ГОСТ 32974.1-2016 Вакуумная технология. Стандартные методы измерения характеристик вакуумных насосов. Часть 1. Общие положения.
ГОСТ 32974.1-2016
(ISO 21360-1:2012)
МЕЖГОСУДАРСТВЕННЫЙ СТАНДАРТ
Вакуумная технология
СТАНДАРТНЫЕ МЕТОДЫ ИЗМЕРЕНИЯ ХАРАКТЕРИСТИК ВАКУУМНЫХ НАСОСОВ
Часть 1
Общие положения
Vacuum technology. Standard methods for measuring vacuum-pump performance. Part 1. General description
МКС 23.160
ОКП 36 4800
Дата введения 2018-01-01
Предисловие
Цели, основные принципы и основной порядок проведения работ по межгосударственной стандартизации установлены в ГОСТ 1.0-2015 "Межгосударственная система стандартизации. Основные положения" и ГОСТ 1.2-2015 "Межгосударственная система стандартизации. Стандарты межгосударственные, правила и рекомендации по межгосударственной стандартизации. Правила разработки, принятия, обновления и отмены"
Сведения о стандарте
1 ПОДГОТОВЛЕН Акционерным обществом "Вакууммаш" (АО "Вакууммаш") на основе официального перевода на русский язык англоязычной версии стандарта, указанного в пункте 5
2 ВНЕСЕН Межгосударственным техническим комитетом по стандартизации МТК 249 "Вакуумная техника"
3 ПРИНЯТ Межгосударственным советом по стандартизации, метрологии и сертификации (протокол от 27 июля 2016 г. N 89-П)
За принятие проголосовали:
|
|
|
Краткое наименование страны по MК (ИСО 3166) 004-97 | Код страны по MК (ИСО 3166) 004-97 | Сокращенное наименование национального органа по стандартизации |
Армения | AM | Минэкономики Республики Армения |
Беларусь | BY | Госстандарт Республики Беларусь |
Казахстан | KZ
| Госстандарт Республики Казахстан |
Россия | RU | Росстандарт |
(Поправка. ИУС N 3-2022).
4 Приказом Федерального агентства по техническому регулированию и метрологии от 6 июня 2017 г. N 494-ст межгосударственный стандарт ГОСТ 32974.1-2016 (ISO 21360-1:2012) введен в действие в качестве национального стандарта Российской Федерации с 1 января 2018 г.
5 Настоящий стандарт является модифицированным по отношению к международному стандарту ISO 21360-1:2012* "Вакуумная технология. Стандартные методы измерения характеристик вакуумных насосов. Часть 1. Общие положения" ("Vacuum technology - Standard methods for measuring vacuum-pump performance - Part 1: General description", MOD).
При этом потребности национальных экономик стран, указанных выше, и/или особенности межгосударственной стандартизации учтены в дополнительном разделе 6, который выделен путем заключения в рамки из тонких линий, а информация с объяснением причин включения этих положений приведена в указанном пункте в виде примечания.
При применении настоящего стандарта рекомендуется использовать вместо ссылочных международных стандартов соответствующие им межгосударственные стандарты, сведения о которых приведены в дополнительном приложении ДА
6 ВВЕДЕН ВПЕРВЫЕ
Информация об изменениях к настоящему стандарту публикуется в ежегодном информационном указателе "Национальные стандарты", а текст изменений и поправок - в ежемесячном информационном указателе "Национальные стандарты". В случае пересмотра (замены) или отмены настоящего стандарта соответствующее уведомление будет опубликовано в ежемесячном информационном указателе "Национальные стандарты". Соответствующая информация, уведомление и тексты размещаются также в информационной системе общего пользования - на официальном сайте Федерального агентства по техническому регулированию и метрологии в сети Интернет (www.gost.ru)
ВНЕСЕНА поправка, опубликованная в ИУС N 3, 2022 год, введенная в действие с 12.10.2021
Введение
Настоящий стандарт является базовым по определению методов измерений характеристик вакуумных насосов. Описанные методы хорошо известны по существующим национальным и международным стандартам. При разработке данного стандарта ставилась цель создать единый документ, содержащий метод измерения характеристик вакуумных насосов, и упростить в будущем разработку стандартов на конкретные типы вакуумных насосов.
Стандарты на конкретные типы вакуумных насосов должны содержать приемлемый выбор методов измерения, взятых на основании настоящей части, для определения характеристик, предельных значений, специфических условий работы и особенностей конкретного типа насоса. Если есть различия между настоящей частью стандарта и стандартом на конкретный тип насоса, то основным является стандарт на конкретный насос.
Пользователи настоящего стандарта должны учитывать, что помимо требований, предусмотренных настоящим стандартом, для индивидуальных случаев применения могут потребоваться дополнительные требования. Настоящий стандарт не запрещает поставщику/изготовителю предлагать, а пользователю/заказчику использовать альтернативное оборудование или инженерные решения. Это может в частности быть применимо к инновационным и разрабатываемым технологиям.
1 Область применения
Настоящий стандарт распространяется на вакуумные насосы и устанавливает три различных метода определения быстроты действия, степени сжатия, измерения базового и наибольшего выпускного давлений.
Метод постоянного потока - это определение быстроты действия при напуске в вакуумный насос постоянного потока газа, при котором измеряется впускное давление. На практике измерение потока газа с достаточной точностью может быть затруднено, по этой причине описаны два других метода, при которых прямое измерение потока газа не используется.
Метод двух манометров - это определение быстроты действия, который используется при небольшой величине потока и малых впускных давлениях (при высоком и сверхвысоком вакууме). Он основан на измерении перепада давлений на диафрагме с круглым отверстием, разделяющей измерительную камеру на две части, в каждой из которых установлен манометрический преобразователь или манометр абсолютного давления.
Метод постоянного объема - это определение быстроты действия подходит для автоматизированного измерения. Он базируется на известной зависимости времени вакуумирования объема от параметров процесса вакуумирования: отношения давлений в начале и конце интервала вакуумирования, величины объема, времени вакуумирования.
Различные воздействия, такие как натекание и десорбция, охлаждение газа почти до изоэнтропического расширения в интервале откачки и увеличение газокинетического сопротивления в линии соединения между измерительной камерой и насосом, вызванные изменением режимов течения газа в соединительных коммуникациях при низких давлениях, влияют на измерение давления и, в результате, на быстроту действия.
При выборе метода определения необходимо учитывать специфику (вакуумного насоса) и технические характеристики: например, измерение наибольшего выпускного давления необходимо только для насоса, который работает с форвакуумным насосом. Измерения характеристик вакуумного насоса, не описанные в настоящей части стандарта (например, измерение потребляемой мощности), определяются стандартом на конкретный тип вакуумного насоса.
2 Нормативные ссылки
В настоящем стандарте использована ссылка на следующий межгосударственный стандарт. Для датированных ссылок применяют только указанное издание ссылочного документа, для недатированных ссылок применяют последнее издание ссылочного документа (включая все его изменения):
ГОСТ ИСО/МЭК 17025-2009 (ISO/IEC 17025) General requirements for the competence of testing and calibration laboratories (Общие требования к компетентности испытательных и калибровочных лабораторий)
Примечание - При пользовании настоящим стандартом целесообразно проверить действие ссылочного стандарта в информационной системе общего пользования - на официальном сайте Федерального агентства по техническому регулированию и метрологии в сети Интернет или по ежегодному информационному указателю "Национальные стандарты", который опубликован по состоянию на 1 января текущего года, и по выпускам ежемесячного информационного указателя "Национальные стандарты" за текущий год. Если ссылочный стандарт заменен (изменен), то при пользовании настоящим стандартом следует руководствоваться заменяющим (измененным) стандартом. Если ссылочный стандарт отменен без замены, то положение, в котором дана ссылка на него, применяется в части, не затрагивающей эту ссылку.
3 Термины и определения
В настоящем стандарте применены следующие термины с соответствующими определениями:
где V - объем;
t - время.
Примечания
2. Вместо "быстроты действия" часто используются термин "скорость откачки" и символ "S".
Примечание - Предельное остаточное давление - величина, к которой асимптотически стремится давление в измерительной камере, без впуска газа и при нормально работающем насосе: самое низкое давление, получаемое насосом; в настоящем стандарте методы измерения не приведены.
3.8 измерительная камера (test dome): Специальная присоединенная к входу насоса и оборудованная средствами для измерения его характеристик вакуумная камера определенной формы и размеров, через которую измеряемый поток газа может поступать в насос.
3.9 производительность Q (throughput): Поток газа во входном сечении насоса, определяемый уравнением
t - время;
V - объем измерительной камеры.
4 Символы и обозначения
а - Внутренний диаметр соединительного трубопровода между испытываемым насосом и быстродействующим клапаном (позиции 3 и 5 на рисунке 6), м;
d - диаметр отверстия, м;
D - внутренний диаметр измерительной камеры, м;
М - молярная масса газа, кг/моль;
R - универсальная газовая постоянная, 8,314 Дж/(моль К);
Т - абсолютная (термодинамическая) температура, °С;
u - погрешность измерения;
5 Методы испытаний
5.1 Определение быстроты действия методом постоянного потока
5.1.1 Общие положения
Метод постоянного потока для вакуумных насосов применяется для всех диапазонов давления и типоразмеров насосов, где быстрота действия определяется с достаточной точностью. Диапазон измерения производительности вакуумных насосов выбирается умножением ожидаемой быстроты действия на максимальное и минимальное рабочие давления испытываемого насоса.
Все измерительные приборы должны быть откалиброваны либо:
а) относительно начального вакуума или в соответствии с национальным стандартом,
b) с помощью инструментов абсолютного измерения, которые соответствуют международной системе единиц, к которой могут быть отнесены неточности измерения.
Используемые откалиброванные измерительные приборы должны иметь сертификат калибровки в соответствии с ГОСТ ИСО/МЭК 17025.
5.1.2 Измерительная камера для метода постоянного потока
Измерительная камера, если необходимо для испытываемого насоса, должна быть оснащена устройством для обезгаживания, которое обеспечивает ее равномерное нагревание для достижения базового давления.
Объем измерительной камеры зависит от типа испытываемого насоса (см. в стандарте на конкретный тип вакуумного насоса).
|
 |
Рисунок 1 - Измерительная камера
5.1.3 Измерительная установка
Измерительная камера должна быть чистой и сухой. Чистота испытываемого насоса, уплотнителей и других компонентов должна соответствовать предполагаемому базовому давлению. Все компоненты собираются в чистых условиях в соответствии с рисунком 2. Расходомеры с разным диапазоном измерений следует подключать параллельно. Если поток превышает диапазон измерений, то можно использовать несколько расходомеров параллельно с клапаном между каждым расходомером и трубопроводом. Вместо расходомера и клапана можно использовать измерители массового расхода с программируемой пропускной способностью. Они комбинируются в параллели на трубопроводе.
Герметичность больших расходомеров бывает часто недостаточной, в связи с чем рекомендуется использовать клапан между расходомером и магистралью.
Ионизационные вакуумметры и масс-спектрометры устанавливаются таким образом, чтобы не было прямой геометрической линии между ними.
ВНИМАНИЕ! Необходимо соблюдать инструкцию производителя по безопасному использованию вакуумного насоса.
|
 |
Примечание - Позиции 2 и 8 используются только при применении форвакуумных насосов.
Рисунок 2 - Схема оборудования для определения быстроты действия методом постоянного потока
5.1.4 Определение быстроты действия
Поток газа можно измерить объемными способами (газовыми бюретками, газовыми счетчиками) с помощью эффекта вязкости потока (ротаметром, капиллярами) или в большинстве случаев с помощью термоэлектрического массового расходомера.
5.1.5 Проведение измерений
Измерительная камера для проведения измерений представлена на рисунке 1, схема измерительного оборудования на рисунке 2. При закрытом клапане напуска газа, в измерительной камере должно установиться базовое давление (см. 5.4). После этого газ напускается в измерительную камеру через клапан напуска газа. Измерения выполняются при возрастающей величине давления, что позволяет правильно использовать расходомер. В течение этого времени температура окружающей среды должна быть постоянной и сохраняться в пределах ±2°С.
Примечание - Быстрота действия может определяться по разным газам. При замене газа трубопроводы для впуска газа должны продуваться новым газом до начала измерения.
5.1.6 Погрешности измерения
Поток газа должен измеряться со стандартной погрешностью ±2,5%, а давление - с погрешностью менее ±3%. Точные измерения необходимо выполнять в соответствии с приложением В. Общая погрешность определения быстроты действия должна быть менее 10%.
5.1.7 Результаты измерения
Отчет об испытании должен содержать:
a) тип, серийный номер, погрешность измерений и условия эксплуатации всех используемых вакуумных измерительных приборов;
b) тип и серийный номер испытываемого насоса;
c) частоту (скорость) вращения и/или условия работы испытываемого насоса;
d) тип и количество жидкости, используемой в испытываемом насосе, и давление ее паров при 20°С;
f) тип и быстроту действия форвакуумного насоса (если такой используется);
g) тип используемых уплотнителей на входном фланце испытываемого насоса;
h) тип маслоотражателей и ловушек, используемых при испытаниях, а также их температуру;
i) температуру и расход охлаждающей воды;
j) температуру окружающей среды и измерительной камеры;
k) время и температуру прогрева измерительной камеры.
5.2 Определение быстроты действия методом двух манометров
5.2.1 Общие положения
Метод двух манометров применяется для высоковакуумных насосов. Измерительная камера должна соответствовать условиям молекулярного истечения газа. Этот метод рекомендуется для небольших потоков газа, где нельзя применить традиционные потокомеры. Диаметр отверстия разделительной диафрагмы измерительной камеры подбирается исходя из предполагаемой быстроты действия испытываемого насоса, при обеспечении молекулярного истечения газа, чтобы исключить ламинарное течение газа через отверстие в диафрагме.
5.2.2 Измерительная камера для метода двух манометров
Измерительная камера - цилиндрической формы, как показано на рисунке 3. Диафрагма с круглым отверстием разделяет измерительную камеру на две части. Камера должна быть оснащена устройством для обезгаживания, которое обеспечивает ее равномерное нагревание для достижения минимального рабочего давления.
|
 |
Рисунок 3 - Измерительная камера
5.2.3 Измерительная установка
Измерительная камера (см. рисунок 4) должна быть чистой и сухой. Для всех высоковакуумных соединений рекомендуются прогреваемые фланцы с уплотнителями.
ВНИМАНИЕ! Не трогать руками внутренние поверхности. Использовать перчатки во время сборки.
|
 |
Рисунок 4 - Схема оборудования для определения быстроты действия методом двух манометров
5.2.4 Определение быстроты действия
Диафрагма с круглым отверстием разделяет измерительную камеру на две части (см. рисунок 3). Быстрота действия определяется по формуле
где С - расчетная проводимость, учитывающая размер отверстия и свойства газа.
5.2.5 Измерение при методе двух манометров
5.2.6 Регулировка приборов измерения давления
Газ напускается в измерительную камеру через клапан напуска газа (см. рисунок 4, позиция 4), чтобы проверить чувствительность измерительных приборов 7, 8.
ВНИМАНИЕ! Используйте только сухие газы (99,9%) для измерений, чтобы избежать процессов абсорбции и десорбции.
После регулировки измерительная камера откачивается до базового давления, и можно начинать определение быстроты действия.
5.2.7 Определение быстроты действия
Примечание - Быстрота действия может определяться по разным газам. При замене газа трубопроводы для впуска газа должны продуваться новым газом до начала измерения.
5.2.8 Погрешности измерения
Перепад давления должен измеряться с погрешностью не более 3%, а диаметр отверстия - с погрешностью 0,5%. Если давление в верхней части камеры повысится до значения, при котором длина свободного пробега молекул газа приближается к двойному диаметру отверстия, то проводимость возрастает на 3% от значения молекулярного потока [2]. Погрешность определения быстроты действия производить по расчету (см. приложение Б). Общая погрешность быстроты действия должна быть менее 10%.
5.2.9 Результаты измерения
Отчет об испытании должен содержать:
a) тип, серийный номер, погрешность измерений и условия эксплуатации всех используемых вакуумных измерительных приборов;
b) тип и серийный номер испытываемого насоса;
c) частоту (скорость) вращения и/или условия работы испытываемого насоса;
d) тип и количество жидкости, используемой в испытываемом насосе, и давление ее паров при 20°С;
f) тип и быстроту действия форвакуумного насоса (если такой используется);
g) тип используемых уплотнителей на входном фланце испытываемого насоса;
h) тип маслоотражателей и ловушек, используемых при испытаниях, а также их температуру;
i) температуру и расход охлаждающей воды;
j) температуру окружающей среды и измерительной камеры;
k) время и температуру прогрева измерительной камеры.
|
 |
Рисунок 5 - Пример графика зависимости быстроты действия от впускного давления
5.3 Определение быстроты действия методом постоянного объема
5.3.1 Общие положения
Метод постоянного объема используется для низковакуумных насосов. Быстрота действия определяется путем откачки измерительной камеры испытываемым насосом. Данный метод требует измерения давления в зависимости от времени и объема измерительной камеры. Преимущества метода заключаются в отсутствии необходимости измерения потока газа и простоте автоматизации процесса.
Однако непрерывная откачка имеет следующие недостатки:
- измерение давления может быть нарушено временем отклика вакуумметров и системой накопления данных;
- откачка камеры сопровождается изменением давления в камере, результатом чего является охлаждение газа. Таким образом, наблюдаемое падение давления вызвано как откачкой газа насосом, так и охлаждением газа в камере.
Охлаждающий эффект меняется в процессе откачки, так как теплообмен между газом и стенками камеры зависит от давления. При атмосферном давлении процесс откачки газа близок к изоэнтропическому (который приводит к значительному охлаждению), но при высоком вакууме - к изотермическому (который способствует быстрому нагреванию газа до температуры окружающей среды).
Использование этого метода для насосов с высоким удельным обратным потоком паров рабочей жидкости из выпускаемого трубопровода на всасывающую сторону может увеличить быстроту действия этих насосов для легких газов из-за эффекта продувочного газа. В периоде ожидания тепловой стабилизации насос достигает базового давления с остаточным составом газа (таким как воздух) в выпускном трубопроводе насоса. В начале нового интервала откачки этот остаточный газ усиливает откачку легкого газа (такого как водород). Следовательно, метод постоянного объема нельзя рекомендовать для случаев, когда подаются большие обратные потоки.
Все измерительные приборы должны быть откалиброваны либо:
a) относительно начального вакуума или в соответствии с национальным стандартом,
b) с помощью инструментов абсолютного измерения, которые соответствуют международной системе единиц, к которой могут быть отнесены неточности измерения.
Используемые откалиброванные измерительные приборы должны иметь сертификат калибровки в соответствии с ГОСТ ИСО/МЭК 17025.
5.3.2 Измерительная камера и метод постоянного объема
Для определения быстроты действия методом постоянного объема необходимо использовать камеру с объемом не меньшим, чем предполагаемая быстрота действия, умноженная на 120 с. Размеры камеры в трех направлениях в пространстве не должны отличаться более чем в 10 раз. Все внутренние поверхности измерительной камеры и соединительного трубопровода с испытываемым насосом должны быть чистыми и сухими. Измерительная камера должна иметь одно всасывающее отверстие с номинальным диаметром, равным или большим, чем отверстие впускного фланца испытываемого насоса, дополнительные отверстия для клапана напуска газа и одно или более отверстий для подсоединения вакуумметров. Отверстия для вакуумметров не должны находиться близко к входу испытываемого насоса (см. рисунок 6).
|
 |
Рисунок 6 - Схема оборудования для определения быстроты действия методом постоянного объема
5.3.3 Быстродействующий клапан
5.3.4 Измерительная установка
Чистота вакуумного насоса, уплотнителей и других компонентов должна соответствовать предполагаемому базовому давлению. Все части установки собираются в соответствии с рисунком 6 в чистых условиях. Испытываемый насос подсоединяется через быстродействующий клапан к измерительной камере при помощи трубопровода с достаточным поперечным сечением (см. 5.3.7).
Давление измеряется вакуумметром для определения абсолютного давления. Длина трубопровода от измерительной камеры до вакуумметра должна быть не более 1 м, номинальный диаметр трубопровода - не менее 16 мм.
5.3.5 Определение быстроты действия
Формула (9) применима только для изотермического процесса откачки газа.
Метод определения быстроты действия с помощью формулы (7) имеет две систематические погрешности, которые можно скорректировать.
|
 |
Рисунок 7 - Пример графика зависимости давления от времени цикла откачки для определения быстроты действия методом постоянного объема
Применение формул (8) и (9) в формуле (7) дает скорректированную быстроту действия
5.3.6 Проведение измерений
Вакуумметр и испытываемый насос, подсоединенные к измерительной камере, должны работать при открытом быстродействующем клапане, пока не установится базовое давление и, по крайней мере, стабильная рабочая температура. Выпускное давление насоса должно быть равно атмосферному давлению. Температура окружающей среды должна сохраняться в пределах ±1,5°С в интервале от плюс 18°С до плюс 25°С.
Результатом повторения процедуры откачки является измерение значений быстроты действия в диапазоне от начального давления до базового давления насоса. Измерения могут выполняться с помощью воздуха или других газов, тип которых должен быть определен.
5.3.7 Пределы применяемости
В молекулярном режиме течения газа проводимость трубопровода между насосом и измерительной камерой снижает определяемую быстроту действия. Чтобы оценить это влияние, проводимость трубопровода С определяют по формуле (11)
d - диаметр отверстия;
5.3.8 Оценка измерения
5.3.9 Погрешность измерения
5.4 Измерение базового давления
5.4.1 Условия испытаний
Условия испытаний насоса (частота вращения, рабочая жидкость, охлаждение и т.д.) должны быть указаны производителем. Температура окружающей среды должна сохраняться в пределах ±1,5°С в интервале от плюс 18°С до плюс 25°С.
Все измерительные приборы должны быть откалиброваны либо:
a) относительно начального вакуума или в соответствии с национальным стандартом,
b) с помощью инструментов абсолютного измерения, которые соответствуют международной системе единиц, к которой могут быть отнесены неточности измерения.
Используемые откалиброванные измерительные приборы должны иметь сертификат калибровки в соответствии с ГОСТ ИСО/МЭК 17025.
Для данного измерения используют расположение приборов, показанное на рисунках 2, 4 и 6.
Измерительную камеру откачивают при закрытых клапанах напуска газа в течение 1-2 ч, пока не будет наблюдаться дальнейшее понижение давления в камере, и пока насос не достигнет стабильной рабочей температуры.
Во время установки измерительной камеры (см. рисунок 2) необходимо соблюдать требования, предъявляемые к технологиям сверхвысокого вакуума.
Через 1 ч после запуска насоса измерительную камеру нагревают до максимальной температуры от 150°С до 300°С. Если насос оборудован устройством для обезгаживания, этот процесс осуществляется прогревом в соответствии с инструкцией производителя. Температура верхней части насоса должна контролироваться и находиться в пределах, установленных инструкцией производителя.
5.4.4 Оценка измерения
Отчет по испытанию включает в себя режим прогревания (время и температуру) и базовое давление, которые необходимы для вычисления степени сжатия и быстроты действия.
5.5 Определение степени сжатия и наибольшего выпускного давления
Все измерительные приборы должны быть откалиброваны либо:
a) относительно начального вакуума или в соответствии с национальным стандартом,
b) с помощью инструментов абсолютного измерения, которые соответствуют международной системе единиц, к которой могут быть отнесены неточности измерения.
Используемые откалиброванные измерительные приборы должны иметь сертификат калибровки в соответствии с ГОСТ ИСО/МЭК 17025.
5.5.1 Измерительная установка
Измерительная установка для измерения степени сжатия показана на рисунке 8.
Если используется несколько ионизационных датчиков, прямое соединение между их источниками ионов недопустимо.
5.5.2 Определение степени сжатия и наибольшего выпускного давления
|
 |
Рисунок 8 - Схема оборудования для определения степени сжатия и наибольшего выпускного давления
5.5.3 Проведение измерения
В зависимости от типа испытываемого насоса, измерения степени сжатия можно выполнять со скоростью откачки (производительностью) "0" или заданной скоростью откачки (производительностью) насоса, если это предусмотрено инструкцией производителя или стандартом на конкретный тип насоса.
Примечание - Измерения степени сжатия можно определять по разным газам. При замене газа трубопроводы для впуска газа должны продуваться новым газом до начала измерения.
5.5.4 Погрешность измерения
5.5.5 Оценка измерения
5.5.6 Особые рекомендации для измерения сверхвысоких степеней сжатия
Для измерения сверхвысоких степеней сжатия, где базовое давление выше, чем повышение впускного парциального давления газа, которое напускается на форвакуумную сторону, нужно использовать масс-спектрометр для измерения этого парциального давления. Из-за диапазона впускного давления, которое охватывает шесть декад и более, рекомендуется использовать ионизационный вакуумметр Байярда-Альперта и масс-спектрометр для измерения давления в параллели.
Для калибровки последних двух приборов напустите тестовый газ через клапан напуска газа 5 в измерительную камеру, чтобы повысить давление в измерительной камере в несколько раз. Сравнивая показания разных вакуумметров можно определить калибровочные факторы для ионизационного вакуумметра и масс-спектрометра.
Производить калибровку рекомендуется после того, как определены степени сжатия.
|
 |
Рисунок 9 - Пример графика зависимости коэффициента сжатия насосов
6 Требования безопасности*
|
При проведении измерений необходимо соблюдать предъявляемые к вакуумным насосам требования безопасности [3]*. |
________________
* На территории Российской Федерации действует ГОСТ Р 52615-2006.
Примечание - Приведенное выше дополнительное требование по отношению к ISO 21360-1:2012 направлено на обеспечение безопасности при транспортировании, хранении, установке, эксплуатации и техническом обслуживании насосов.
Приложение А
(справочное)
Произведение средней длины свободного пробега молекул и давления для некоторых газов
Величина произведения длины свободного пробега молекул газа и давления постоянна. Значения для некоторых газов в таблице А.1 действительны для Т=293,15 К (20°С) [2].
Таблица А.1 - Произведение средней длины свободного пробега молекул и давления для некоторых газов
|
|
Газ | Средняя длина свободного пробега (  ), м·Па |
Н  | 11,5 ·10 |
N | 5,9 ·10 |
Не | 17,5 ·10 |
Ne | 12,7 ·10 |
Аr | 6,4 ·10 |
Воздух | 6,65 ·10 |
Kr | 4,9 ·10 |
Хе | 3,6 ·10 |
Hg | 3,1 ·10 |
СO | 6,0 ·10 |
CO | 4,0 ·10 |
HCI | 4,4 ·10 |
NH  | 4,3 ·10 |
Cl | 2,8 ·10 |
Приложение В
(справочное)
Погрешности измерения
В.1 Общие положения
Вычисление погрешностей нужно проводить в соответствии с руководством по измерению [4].
Необходимо учитывать следующие важные моменты:
- физическая величина имеет значение Х и погрешность;
В.2 Погрешность определения быстроты действия методом постоянного потока
См.5.1.
Относительная погрешность определяется делением формулы (В.2) на формулу (1)
B.3 Погрешность при определении быстроты действия методом двух манометров
См. 5.2.
В.4 Погрешность при определении быстроты действия методом постоянного объема
См. 5.3.
Применяя формулу (В.1) к формуле (12), определяем следующую погрешность быстроты действия
Относительная погрешность вычисляется делением формулы (В.7) на формулу (В.6)
Статистические погрешности - разрешающая способность прибора и колебания полученных давлений.
Приложение ДА
(справочное)
Сведения о соответствии ссылочных международных стандартов (международных документов) межгосударственным стандартам
Таблица ДА.1
|
|
|
Обозначение и наименование международного стандарта | Степень соответствия | Обозначение и наименование межгосударственного стандарта |
ISO/IEC 17025:2005 | IDT | ГОСТ ИСО/МЭК 17025-2009 Общие требования к компетентности испытательных и калибровочных лабораторий |
Примечание - В настоящей таблице использовано следующее условное обозначение степени соответствия стандартов:
- IDT - модифицированные стандарты. | ||
Библиография
|
|
|
[1] | ISO 3529:1-1981 | Вакуумная технология - Словарь - Часть 1. Общие термины |
[2] |
| Справочник по вакуумной технике. JOUSTEN, K. |
[3] | EN 1012-2:1996 | Компрессоры и вакуумные насосы. Требования безопасности. Часть 2. Вакуумные насосы |
[4] | ISO/IEC Guide 98-3 | Погрешность измерения - Часть 3. Руководство по выражению погрешности в измерении (GUM:1995) |
|
|
|
|
УДК 621:006:354 | МКС 23.160 | ОКП 36 4800 | MOD |
Ключевые слова: вакуумный насос; базовое давление; быстрота действия; измерительная камера; испытания; измерения; определения; напуск газа; степень сжатия | |||