и через щель 19 - в глаз наблюдателя.

Второй пучок проходит через пластину 7, падает на измерительную поверхность меры 9 и поверхность вспомогательной пластины 16, отражается от них, соединяется с первым пучком и вместе с ним попадает в зрительную трубу и глаз наблюдателя. В поле зрения прибора наблюдают две системы интерференционных полос равной толщины - на измерительной поверхности меры и на поверхности вспомогательной пластины, к которой мера притерта другой своей измерительной поверхностью.

2. Проверка правильности юстировки интерферометра Кестерса заключается в следующем

2.1. Перед выходной щелью 19 интерферометра устанавливают автоколлимационный окуляр 18 (черт.1 и 2), включают подсветку и наблюдают, достаточно ли точно совпадает автоколлимационное изображение щели, полученное при отражении белого света подсветки от зеркала 5, с самой щелью 19. При необходимости с помощью прилагаемого к прибору ключа производят небольшие перемещения щели до совпадения с ней ее автоколлимационного изображения.

2.2. Выключают лампу подсветки окуляра 18, удаляют щель 19, на прокладку 15 столика 14 устанавливают плоскую стальную пластину и включают источник света 4. Через окуляр 18 в плоскости выходной щели - фокальной плоскости объектива 17 зрительной трубы - должно быть видно по четыре изображения входной щели 2 для каждой спектральной линии, два из которых (изображения /// и IV черт.3) при наклонах пластины движутся в поле зрения, два других - остаются неподвижными.

Черт.3

Если изображения щели 2 (черт.1 и 2) освещены неполностью, небольшими перемещениями конденсора 12 и источника света 13 следует добиться, чтобы вся щель 2 была освещена равномерно.

Юстируя положение стола 9 с накладкой 17 и пластиной на ней, следует совместить изображения II и III (черт.3). После этого три изображения щели должны располагаться горизонтально (черт.3, б). Если три изображения образуют как бы "лестницу", подобную изображенной на черт.3, в, прибор должен быть отъюстирован специалистом. После совмещения изображений II и III щель 8 (черт.1 и 2) ставят на место и при соответствующем повороте диска (или рукоятки) 11 монохроматора это совмещенное изображение той или иной спектральной линии должно совпадать с границами щели.

2.3. Окуляр 16 отводят в сторону и наблюдают интерференционные полосы на поверхности стальной пластины, устанавливают их параллельно вертикальной оси перекрестия, которое нанесено на поверхность относительного зеркала 6. Поворачивая с помощью диска 11 призму 3, наблюдают полосы в монохроматическом свете нескольких спектральных линий, при этом наклон полос не должен меняться при переходе от красной области спектра к фиолетовой.

ПРИЛОЖЕНИЕ 2

Обязательное

КРАТКОЕ ОПИСАНИЕ И ОСНОВНЫЕ ТЕХНИЧЕСКИЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ

ГЕЛИЕВОЙ ГАЗОРАЗРЯДНОЙ ЛАМПЫ

Гелиевую лампу (черт.1) применяют для поверки образцовых концевых мер длины 1 и 2-го разряда длиной до 25 мм абсолютным интерференционным методом, а также для поверки мер 2-го разряда методом сравнения с мерами 1-го разряда.

Черт.1

Основные технические характеристики лампы:

При абсолютных измерениях длины концевых мер должны использоваться шесть спектральных линий в видимой области спектра гелия, положение которых показано на черт.2. Длины волн этих линий указаны в обязательном приложении 3. В интерферометр должен попадать свет, испускаемый лампой в направлении поперек разрядного капилляра.

Черт.2

ПРИЛОЖЕНИЕ 3

Обязательное

ТАБЛИЦА

1. Длины волн спектральных линий гелия в воздухе при температуре 20 °С, давлении 101325 Па (760 мм рт.ст.), давлении водяного пара 1333 Па (10 мм рт.ст.) и содержании CO

, равном 0,03%, и число их полуволн в 1 м даны в табл.1.

Таблица 1

2. Дробные части числа полуволн спектральных линий гелия, укладывающиеся в длине меры

, даны в табл.2.

Таблица 2

Длина меры, , мм	Дробные части числа полуволн спектральных линий гелия
	красной	желтой	зеленой	сине-зеленой	синей	фиолетовой
0,001	0,995	0,404	0,987	0,063	0,243	0,473
0,002	990	808	975	127	487	946
0,003	984	212	962	190	730	418
0,004	979	616	950	254	974	891
0,005	974	019	937	317	217	364
0,006	969	423	925	381	461	837
0,007	964	827	912	444	704	309
0,008	959	231	900	507	947	782
0,009	953	635	887	571	191	191
0,01	948	039	875	634	434	728
0,10	483	388	748	343	343	277
0,11	431	427	622	976	777	005
0,12	379	465	497	611	212	732
0,13	327	504	372	245	646	460
0,14	276	543	247	880	080	188
0,15	224	582	122	514	514	916
0,16	172	621	996	148	949	643
0,17	121	659	871	782	383	371
0,18	069	698	746	417	817	099
0,19	017	737	621	051	252	826
0,20	965	776	495	685	686	554
0,21	913	815	370	819	120	282
0,22	862	853	245	954	555	010
0,23	810	892	120	588	989	737
0,24	758	931	995	222	423	465
0,25	707	970	869	356	858	193
0,26	655	008	744	490	292	920
0,27	603	047	619	125	726	548
0,28	552	086	494	759	160	375
0,29	500	125	368	393	595	104
0,30	448	164	243	027	029	831
0,31	396	203	118	661	453	559
0,32	344	241	993	296	398	287
0,33	293	280	868	931	332	014
0,34	241	319	742	565	766	742
0,35	189	358	617	199	201	470
0,36	138	396	492	833	635	198
0,37	085	435	367	468	069	925
0,38	034	474	241	102	503	653
0,39	982	513	116	736	938	381
0,40	930	552	991	370	370	108
0,405	904	571	928	687	583	472
0,41	379	551	866	005	907	836
0,42	827	630	740	639	241	564
0,43	775	668	615	273	675	292
0,44	724	707	490	907	110	019
0,45	672	746	365	542	544	747
0,46	620	785	239	176	978	475
0,47	568	824	114	810	413	202
0,48	517	862	989	445	847	930
0,49	465	901	864	079	281	658
0,50	413	940	739	713	715	386
0,51	361	978	613	374	149	113
0,52	310	017	488	981	584	841
0,53	258	056	363	616	018	569
0,54	206	095	238	250	452	296
0,55	154	134	113	884	887	024
0,56	103	172	987	519	321	752
0,57	051	211	862	153	755	479
0,58	999	250	737	787	189	207
0,59	948	289	612	421	624	935
0,60	896	328	486	056	058	663
1,006	795	303	403	807	891	608
1,007	790	706	390	870	134	080
1,008	785	110	378	933	378	553
1,009	780	514	365	997	621	026
1,01	774	918	353	060	865	499
1,02	723	957	227	695	299	226
1,03	671	996	102	329	733	954
1,04	619	034	977	963	168	682
1,05	567	073	852	597	602	410
1,06	516	112	726	232	036	137
1,07	464	151	601	866	470	865
1,08	412	190	476	500	905	593
1,09	360	228	351	134	339	320
1,10	309	267	225	769	773	048
1,11	257	306	100	403	208	775
1,12	205	345	975	037	642	504
1,13	154	384	850	671	076	231
1,14	102	422	725	306	511	959
1,15	050	461	599	940	945	687
1,16	998	500	474	574	379	414
1,17	947	539	349	208	813	142
1,18	895	578	224	843	248	870
1,19	843	616	098	477	682	597
1,20	791	655	973	111	116	325
1,21	740	694	848	745	551	053
1,22	688	733	723	380	985	781
1,23	636	772	598	014	419	508
1,24	584	810	472	648	854	236
1,25	533	849	347	283	288	964
1,26	481	888	222	917	722	691
1,27	429	927	097	551	157	419
1,28	377	966	971	185	591	147
1,29	326	004	846	820	025	875
1,30	274	043	721	454	459	602
1,31	222	082	596	088	894	330
1,32	171	121	471	722	328	058
1,33	119	159	345	357	762	785
1,34	067	198	220	991	197	513
1,35	015	237	095	625	631	241
1,36	964	274	970	259	065	969
1,37	912	315	844	894	500	696
1,38	860	353	719	528	934	424
1,39	808	392	594	162	368	152
1,40	757	431	469	796	802	879
1,41	705	470	344	431	237	607
1,42	653	509	218	065	671	335
1,43	601	547	093	699	105	063
1,44	550	586	968	333	540	790
1,45	498	625	843	968	974	518
1,46	446	664	717	602	408	246
1,47	394	703	592	236	843	973
1,48	343	741	467	871	277	701
1,49	291	780	342	505	711	429
1,50	239	819	217	139	145	157
1,60	722	207	964	482	489	434
1,70	204	595	712	824	882	711
1,80	687	983	460	167	175	988
1,900	170	371	208	509	518	265
1,991	699	128	068	281	670	287
1,992	694	527	055	345	913	760
1,993	689	931	043	408	157	233
1,994	683	335	030	471	400	705
1,995	678	739	018	535	644	178
1,996	673	143	005	598	887	651
1,997	668	547	993	662	130	124
1,998	663	651	980	725	374	596
1,999	657	355	968	789	980	065
2,000	652	759	955	852	861	542
2,001	647	163	943	915	104	015
2,002	642	566	930	979	347	488
2,003	637	970	918	042	591	961
2,004	631	375	905	106	834	433
2,005	626	778	893	169	078	906
2,006	621	182	880	232	321	379
2,007	616	586	868	296	564	852
2,008	611	990	855	359	808	324
2,009	605	394	843	423	051	797
2,5	065	698	694	565	576	928
3,0	478	638	433	278	291	313
3,5	891	578	172	991	006	699
4,0	305	517	911	704	721	084
4,5	718	457	650	417	436	470
5,0	131	396	389	130	152	855
5,12	510	862	886	741	364	588
5,5	544	336	127	843	867	241
6,0	957	276	866	556	582	626
6,5	370	215	605	269	297	012
7,0	783	155	344	982	012	397
7,5	196	095	083	695	727	783
8,0	609	034	822	408	443	168
8,5	022	974	561	121	158	554
9,0	435	914	300	834	873	939
9,5	848	853	038	547	588	325
10,0	261	792	777	260	303	710
10,5	674	733	516	973	018	096
11,0	088	672	255	686	734	481
11,5	501	612	994	399	449	867
12,0	914	552	733	112	164	252
12,5	327	491	472	825	879	638
13,0	740	431	210	538	594	023
13,5	153	371	949	251	309	409
14,0	566	310	688	964	024	794
14,5	979	250	427	677	740	180
15,0	392	189	166	390	455	565
15,5	805	129	905	103	170	951
16,0	218	069	644	816	885	336
16,5	631	008	382	529	600	722
17,0	044	946	121	242	315	107
17,5	457	888	860	955	031	493
18,0	870	827	599	668	746	878
18,5	284	767	338	381	461	264
19,0	697	707	077	094	176	694
19,5	110	646	816	807	891	035
20,0	52	59	55	52	61	42
20,5	94	53	29	23	32	81
21,0	35	47	03	95	04	19
21,5	76	40	77	66	75	58
22,0	18	34	51	37	47	96
22,5	59	28	25	09	18	35
23,0	00	22	99	80	90	73
23,5	41	16	73	51	61	12
24,0	83	10	47	22	33	50
24,5	24	04	20	94	04	89
25,0	65	98	94	65	76	28
30,0	78	38	33	78	91	13

ПРИЛОЖЕНИЕ 4

Обязательное

КРАТКОЕ ОПИСАНИЕ И ОСНОВНЫЕ ТЕХНИЧЕСКИЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ ЛАМПЫ

С ЕСТЕСТВЕННЫМ КРИПТОНОМ

Газоразрядные лампы с естественным криптоном (черт.1) применяют для поверок образцовых концевых мер длины 1 и 2-го разрядов длиной до 125 мм абсолютным интерференционным методом. При этом используют свет, испускаемый лампой вдоль капилляра из его "анодного конца".

Черт.1

Технические характеристики лампы:

Положение четырех используемых для измерений спектральных линий криптона в видимой области спектра показано на черт.2, а длины их волн в нормальных условиях даны в обязательном приложении 5.

Черт.2

ПРИЛОЖЕНИЕ 5

Обязательное

ТАБЛИЦА

1. Длины волн спектральных линий криптона в воздухе при температуре 20 °С, давлении 101325 Па (760 мм рт.ст.), давлении водяного пара 1333 Па (10 мм рт.ст.) и содержании CO

, равном 0,03%, и число их полуволн в 1 м даны в табл.1.

Таблица 1

2. Дробные части числа полуволн спектральных линий криптона, укладывающихся в длине

, даны в табл.2.

Таблица 2

Длина , мм	Дробные части числа полуволн спектральных линий криптона
	красной	желтой	желто-зеленой	фиолетовой
0,001	0,098	0,407	0,540	0,442
0,002	195	813	080	884
0,003	293	220	620	326
0,004	391	626	160	768
0,005	489	033	700	210
0,006	586	440	240	653
0,007	684	846	780	095
0,008	782	253	321	537
0,009	880	659	861	979
0,010	977	066	401	421
0,10	774	660	008	210
0,11	751	726	409	631
0,12	728	793	810	052
0,13	706	859	211	473
0,14	683	925	611	894
0,15	661	991	012	314
0,16	638	057	413	735
0,17	615	123	814	156
0,18	593	189	215	577
0,19	570	255	615	998
0,20	548	321	016	419
0,21	525	387	417	840
0,22	502	453	818	261
0,23	480	519	218	682
0,24	457	585	619	103
0,25	434	651	020	524
0,26	412	717	421	945
0,27	389	783	822	366
0,28	367	849	222	787
0,29	344	916	623	208
0,30	321	982	024	629
0,31	299	048	425	050
0,32	276	114	825	471
0,33	253	180	226	892
0,34	231	246	627	313
0,35	208	312	028	734
0,36	186	378	429	155
0,37	163	444	829	576
0,38	140	510	230	997
0,39	118	576	631	418
0,40	095	642	032	838
0,41	072	708	433	259
0,42	050	774	833	680
0,43	027	840	234	101
0,44	005	906	635	522
0,45	982	972	036	943
0,46	959	039	436	364
0,47	937	105	837	785
0,48	914	171	238	206
0,49	892	237	639	627
0,50	869	303	039	048
0,51	846	368	441	469
0,52	824	434	841	890
0,53	801	500	242	311
0,54	779	566	643	732
0,55	756	632	044	153
0,56	733	699	444	574
0,57	711	765	845	995
0,58	688	831	246	416
0,59	666	897	647	937
0,60	643	963	047	258
0,61	620	029	449	678
0,62	598	095	849	099
0,63	575	161	250	520
0,64	553	227	651	941
0,65	530	293	052	362
0,66	507	360	452	783
0,67	485	426	853	204
0,68	462	492	254	625
0,69	440	558	655	046
0,70	416	624	055	467
0,80	190	285	063	677
0,90	961	945	071	887
0,91	941	011	472	307
0,92	919	077	873	728
0,93	896	143	273	149
0,95	851	275	075	991
0,96	828	341	576	412
0,97	806	408	876	833
0,98	783	474	277	254
0,990	760	540	678	675
0,991	858	947	217	117
0,992	956	353	757	559
0,993	054	760	298	001
0,994	152	166	838	443
0,995	249	573	378	886
0,996	347	980	918	328
0,997	445	386	458	770
0,998	543	793	998	212
0,999	640	199	538	654
1,000	738	606	078	096
1,001	836	012	618	538
1,002	933	419	159	980
1,003	031	826	699	422
1,004	129	232	239	864
1,005	227	639	779	307
1,006	324	045	319	749
1,007	422	452	859	191
1,008	520	859	399	633
1,009	618	265	939	075
1,01	715	672	479	517
1,02	693	738	880	938
1,03	670	804	281	359
1,04	647	870	682	780
1,05	625	936	082	201
1,06	602	002	483	622
1,07	580	068	884	043
1,08	557	134	285	464
1,09	534	200	685	885
1,10	512	266	086	306
1,11	489	332	487	727
1,12	466	399	888	148
1,13	444	465	289	569
1,14	421	531	689	990
1,15	399	597	090	410
1,16	376	663	491	331
1,17	353	729	892	252
1,18	331	795	293	673
1,19	308	861	693	094
1,20	286	927	094	515
1,21	263	993	495	936
1,22	240	059	896	357
1,23	218	125	296	778
1,24	195	191	697	199
1,25	172	257	098	620
1,26	150	323	499	041
1,27	127	389	900	462
1,28	105	455	300	883
1,29	082	522	701	304
1,30	059	588	102	725
1,31	037	654	503	146
1,32	014	720	903	567
1,33	991	786	304	988
1,34	969	856	705	409
1,35	946	918	106	830
1,36	924	984	507	251
1,37	901	050	907	672
1,38	878	116	308	093
1,39	856	182	709	514
1,40	833	248	110	934
1,41	810	314	511	355
1,42	788	380	911	766
1,43	765	446	312	197
1,44	743	512	713	618
1,45	720	578	114	039
1,46	697	645	514	460
1,47	675	711	915	881
1,48	652	777	316	302
1,49	630	843	717	723
1,50	607	909	118	144
1,60	381	569	125	354
1,70	154	230	133	563
1,80	928	981	141	773
1,900	702	551	149	983
1,991	596	553	295	213
1,992	694	959	835	655
1,993	792	366	376	097
1,994	890	772	916	539
1,995	987	179	456	982
1,996	085	586	996	424
1,997	183	992	536	866
1,998	281	399	076	308
1,999	378	805	616	750
2,000	476	212	157	192
2,001	574	618	696	634
2,002	671	025	237	076
2,003	769	432	777	518
2,004	867	838	317	960
2,005	965	245	857	403
2,006	062	651	397	845
2,007	160	058	937	287
2,008	258	465	477	729
2,009	356	871	017	171
3,0	214	818	235	288
3,5	083	120	274	336
4,0	962	423	314	384
4,5	821	726	353	432
5,0	690	029	392	480
5,12	418	822	202	532
5,5	559	332	431	528
6,0	428	635	470	576
6,5	296	938	510	624
7,0	165	241	549	672
7,5	034	544	588	720
8,0	903	847	627	768
8,5	772	150	666	816
9,0	641	453	706	865
9,5	510	756	745	913
10,0	379	058	784	961
10,5	248	361	823	009
11,0	117	664	862	057
11,5	986	967	902	105
12,0	855	270	941	153
12,5	724	573	980	201
13,0	593	876	019	249
13,5	462	179	058	297
14,0	331	482	098	345
14,5	200	785	137	393
15,0	069	088	176	441
15,5	938	391	215	489
16,0	807	694	254	537
16,5	676	996	294	585
17,0	545	299	333	633
17,5	414	602	372	681
18,0	283	905	411	729
18,5	152	208	450	777
19,0	020	511	490	825
19,5	889	814	429	873
20,0	758	117	568	921
20,5	627	420	607	969
21,0	496	723	646	017
21,5	365	026	686	065
22,0	234	329	725	113
22,5	103	632	764	161
23,0	972	935	803	209
23,5	841	237	842	257
24,0	710	540	882	305
24,5	579	843	921	353
25,0	448	146	960	401
30,0	138	175	352	882
40,0	517	234	136	842
50,0	896	292	920	803
60,0	275	351	704	763
70,0	654	409	488	724
75,0	344	439	880	204
80,0	034	468	272	685
90,0	413	526	056	645
100,0	792	585	840	606
125	240	731	799	007
150	688	877	759
175	136	023	719
200	584	170	679