ГОСТ 19656.10-88
Группа Э29
ГОСУДАРСТВЕННЫЙ СТАНДАРТ СОЮЗА ССР
ДИОДЫ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ СВЕРХВЫСОКОЧАСТОТНЫЕ ПЕРЕКЛЮЧАТЕЛЬНЫЕ И ОГРАНИЧИТЕЛЬНЫЕ
Методы измерения сопротивлений потерь
Semiconductor microwave switching and limiter diodes. Methods of measuring loss resistances
ОКП 621000
Срок действия с 01.07.89
до 01.07.94*
ИНФОРМАЦИОННЫЕ ДАННЫЕ
1. УТВЕРЖДЕН И ВВЕДЕН В ДЕЙСТВИЕ Постановлением Государственного комитета СССР по стандартам от 28.09.88 N 3291
2. Срок первой проверки 1994 г., периодичность проверки 5 лет
3. ВЗАМЕН ГОСТ 19656.10-75 и ГОСТ 19656.11-75
4. ССЫЛОЧНЫЕ НОРМАТИВНО-ТЕХНИЧЕСКИЕ ДОКУМЕНТЫ
| |
Обозначение НТД, на который дана ссылка | Номер пункта, подпункта, перечисления, приложения |
ГОСТ 18986.4-73 | 1.3.6; 2.5.2; 4.5.2; приложение 4 |
ГОСТ 19656.0-74 | Вводная часть; 1.2.2, перечисление 1; пп.2.2.2; 3.2.6; 4.2.2, перечисление 6 |
Настоящий стандарт распространяется на полупроводниковые переключательные и ограничительные сверхвысокочастотные (далее - СВЧ) диоды и устанавливает следующие методы измерения сопротивлений потерь в диапазоне частот 0,3-10 ГГц:
1) сопротивления потерь при низком уровне СВЧ мощности (

) ограничительных СВЧ диодов;
2) прямого сопротивления потерь (

) переключательных и ограничительных СВЧ диодов и обратного сопротивления потерь (

,

)* переключательных СВЧ диодов:
_______________
* Обратное сопротивление потерь приводится для последовательной (

) и параллельной (

) эквивалентной схемы диода.
а) метод измерительной линии с подвижным зондом;
б) метод измерительной линии с фиксированным зондом;
в) резонаторный метод.
Общие требования при измерениях - по ГОСТ 19656.0-74.
1. МЕТОД ИЗМЕРЕНИЯ

1.1. Принцип, условия и режим измерения
1.1.1. Сопротивление потерь

определяют, исходя из измерения входного сопротивления коаксиальной диодной камеры с диодом, включенным в качестве оконечной нагрузки и учета потерь в камере, определяемых с помощью эквивалентов холостого хода (далее - XX).
1.1.2. Значения частоты измерения, уровня СВЧ мощности, при которых проводят измерения, следует приводить в ТУ на диоды конкретных типов.
1.2. Аппаратура
1.2.1. Измерения следует проводить на установке, структурная схема которой приведена на черт.1.

- генератор СВЧ мощности;

- вентиль ферритовый;

- линия измерительная;

- камера диодная;

- усилитель измерительный;

- частотомер;

- измеритель мощности
Черт.1
1.2.2. Элементы, входящие в структурную схему, должны соответствовать следующим требованиям:
1) вентиль ферритовый

, генератор СВЧ мощности

, линия измерительная

, частотомер

, измеритель мощности

- по ГОСТ 19656.0-74;
2) измерительный усилитель

должен иметь чувствительность в пределах 1-10 мкВ;
3) диодная камера

должна иметь волновое сопротивление, равное волновому сопротивлению измерительной линии, и обеспечивать значение коэффициента стоячей волны по напряжению холостого хода с эквивалентом XX (

) не менее 50.
Эквивалент XX должен представлять собой корпус диода (без контактирующих проволочек) или деталь, по форме и размерам соответствующую проверяемому диоду со значением емкости, равной минимальному значению емкости конкретного типа диода.
Чертежи на эквиваленты и значения емкостей эквивалентов указывают в ТУ на диоды конкретных типов.
1.3. Подготовка к проведению измерений
1.3.1. Режим измерения устанавливают заданным по частоте и мощности.
1.3.2. Эквивалент XX вставляют в диодную камеру.
1.3.3. Определяют положение минимума стоячей волны напряжения (

) в миллиметрах, ближайшего к выходному концу измерительной линии.
1.3.4. Определяют значение (

) в миллиметрах - разность показаний индикатора измерительной линии в точках (справа и слева от точки минимума

), где напряженность электрического поля в измерительной линии вдвое больше его значения в точке минимума.
1.3.5. Определяют значение коэффициента стоячей волны по напряжению (далее - КСВН) холостого хода (

) по формуле

, (1)
где

- длина волны в измерительной линии, мм.
1.3.6. Положение плоскости отсчета

в миллиметрах рассчитывают по формуле

, (2)
где

- емкость корпуса диода, определяемая по ГОСТ 18986.4-73, Ф;

- волновое сопротивление измерительной линии, Ом;

- частота измерения, Гц.
1.4. Проведение измерений
1.4.1. Измеряемый диод вставляют в диодную камеру.
1.4.2. Определяют положение минимума стоячей волны напряжения в измерительной линии (

) в миллиметрах, ближайшего к плоскости отсчета (

).
1.4.3. Определяют значение

в миллиметрах - разность показаний индикатора измерительной линии в точках (справа и слева от точки минимума

), где напряженность электрического поля в линии вдвое больше его значения в точке минимума.
1.5. Обработка результатов
1.5.1. Значение сопротивления потерь при низком уровне СВЧ мощности (

) рассчитывают по формуле

, (3)
где

- значение, определяемое в соответствии с п.1.3.4, мм;

- значение, определяемое в соответствии с п.1.4.3, мм;

, (4)
где

- значение, определяемое в соответствии с п.1.3.3, мм;

- значение, определяемое в соответствии с п.1.3.6, мм;

, (5)
где

- значение, определяемое в соответствии с п.1.4.2, мм.
1.6. Показатели точности измерений
1.6.1. Погрешность измерения сопротивления потерь при низком уровне СВЧ мощности

должна находиться в интервале ±20% с установленной вероятностью 0,95 в диапазоне частот 0,3-10 ГГц для значений

- в пределах 2-30 Ом.
1.6.2. Погрешность измерения значений

, не установленных настоящим стандартом, должна быть приведена в ТУ на диоды конкретных типов.
Пример расчета погрешности измерения сопротивления потерь при низком уровне СВЧ мощности приведен в приложении 1.
2. МЕТОД ИЗМЕРИТЕЛЬНОЙ ЛИНИИ С ПОДВИЖНЫМ ЗОНДОМ (

,

,

)
2.1. Принцип, условия и режим измерения
2.1.1. Прямое (

) и обратное (

,

) сопротивления потерь определяют исходя из измерений входного сопротивления диодной камеры с диодом, включенным в качестве оконечной нагрузки, с учетом потерь в камере, определяемых с помощью эквивалентов короткого замыкания (КЗ) и XX.
2.1.2. Значения частоты измерения, уровня СВЧ мощности и напряжения смещения, при которых проводят измерения, следует приводить в ТУ на диоды конкретных типов.
2.2. Аппаратура
2.2.1. Измерения следует проводить на установке, электрическая структурная схема которой приведена на черт.2.

- генератор СВЧ мощности;

,

- вентили;

- тройник ввода смещения;

- линия измерительная;

- камера диодная;

- источник смещения;

- измерительный усилитель;

- частотомер;

- измеритель мощности
Черт.2
2.2.2. Генератор СВЧ мощности

, вентили

,

, линия измерительная

, частотомер

, измеритель мощности

- по ГОСТ 19656.0-74.
2.2.3. Тройник ввода смещения

должен обеспечивать подачу напряжения (или тока) смещения на проверяемый диод и удовлетворять следующим требованиям:
1) коэффициент стоячей волны по напряжению входа и выхода - не более 1,3;
2) развязка цепи постоянного тока и тракта СВЧ - не менее 20 дБ;
3) сопротивление цепи постоянного тока - не более 0,1 Ом;
4) собственное ослабление - не более 1 дБ.
2.2.4. Источник смещения

должен обеспечивать задание и поддержание постоянного тока прямого смещения и постоянного напряжения обратного смещения с погрешностью в пределах ±5%.
2.2.5. Измерительный усилитель

должен иметь чувствительность в пределах 1-10 мкВ.
2.2.6. Диодная камера

должна иметь волновое сопротивление, равное волновому сопротивлению измерительной линии, и обеспечивать значения коэффициентов стоячей волны по напряжению с эквивалентом КЗ (

) и XX (

) в соответствии с табл.1.
Таблица 1
| | | |
Диапазон частот, ГГц | Сечение коаксиального тракта, мм |  , не менее |  , не менее |
0,3-1,0 | 16/7, 7/3,04 | 100 | 100 |
1,0-2,5 | 16/7, 7/3,04 | 70 | 70 |
2,5-10,0 | 10/4,34 | 70 | 70 |
2,5-10,0 | 7/3,04 | 50 | 50 |
Эквивалент КЗ должен представлять собой металлическую деталь, соответствующую по форме и размерам измеряемому диоду.
2.3. Подготовка к проведению измерений
2.3.1. Режим измерения устанавливают заданным по частоте и мощности.
2.3.2. Эквивалент КЗ вставляют в диодную камеру.
2.3.3. Определяют положение минимума стоячей волны напряжений (плоскость отсчета) в миллиметрах, ближайшего к выходному концу измерительной линии

.
2.3.4. Определяют значение

- разность показаний индикатора измерительной линии в точках (справа и слева от точки минимума

) в миллиметрах, где напряженность электрического поля в линии вдвое больше его значения в точке минимума.
2.3.5. Рассчитывают значение

и по формуле

, (6)
где

- длина волны в измерительной линии, мм.
2.3.6. Эквивалент XX вставляют в диодную камеру.
2.3.7. Определяют положение минимума стоячей волны напряжения

в миллиметрах, ближайшего к плоскости отсчета.
2.3.8. Определяют значение

- разность показаний индикатора измерительной линии в точках (справа и слева от точки минимума

) в миллиметрах, где напряженность электрического поля в линии вдвое больше его значения в точке минимума.
2.3.9. Определяют значение

по формуле

. (7)
2.4. Проведение измерений
2.4.1. Измерение прямого сопротивления потерь
2.4.1.1. Проверяемый диод вставляют в диодную камеру и устанавливают заданное значение прямого тока смещения.
2.4.1.2. Определяют положение минимума стоячей волны напряжения в измерительной линии

в миллиметрах, ближайшего к плоскости отсчета.
2.4.1.3. Определяют значение

- разность показаний индикатора измерительной линии в точках (справа и слева от точки минимума

) в миллиметрах, где напряженность электрического поля в линии вдвое больше его значения в точке минимума.
2.4.2. Измерение обратного сопротивления потерь
2.4.2.1. На проверяемом диоде устанавливают заданное значение обратного напряжения.
2.4.2.2. Определяют положение минимума стоячей волны напряжения в измерительной линии

в миллиметрах, ближайшего к плоскости отсчета.
2.4.2.3. Определяют значение

- разность показаний индикатора измерительной линии (справа и слева от точки минимума

) в миллиметрах, где напряженность электрического поля в линии вдвое больше его значения в точке минимума.
2.5. Обработка результатов
2.5.1. Значение прямого сопротивления потерь (

) в омах рассчитывают по формуле

, (8)
где

- волновое сопротивление линии, Ом;

- значение, определяемое по п.2.4.1.3, мм;

- значение, определяемое по п.2.3.4, мм;

- длина волны в измерительной линии, мм.

, (9)
где

- значение, определяемое по п.2.4.1.2, мм;

- значение, определяемое по п.2.3.3, мм;

, (10)
где

- значение, определяемое по п.2.3.7, мм.
При выполнении условия

(11)
значение

рассчитывают по формуле

. (12)
2.5.2. Значение обратного сопротивления потерь (

) рассчитывают по формуле

, (13)
где

- круговая частота, рассчитываемая по формуле

,
где

- частота измерения, Гц;

- индуктивность диода, нГн, рассчитываемая по формуле

;

- значение, определяемое по п.2.4.2.3, мм;

- значение, определяемое по п.2.3.8, мм;

- емкость структуры, Ф, рассчитываемая по формуле

,
где

- общая емкость диода, Ф, определяемая по ГОСТ 18986.4-73;

- емкость корпуса диода, Ф, определяемая по ГОСТ 18986.4-73;

, (14)
где

- значение, определяемое по п.2.4.2.2, мм;

. (15)
При выполнении условия

(16)
значение

рассчитывают по формуле

. (17)
Для корпусных диодов со значением общей емкости

и для бескорпусных диодов значение

рассчитывают по формуле

. (18)
При выполнении условия

(19)
значение

рассчитывают по формуле

. (20)
2.5.3. Значение

рассчитывают по формуле

. (21)
2.6. Показатели точности измерений
2.6.1. Погрешность измерения прямого сопротивления потерь

с установленной вероятностью 0,95 приведена в табл.2.
Таблица 2
| | | | | | | | | | |
Пределы измерения значений  , Ом | Диапазон частот измерения, ГГц | Погрешность измерения, % |
0,2-10,0 | От | 0,3 | до | 1,0 | включ. | ±25 |
0,2-10,0 | Св. | 1,0 | " | 5,0 | " | ±35 |
От | 0,2 | до | 0,5 | включ. | 5,0-10 | ±45 |
Св. | 0,5 | " | 10,0 | " | 5,0-10 | ±30 |
2.6.2. Погрешность измерения обратного сопротивления потерь (

) с установленной вероятностью 0,95 приведена в табл.3.
Таблица 3
| | | | | | | | | | | |
Пределы измерения значений  , Ом | Значение емкости диода, пФ | Диапазон частот измерения, ГГц | Погрешность измерения, % |
0,5-10 | От | 3,0 | до | 1,2 | включ. | От | 0,3 | до | 1,0 | включ. | ±15,0 |
0,5-10 | Менее | 1,2 | до | 0,5 | " | Св. | 1,0 | " | 5,0 | " | ±25,0 |
0,5-10 | " | 0,5 | " | 0,05 | " | " | 5,0 | " | 10,0 | " | ±35,0 |
2.6.3. Погрешность измерения (

) находится в интервале ±35% с установленной вероятностью 0,95 в диапазоне частот 0,3-10 ГГц, для значений

5 кОм.
Требования к погрешности измерения

,

,

для значений измеряемых параметров, не установленных в настоящем стандарте, должны быть приведены в ТУ на диоды конкретных типов.
2.6.4. Пример расчета погрешности приведен в приложении 2.
3. МЕТОД ИЗМЕРИТЕЛЬНОЙ ЛИНИИ С ФИКСИРОВАННЫМ ЗОНДОМ
3.1. Принцип, условия и режим измерения
3.1.1. Принцип измерения

,

,

соответствует требованиям п.2.1 и эквивалентности между частотой и линейной зависимостью фазы отраженного сигнала при измерении в режимах качания частоты и фиксированной частоты соответственно.
3.1.2. Значения частоты измерения и напряжения смещения, при которых проводят измерения, должны быть приведены в ТУ на диоды конкретных типов.
Диапазон качания частоты определяется шириной полосы частот, необходимой для измерения заданных значений сопротивлений

и

,

и наблюдения смещения минимума в режиме обратного смещения и XX относительно плоскости отсчета.
3.1.3. Уровень СВЧ мощности, при котором проводят измерения, определяется панорамным измерителем коэффициента стоячей волны по напряжению и ослаблений.
3.2. Аппаратура
3.2.1. Измерения следует проводить на установке, структурная схема которой приведена на черт.3.

- генератор качающейся частоты;

- ответвитель направленный;

,

- вентили ферритовые;

- тройник ввода смещения;

- камера диодная;

- источник смещения;

- индикатор КСВН и ослаблений;

- линия измерительная
Черт.3
3.2.2. Ответвитель направлений

должен иметь переходное ослабление и направленность не менее 20 дБ.
3.2.3. В индикаторе КСВН и ослаблений

диапазон входных напряжений канала падающей волны 0,03-10 мВ. При этом уровень напряжения в канале отраженной волны должен быть не менее 1 мкВ.
3.2.4. Полоса пропускания измерительной линии

должна соответствовать диапазону качания частоты, отвечающему требованиям п.3.1.2, требуемую величину полосы пропускания зонда

определяют экспериментально по смещению минимума стоячей волны напряжения в режиме XX относительно плоскости отсчета или из соотношения

, (22)
где

- порядок, наблюдаемого минимума стоячей волны напряжения.
Метод измерения полосы пропускания зонда измерительной линии приведен в приложении 5.
При полосе пропускания зонда измерительной линии, не достаточной для наблюдения минимума стоячей волны напряжения в режиме XX, допускается перемещать зонд измерительной линии от плоскости отсчета в сторону генератора на расстояние четверти длины волны или применять двухзондовую измерительную линию, зонды которой разнесены на то же расстояние.
3.2.5. Требования к тройнику ввода смещения

, источнику смещения

, диодной камере

и эквивалентам КЗ и XX должны соответствовать пп.2.2.3-2.2.6.
3.2.6. Генератор качающейся частоты

, вентили ферритовые

,

- по ГОСТ 19656.0-74.
3.3. Подготовка к проведению измерений
3.3.1. Эквивалент КЗ вставляют в диодную камеру.
3.3.2. Зонд измерительной линии устанавливают в точку наблюдаемого на экране индикатора минимума стоячей волны напряжения (плоскость КЗ), ближайшего к выходному концу измерительной линии.
3.3.3. Определяют значение частоты

в герцах наблюдаемого на экране индикатора минимума стоячей волны напряжения, ближайшего к выходному концу линии. Частота

равна частоте измерения.
3.3.4. Определяют значение частот

и

в герцах на уровне по 3 дБ справа и слева от минимума стоячей волны.
3.3.5. Рассчитывают значение разности частот

в герцах, по формуле

. (23)
3.3.6. Эквивалент XX вставляют в диодную камеру.
3.3.7. Определяют частоту наблюдаемого минимума стоячей волны напряжения (

) в герцах.
Если для наблюдения минимума стоячей волны напряжения в режиме XX и обратного смещения применяется двухзондовая измерительная линия или зонд линии перемещается в сторону генератора на расстояние четверти длины волны от плоскости отсчета, то частота

равна частоте измерения.
3.3.8. Определяют частоты

и

в герцах на уровне по 3 дБ справа и слева от минимума стоячей волны.
3.3.9. Рассчитывают разность частот

в герцах по формуле

. (24)
3.4. Проведение измерений
3.4.1. Измерение прямого сопротивления потерь
3.4.1.1. Проверяемый диод вставляют в диодную камеру и устанавливают заданное значение прямого тока смещения.
3.4.1.2. Определяют частоту наблюдаемого минимума стоячей волны напряжения (

) в герцах.
3.4.1.3. Определяют значения частот

и

в герцах на уровне по 3 дБ справа и слева от минимума стоячей волны соответственно.
3.4.1.4. Рассчитывают разность частот

в герцах по формуле

. (25)
3.4.2. Измерение обратного сопротивления потерь
3.4.2.1. На проверяемом диоде устанавливают заданное значение обратного напряжения смещения.
3.4.2.2. Определяют частоту минимума стоячей волны напряжения

в герцах.
3.4.2.3. Определяют значения частот

и

в герцах на уровне по 3 дБ справа и слева от минимума стоячей волны соответственно.
3.4.2.4. Рассчитывают разность частот

в герцах по формуле

. (26)
3.5. Обработка результатов
3.5.1. Разность показаний индикатора измерительной линии в точках справа и слева от точки минимума, в которых напряженность электрического поля в линии вдвое больше минимального значения

(

) в миллиметрах, рассчитывают по формуле

, (27)
где

1 при нагрузке диодной камеры на эквивалент КЗ;

2 при нагрузке диодной камеры на эквивалент XX;

3 при подаче на диод прямого смещения;

4 при подаче на диод обратного смещения;

- значение, определяемое по пп.3.3.5, 3.3.9, 3.4.1.4, 3.4.2.4;

,

- значения частот, определяемых по пп.3.3.4, 3.3.8, 3.4.1.3; 3.4.2.3;

- порядок наблюдаемого минимума, рассчитываемый по формуле

, (28)
где

- расстояние от плоскости включения эквивалента КЗ до наблюдаемого минимума стоячей волны в режиме КЗ, мм. Порядок наблюдаемого минимума стоячей волны в режимах XX, прямого и обратного смещения принимают тот же;

- частота измерения, определяемая по п.3.3.3;

- скорость света, равная 3·10

мм/с.
3.5.2. Значения смещений минимума стоячей волны по напряжению относительно плоскости отсчета (

), (

), (

) рассчитывают по формуле

, (29)
где

2 при нагрузке диодной камеры на эквивалент XX;

4 при подаче на диод обратного смещения;

- смещение минимума стоячей волны по напряжению относительно плоскости отсчета при подаче на диод прямого смещения;

- значение частоты, определяемое по пп.3.3.3, 3.3.7, 3.4.1.2, 3.4.2.2.
При недостаточной широкополосности линии зонд измерительной линии устанавливают в положение, указанное в п.3.2.4, значение

при этом рассчитывают по формуле

. (30)
3.5.3. Значения прямого и обратного сопротивлений потерь рассчитывают по формулам (8-21) при подстановке в них значений

и

, определяемых по формулам (27-30).
3.6. Показатели точности измерений
3.6.1. Погрешность измерения прямого сопротивления потерь

с установленной вероятностью 0,95 приведена в табл.4.
Таблица 4
| | | | | | | | | | |
Пределы измерения значений  , Ом | Диапазон частот измерения, ГГц | Погрешность измерения, % |
0,2-10,0 | От | 0,3 | до | 1,0 | включ. | ±25 |
0,2-10,0 | Св. | 1,0 | " | 5,0 | " | ±35 |
От | 0,2 | до | 0,5 | включ. | От | 5,0 | " | 10,0 | " | ±45 |
Св. | 0,5 | " | 10,0 | " | Св. | 5,0 | " | 10,0 | " | ±30 |
3.6.2. Погрешность измерения обратного сопротивления потерь

с установленной вероятностью 0,95 приведена в табл.5.
Таблица 5
| | | | | | | | | | | |
Пределы измерения значений  , Ом | Значение емкости диода, пФ | Диапазон частот измерения, ГГц | Погрешность измерения, % |
0,5-10 | От | 3,0 | до | 1,2 | включ. | От | 0,3 | до | 1,0 | включ. | ±15 |
0,5-10 | Менее | 1,2 | до | 0,5 | включ. | Св. | 1,0 | " | 5,0 | " | ±25 |
0,5-10 | " | 0,5 | " | 0,05 | " | Св. | 5,0 | " | 10,0 | " | ±35 |
3.6.3. Погрешность измерения

находится в интервале ±35% с установленной вероятностью 0,95 в диапазоне частот 0,3-10 ГГц для значений

5 кОм.
Требования к погрешности измерения

,

,

для значений измеряемых параметров, не установленных настоящим стандартом, должны быть приведены в ТУ на диоды конкретных типов.
3.6.4. Пример расчета погрешности приведен в приложении 3.
4. РЕЗОНАТОРНЫЙ МЕТОД (

,

,

)
4.1. Принцип, условия и режим измерения
4.1.1. Прямое (

) и обратное (

,

) сопротивления потерь определяют исходя из измерения добротности резонаторного устройства с включенным в него измеряемым диодом и учета потерь в резонаторе, определяемых с помощью эквивалентов КЗ и XX.
4.1.2. Значения частоты измерения и напряжения (тока) смещения следует приводить в ТУ на диоды конкретных типов.
4.2. Аппаратура
4.2.1. Измерения проводят на установке, структурная схема которой приведена на черт.4.

- генератор качающейся частоты;

- аттенюатор;

,

- ответвители направленные;

,

- вентили;

- резонатор с проверяемым диодом;

- нагрузка согласованная;

- источник смещения;

- индикатор КСВН и ослаблений
Черт.4
4.2.2. Элементы, входящие в структурную схему, должны удовлетворять следующим требованиям:
1) ответвители направленные

и

должны иметь переходное ослабление и направленность не менее 20 дБ;
2) нагрузка согласованная

должна иметь коэффициент стоячей волны не более 1,2;
3) резонатор

должен иметь добротность с эквивалентом КЗ и XX не менее 500;
4) индикатор КСВН и ослаблений

должен удовлетворять требованиям п.3.2.3;
5) эквиваленты КЗ и XX должны удовлетворять требованиям пп.1.2.2 и 2.2.6;
6) генератор качающейся частоты

, вентили

,

, аттенюатор

- по ГОСТ 19656.0-74;
7) калибровочный резистор должен представлять собой деталь из кремния с металлизацией;
8) значение сопротивления калибровочного резистора не должно отличаться от номинального значения более чем на 10% и находиться в пределах 0,2-2,5 Ом;
9) калибровочный конденсатор должен представлять собой деталь из кварца с металлизацией;
10) значение емкости калибровочного конденсатора не должно отличаться от номинального значения более чем на 10% и лежать в пределах 0,05-1,0 пФ;
11) чертежи на калибровочные резисторы и конденсаторы и значения сопротивлений и емкостей калибровочных резисторов и конденсаторов должны быть приведены в ТУ на диоды конкретных типов.
4.3. Подготовка к проведению измерений
4.3.1. Эквивалент КЗ вставляют в резонатор.
4.3.2. Измеряют резонансную частоту (

) в мегагерцах, характеристики и частоты

,

в мегагерцах, на уровне по 3 дБ справа и слева от уровня характеристики на частоте резонанса.
4.3.3. Рассчитывают значение добротности резонатора с эквивалентом КЗ (

) по формуле

. (31)
4.3.4. Эквивалент XX вставляют в резонатор.
4.3.5. Измеряют резонансную частоту (

) в мегагерцах, характеристики и частоты

,

в мегагерцах на уровне по 3 дБ справа и слева от уровня характеристики на частоте резонанса.
4.3.6. Рассчитывают значение добротности резонатора с эквивалентом XX (

) по формуле

. (32)
4.3.7. Калибровочный резистор с установленным значением сопротивления вставляют в резонатор.
4.3.8. Определяют резонансную частоту (

) в мегагерцах, характеристики и частоты

,

в мегагерцах, на уровне по 3 дБ справа и слева от уровня характеристики на частоте резонанса.
4.3.9. Рассчитывают значение добротности резонатора с калибровочным резистором

по формуле

. (33)
4.3.10. Рассчитывают значение коэффициента связи (

) в омах по формуле

, (34)
где

- установленное значение сопротивления калибровочного резистора, в Ом.
4.3.11. Калибровочный конденсатор с установленным значением емкости

в пикофарадах вставляют в резонатор.
4.3.12. Определяют значение резонансной частоты характеристики (

) в мегагерцах.
4.3.13. Калибровочный конденсатор с установленным значением емкости

в пикофарадах вставляют в резонатор.
4.3.14. Определяют значение резонансной частоты характеристики (

) в мегагерцах.
4.3.15. Рассчитывают значение эквивалентной емкости резонатора

в пикофарадах по формуле

. (35)
4.4. Проведение измерений
4.4.1. Измеряемый диод вставляют в резонатор.
4.4.2. Заданное значение прямого тока смещения подают на проверяемый диод.
4.4.3. Определяют резонансную частоту характеристики

в мегагерцах и частоты

,

в мегагерцах на уровне по 3 дБ справа и слева от уровня характеристики на частоте резонанса.
4.4.4. Заданное значение обратного напряжения смещения подают на проверяемый диод.
4.4.5. Определяют резонансную частоту характеристики

в мегагерцах и частоты

,

в мегагерцах на уровне по 3 дБ справа и слева от уровня характеристики на частоте резонанса.
4.5. Обработка результатов
4.5.1. Значение прямого сопротивления потерь

рассчитывают по формуле

, (36)
где

- коэффициент связи, Ом, определяемый по п.4.3.10;

- значение добротности резонатора с эквивалентом КЗ, определяемое по п.4.3.3;

- значение добротности при прямом смещении на диоде;

- значение резонансной частоты характеристики резонатора с диодом в режиме прямого смещения, МГц, определяемое по п.4.4.3;

,

- значения частот на уровне по 3 дБ от уровня характеристики на частоте резонанса, МГц, определяемые по п.4.4.3.
4.5.2. Значение обратного сопротивления потерь (

) в омах рассчитывают по формуле

, (37)
где

- значение эквивалентной емкости резонатора, Ф, определяемое по п.4.3.15;

- значение добротности резонатора с эквивалентом XX, определяемое по п.4.3.6;

- значение емкости структуры диода, Ф, определяемое по ГОСТ 18986.4-73;

- значение резонансной частоты характеристики резонатора с диодом, Гц, в режиме обратного смещения, определяемое по п.4.4.5;

- значение добротности при подаче на проверяемый диод обратного смещения, рассчитываемое по формуле

, (38)
где

,

- значения частот, определяемые по п.4.4.5.
4.5.3. Значение

в омах рассчитывают по формуле

. (39)
4.6. Показатели точности измерения
4.6.1. Погрешность измерения прямого сопротивления потерь

находится в интервале ±20% с установленной вероятностью 0,95 в диапазоне частот 0,5-10 ГГц для значений

в пределах 0,2-10,0 Ом.
4.6.2. Погрешность измерения обратного сопротивления потерь

находится в интервале ±25% с установленной вероятностью 0,95 в диапазоне частот 0,5-10 ГГц для значений

в пределах 0,5-10 Ом.
4.6.3. Погрешность измерения

находится в интервале ±25% с установленной вероятностью 0,95 в диапазоне частот 0,3-10 ГГц для значений

в пределах до 100 кОм.
4.6.4. Погрешность измерения

,

,

для значений, не установленных настоящим стандартом, должна быть приведена в технических условиях на диоды конкретных типов.
4.6.5. Пример расчета погрешности приведен в приложении 4.
ПРИЛОЖЕНИЕ 1
Справочное
РАСЧЕТ ПОГРЕШНОСТИ ИЗМЕРЕНИЯ СОПРОТИВЛЕНИЯ ПОТЕРЬ ПРИ НИЗКОМ УРОВНЕ СВЧ МОЩНОСТИ
Прологарифмировав и продифференцировав формулу (3), получаем выражение для расчета погрешности

(40)
где

- относительное отклонение значения

от номинального значения;

- погрешность установления длины волны в измерительной линии;

- погрешность определения значения ширины минимума коэффициента стоячей волны по напряжению при нагрузке диодной камеры на эквивалент XX;

%;

- абсолютная погрешность отсчета индикатора часового типа измерительной линии;

- погрешность определения значения ширины минимума коэффициента стоячей волны по напряжению при нагрузке камеры на проверяемый диод;

%; (41)

;

; (42)

; (43)

; (44)

; (45)

- коэффициент, зависящий от закона распределения суммарной погрешности измерения и установленной вероятности

. Для нормального закона распределения и вероятности 0,95

1,96;

- коэффициенты, зависящие от законов распределения составляющих погрешности:

(равномерный закон);

(треугольный закон);

(нормальный закон);

; (46)

; (47)
где

- погрешность отсчета по линейке измерительной линии для определения

;

; (48)

- абсолютная погрешность отсчета по линейке измерительной линии;

- погрешность отсчета по линейке измерительной линии для определения

;

; (49)

- абсолютная погрешность отсчета по линейке измерительной линии.
ПРИЛОЖЕНИЕ 2
Справочное
РАСЧЕТ ПОГРЕШНОСТИ ИЗМЕРЕНИЯ ПРЯМОГО И ОБРАТНОГО СОПРОТИВЛЕНИЯ ПОТЕРЬ (МЕТОД ИЗМЕРИТЕЛЬНОЙ ЛИНИИ С ПОДВИЖНЫМ ЗОНДОМ)
1. Расчет погрешности измерения прямого сопротивления
Прологарифмировав и продифференцировав формулы (8, 9, 10), получаем выражение для расчета погрешности измерения


, (50)
где

, (51)

, (52)

(53)

; (54)

; (55)

; (56)

- коэффициент, зависящий от закона распределения суммарной погрешности измерения и установленной вероятности

. Для нормального закона распределения и вероятности 0,95

1,96;

- коэффициенты, зависящие от законов распределения составляющих погрешностей.

- (равномерный закон).
2. Расчет погрешности измерения обратного сопротивления
Прологарифмировав и продифференцировав формулы (13, 14 и 15), получаем выражение для расчета погрешности измерения


(57)
где

;

; (58)

; (59)

; (60)

; (61)

; (62)

; (63)

; (64)

; (65)

; (66)

- коэффициенты, зависящие от законов распределения составляющих погрешностей, при этом:

(равномерный закон);

(треугольный закон);

(нормальный закон);

(нормальный закон).
ПРИЛОЖЕНИЕ 3
Справочное
РАСЧЕТ ПОГРЕШНОСТИ ИЗМЕРЕНИЯ ПРЯМОГО И ОБРАТНОГО СОПРОТИВЛЕНИЙ ПОТЕРЬ (МЕТОД ИЗМЕРИТЕЛЬНОЙ ЛИНИИ С ФИКСИРОВАННЫМ ЗОНДОМ)
Значение погрешности измерения

и

рассчитывают по формулам (36-66) с учетом значений погрешностей

,

,

,

, рассчитываемых по формулам:

, (67)
где

- погрешность определения значения ширины минимума коэффициента стоячей волны по напряжению: при нагрузке диодной камеры на эквивалент КЗ (

1); при нагрузке камеры на эквивалент XX (

2); при нагрузке камеры на диод в режиме прямого смещения (

3); при нагрузке камеры на диод в режиме обратного смещения (

4);

,

- погрешность измерения частот в точках на уровне по 3 дБ от минимума стоячей волны напряжения в режимах КЗ (

1), XX (

2) прямого (

3) и обратного (

4) смещений, определяемая погрешностью измерения частот панорамным измерителем;

, (68)
где

2, 4;

- погрешность определения смещения минимума стоячей волны по напряжению относительно плоскости отсчета при нагрузке диодной камеры на эквивалент XX (

2); при подаче на диод обратного напряжения смещения (

4);

- погрешность определения смещения минимума стоячей волны по напряжению относительно плоскости отсчета при подаче на диод прямого тока смещения;

- погрешность измерения частот минимумов стоячей волны в режимах КЗ (

1), XX (

2), прямого (

3) и обратного (

4) смещений.
ПРИЛОЖЕНИЕ 4
Справочное
РАСЧЕТ ПОГРЕШНОСТИ ИЗМЕРЕНИЯ ПРЯМОГО И ОБРАТНОГО СОПРОТИВЛЕНИЙ ПОТЕРЬ (РЕЗОНАТОРНЫЙ МЕТОД)
1. Прологарифмировав и продифференцировав формулы (36, 37, 38), получаем выражения для расчета погрешности.
1.1. Погрешность измерения

рассчитывают по формуле

, (69)
где

;

; (70)

; (71)

; (72)

; (73)

- погрешность измерения сопротивления калибровочного резистора;

- погрешность измерения частот точек резонансных характеристик резонатора в режиме прямого смещения на диоде для

(

3); при эквиваленте КЗ, включенном в резонатор для

(

1), при калибровочном резисторе, включенном в резонатор

(

), определяемая погрешностью панорамного измерителя;

- коэффициент, зависящий от закона распределения суммарной погрешности измерения и установленной вероятности

. Для нормального закона распределения и вероятности 0,95

1,96;

- коэффициенты, зависящие от законов распределения составляющих погрешности.

(равномерный закон).
1.2. Погрешность измерения

рассчитывают по формуле

(74)
где

; (75)

; (76)

;

;

; (77)

; (78)

; (79)

; (80)

- погрешность измерения емкости структуры диода, определяемая в соответствии с ГОСТ 18986.4-73;

,

- погрешности измерения емкостей калибровочных конденсаторов, определяемые в соответствии с ГОСТ 18986.4-73;

- коэффициенты, зависящие от законов распределения составляющих погрешности.

(равномерный закон);

(нормальный закон).
ПРИЛОЖЕНИЕ 5
Рекомендуемое
МЕТОД ИЗМЕРЕНИЯ ПОЛОСЫ ПРОПУСКАНИЯ ЗОНДА ИЗМЕРИТЕЛЬНОЙ ЛИНИИ (МЕТОД ИЗМЕРИТЕЛЬНОЙ ЛИНИИ С ФИКСИРОВАННЫМ ЗОНДОМ)
1. Для определения полосы пропускания зонда может быть использован метод измерения амплитудно-частотной характеристики зонда измерительной линии в требуемом диапазоне качания частоты.
2. Измерение производят на установке, электрическая структурная схема которой приведена на черт.5.

- генератор СВЧ мощности;

- вентиль ферритовый;

- аттенюатор;

- линия измерительная;

- нагрузка согласованная;

- индикаторный прибор
Черт.5
3. На генераторе устанавливают частоту (

) требуемого диапазона качания.
4. Определяют величину сигнала

по шкале индикатора.
5. Перестраивают частоту генератора в пределах требуемого диапазона качания частоты, измеряя при этом величину сигнала по шкале индикатора.
6. Строят график зависимости.
7. Определяют ширину полосы частот, в которой величина сигнала превышает значение 0,75

.
При недостаточной полосе пропускания зонда расширение полосы пропускания зонда достигается перемещением выступов диэлектрического плунжера зонда в верхнее и нижнее положения и вращением ручки перемещения поршня контура детектора головки измерительной линии.