ГОСТ Р 8.629-2007 Государственная система обеспечения единства измерений (ГСИ). Меры рельефные нанометрового диапазона с трапецеидальным профилем элементов. Методика поверки.

    ГОСТ Р 8.629-2007

Группа Т88.1

НАЦИОНАЛЬНЫЙ СТАНДАРТ РОССИЙСКОЙ ФЕДЕРАЦИИ

 Государственная система обеспечения единства измерений

 МЕРЫ РЕЛЬЕФНЫЕ НАНОМЕТРОВОГО ДИАПАЗОНА  С ТРАПЕЦЕИДАЛЬНЫМ ПРОФИЛЕМ ЭЛЕМЕНТОВ

 Методика поверки

 State system for ensuring the uniformity of measurements. Nanometer range relief measures with trapezoidal profile of elements. Methods for verification

ОКС 17.040.01

Дата введения 2008-02-01

 Предисловие

Цели и принципы стандартизации в Российской Федерации установлены Федеральным законом от 27 декабря 2002 г. N 184-ФЗ "О техническом регулировании", а правила применения национальных стандартов Российской Федерации - ГОСТ Р 1.0-2004 "Стандартизация в Российской Федерации. Основные положения"

Сведения о стандарте

1 РАЗРАБОТАН Открытым акционерным обществом "Научно-исследовательский центр по изучению свойств поверхности и вакуума", Федеральное государственное учреждение Российский научный центр "Курчатовский институт", Государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Московский физико-технический институт (государственный университет)"

2 ВНЕСЕН Техническим комитетом по стандартизации ТК 441 "Наукоемкие технологии" Федерального агентства по техническому регулированию и метрологии

3 УТВЕРЖДЕН И ВВЕДЕН В ДЕЙСТВИЕ Приказом Федерального агентства по техническому регулированию и метрологии от 21 мая 2007 г. N 97-ст

4 ВВЕДЕН ВПЕРВЫЕ

5 ИЗДАНИЕ (декабрь 2010 г.) с Изменением N 1, утвержденным в ноябре 2010 г. (ИУС 2-2011)

Информация об изменениях к настоящему стандарту публикуется в ежегодно издаваемом информационном указателе "Национальные стандарты", а текст изменений и поправок - в ежемесячно издаваемых указателях "Национальные стандарты". В случае пересмотра (замены) или отмены настоящего стандарта соответствующее уведомление будет опубликовано в ежемесячно издаваемом указателе "Национальные стандарты". Соответствующая информация, уведомление и тексты размещаются также в информационной системе общего пользования - на официальном сайте Федерального агентства по техническому регулированию и метрологии в сети Интернет

      1 Область применения

Настоящий стандарт распространяется на рельефные меры нанометрового диапазона с трапецеидальным профилем элементов (далее - рельефные меры), линейные размеры и материал для изготовления которых соответствуют требованиям ГОСТ Р 8.628. Рельефные меры применяют для измерения линейных размеров в диапазоне от 10

до 10

м.

Настоящий стандарт устанавливает методику первичной и периодических поверок рельефных мер.

(Измененная редакция, Изм. N 1).     

      2 Нормативные ссылки

В настоящем стандарте использованы нормативные ссылки на следующие стандарты:

ГОСТ Р 8.628-2007 Государственная система обеспечения единства измерений. Меры рельефные нанометрового диапазона из монокристаллического кремния. Требования к геометрическим формам, линейным размерам и выбору материала для изготовления

ГОСТ Р ИСО 14644-2-2001 Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды. Часть 2. Требования к контролю и мониторингу для подтверждения постоянного соответствия ГОСТ Р ИСО 14644-1*

 ______________

* ГОСТ Р ИСО 14644-1-2000 отменен; с 01.04.2004 действует ГОСТ ИСО 14644-1-2002.

ГОСТ Р ИСО 14644-5-2005 Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды. Часть 5. Эксплуатация

ГОСТ 12.1.040-83 Система стандартов безопасности труда. Лазерная безопасность. Общие положения

ГОСТ 12.2.061-81 Система стандартов безопасности труда. Оборудование производственное. Общие требования безопасности к рабочим местам

ГОСТ ИСО 14644-1-2002 Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды. Часть 1. Классификация чистоты воздуха

Примечание - При пользовании настоящим стандартом целесообразно проверить действие ссылочных стандартов в информационной системе общего пользования - на официальном сайте Федерального агентства по техническому регулированию и метрологии в сети Интернет или по ежегодно издаваемому информационному указателю "Национальные стандарты", который опубликован по состоянию на 1 января текущего года, и по соответствующим ежемесячно издаваемым информационным указателям, опубликованным в текущем году. Если ссылочный стандарт заменен (изменен), то при пользовании настоящим стандартом следует руководствоваться заменяющим (измененным) стандартом. Если ссылочный стандарт отменен без замены, то положение, в котором дана ссылка на него, применяется в части, не затрагивающей эту ссылку.   

(Измененная редакция, Изм. N 1).

      3 Термины и определения

В настоящем стандарте применены термины по РМГ 29 [1], а также следующие термины с соответствующими определениями.

3.1 рельеф поверхности (твердого тела): Поверхность твердого тела, отклонения которой от идеальной плоскости обусловлены естественными причинами или специальной обработкой.

3.2 элемент рельефа (поверхности): Пространственно локализованная часть рельефа поверхности.

3.3 элемент рельефа в форме выступа (выступ): Элемент рельефа, расположенный выше прилегающих к нему областей.

3.4 геометрическая форма элемента рельефа: Геометрическая фигура, наиболее адекватно аппроксимирующая форму минимального по площади сечения элемента рельефа.

Пример - Трапецеидальный выступ, представляющий собой элемент рельефа поверхности, геометрическая форма минимального по площади сечения которого наиболее адекватно аппроксимируется трапецией.

3.5 мера (физической) величины: Средство измерений, предназначенное для воспроизведения и (или) хранения физической величины одного или нескольких заданных размеров, значения которых выражены в узаконенных единицах и известны с необходимой точностью [1].

3.6 рельефная мера: Средство измерений длины, представляющее собой твердый объект, линейные размеры элементов рельефа которого установлены с необходимой точностью.

Примечание - Рельефная мера может быть изготовлена с помощью средств микро- и нанотехнологии или представлять собой специально обработанный объект естественного происхождения.

3.7

рельефная мера нанометрового диапазона:

Мера, содержащая элементы рельефа, линейный размер хотя бы одного из которых менее 10

м.

3.8 рельефная мера (нанометрового диапазона с трапецеидальным профилем элементов): Рельефная мера нанометрового диапазона, геометрическая форма элементов рельефа которой представляет собой трапецию.

3.9 пиксель: Наименьший дискретный элемент изображения, получаемый в результате математической обработки информативного сигнала.

3.10 сканирование (элемента исследуемого объекта): Перемещение зонда вдоль выбранного отрезка на исследуемом объекте с одновременной регистрацией информативного сигнала.

3.11 изображение на экране монитора микроскопа (видеоизображение): Изображение на экране монитора микроскопа в виде матрицы из n строк по m пикселей в каждой, яркость которых прямо пропорциональна значению сигнала соответствующей точки матрицы.

Примечание - Яркость пикселя определяется силой света, излучаемой им в направлении глаза наблюдателя.

3.12 видеопрофиль (информационного сигнала): Графическая зависимость значения информативного сигнала, поступающего с детектора микроскопа, от номера пикселя в данной строке видеоизображения.

3.13 масштабный коэффициент (видеоизображения микроскопа): Отношение длины исследуемого элемента на объекте измерений к числу пикселей этого элемента на видеоизображении.

Примечание - Масштабный коэффициент определяют для каждого микроскопа.

3.14 Z-сканер сканирующего зондового атомно-силового микроскопа (Z-сканер): Устройство сканирующего зондового атомно-силового микроскопа, позволяющее в процессе сканирования перемещать зонд над поверхностью исследуемого объекта (или перемещать исследуемый объект под зондом) в вертикальном направлении.

(Измененная редакция, Изм. N 1).

      4 Операции и средства поверки

4.1 При проведении первичной и периодических поверок рельефной меры должны быть выполнены операции и применены средства поверки, указанные в таблице 1.

Таблица 1 - Операции и применяемые средства поверки

Наименование операции	Номер подраздела настоящего стандарта	Наименование средства поверки и его основные технические и метрологические характеристики
Внешний осмотр	8.1	Вспомогательный оптический микроскоп (увеличение не менее 400 )
Опробование	8.2	Сканирующий зондовый атомно-силовой микроскоп.   Вспомогательный оптический микроскоп (увеличение не менее 400 ).   Два лазерных двухлучевых интерферометра с источником излучения - гелий-неоновым лазером, длина волны которого стабилизирована по линии насыщенного поглощения в молекулярном йоде и определена с относительной погрешностью не более 3·10 %. В комплект поставки каждого лазерного интерферометра должны входить два зеркала, предназначенные для формирования опорного и информативного лучей, по фазовому сдвигу между которыми определяют перемещение поверяемого элемента в процессе его сканирования атомно-силовым микроскопом. Абсолютная погрешность определения фазового сдвига - не более 0,002 рад
Определение метрологических характеристик	8.3	Атомно-силовой микроскоп.   Вспомогательный оптический микроскоп (увеличение не менее 400 ).   Два лазерных двухлучевых интерферометра с источником излучения - гелий-неоновым лазером, длина волны которого стабилизирована по линии насыщенного поглощения в молекулярном йоде и определена с относительной погрешностью не более 3·10 %. В комплект поставки каждого лазерного интерферометра должны входить два зеркала, предназначенные для формирования опорного и информативного лучей, по фазовому сдвигу между которыми определяют перемещение поверяемого элемента в процессе его сканирования атомно-силовым микроскопом. Абсолютная погрешность определения фазового сдвига - не более 0,002 рад.   Средства измерений параметров окружающей среды с абсолютными погрешностями не более:   - температуры окружающей среды - ±0,2 °С;   - относительной влажности воздуха - ±3%; - атмосферного давления - ±130 Па

(Измененная редакция, Изм. N 1).

4.2 Допускается применять другие средства поверки, точность которых соответствует требованиям настоящего стандарта.

      5 Требования к квалификации поверителей

Поверку рельефных мер должны проводить штатные сотрудники метрологической службы предприятия, аккредитованной в установленном порядке на право проведения поверки средств измерений.

Сотрудники должны иметь высшее образование, профессиональную подготовку, опыт работы со сканирующими зондовыми атомно-силовыми микроскопами (далее - АСМ) и двухлучевыми лазерными гетеродинными интерферометрами и знать требования настоящего стандарта.

(Измененная редакция, Изм. N 1).

      6 Требования безопасности

При поверке рельефных мер необходимо соблюдать правила электробезопасности по [3], [4*], требования лазерной безопасности по ГОСТ 12.1.040 и требования по обеспечению безопасности на рабочих местах по ГОСТ 12.2.061, [5], [6].

Рабочие места поверителей должны быть аттестованы по условиям труда в соответствии с требованиями трудового законодательства.

(Измененная редакция, Изм. N 1).

      7 Условия поверки и подготовка к ней

7.1 При проведении поверки должны быть соблюдены следующие условия:

Разность значений параметров окружающей среды до и после окончания поверки не должна превышать указанных в приложении А.

7.2 Помещение (зона), в котором размещают средства измерений для поверки рельефных мер, должно быть в эксплуатируемом состоянии и обеспечивать класс чистоты не более класса 8 ИСО по взвешенным в воздухе частицам размерами 0,5 и 5 мкм и концентрациями, определенными по ГОСТ ИСО 14644-1. Периодичность контроля состояния помещения (зоны) определяют по ГОСТ Р ИСО 14644-2. Эксплуатацию помещения (зоны) осуществляют по ГОСТ Р ИСО 14644-5.

7.1, 7.2 (Измененная редакция, Изм. N 1).

7.3 Перед началом поверки необходимо подать напряжение питания на основные средства поверки и подготовить их к работе в соответствии с инструкциями по эксплуатации.

      8 Проведение поверки

8.1 Внешний осмотр

8.1.1 При внешнем осмотре поверяемой рельефной меры должно быть установлено:

- соответствие комплекта поставки данным, приведенным в паспорте (формуляре) на рельефную меру;

- отсутствие механических повреждений футляра, в котором осуществлялось хранение и транспортирование рельефной меры.

8.1.2 Рельефную меру извлекают из футляра, проводят предварительный визуальный внешний осмотр для выявления возможных повреждений и с помощью специальных зажимов устанавливают меру на рабочий стол АСМ.

При установке рельефной меры необходимо обеспечить:

- плотное прилегание плоскости подложки меры к поверхности рабочего стола АСМ;

- параллельность плоскости, образованной верхним основанием выступа поверяемого элемента рельефной меры, направлению горизонтального перемещения зонда (или рабочего стола) АСМ, а также ортогональностью такого перемещения к линии пересечения верхнего основания выступа с его наклонной стенкой.

8.1.3 С помощью вспомогательного оптического микроскопа осматривают и проверяют качество поверхности рельефной меры. Шаговая структура на поверхности рельефной меры должна быть однородной, при этом на примерно 75% поверхности меры не должно быть повреждений маркерных линий, искажений краев элементов рельефа в виде впадин и выступов, соизмеримых с шириной элементов рельефа.

8.1.2, 8.1.3 (Измененная редакция, Изм. N 1).     

8.2 Опробование

8.2.1 С помощью вспомогательного оптического микроскопа устанавливают зонд АСМ в положение, соответствующее началу сканирования поверяемого элемента рельефной меры.

Начальное положение определяют следующим образом: зонд АСМ устанавливают на плоскость нижнего основания на расстоянии от поверяемого элемента, равном не менее 20% и не более 50% ширины нижнего основания поверяемого элемента. Аналогично определяют конечное положение зонда АСМ при сканировании.

8.2.2 На неподвижном элементе в камере образцов АСМ устанавливают зеркало лазерного интерферометра, предназначенное для формирования опорного луча, а на рабочем столе АСМ - другое зеркало для формирования информативного луча. Лазерный интерферометр (далее - горизонтальный лазерный интерферометр) располагают вдоль оси, совпадающей с горизонтальным направлением сканирования (далее - ось абсцисс).

Второй комплект зеркал устанавливают на Z-сканере и на неподвижном элементе камеры образцов АСМ. Эти зеркала предназначены для формирования информативного (на Z-сканере) и опорного (на неподвижном элементе камеры) лучей, что позволяет регистрировать перемещение Z-сканера АСМ в вертикальном направлении сканирования (далее - ось ординат). Второй лазерный интерферометр (далее - вертикальный лазерный интерферометр) устанавливают соответственно расположению зеркал.

Горизонтальный и вертикальный лазерные интерферометры должны обеспечивать регистрацию информативных и опорных лучей в процессе сканирования поверяемого элемента. Необходимо также обеспечить для каждого интерферометра взаимную параллельность информативного и опорного лучей при всех положениях стола и Z-сканера АСМ в процессе сканирования поверяемого элемента. Допустимый угол расхождения опорного и информативного лучей для каждого интерферометра не должен превышать 1’.

Такое взаимное расположение двух лазерных интерферометров в комплекте с зеркалами позволяет в процессе сканирования поверяемого элемента рельефной меры проводить регистрацию видеопрофиля элемента и одновременно с этим регистрацию перемещения рельефной меры и Z-сканера двумя лазерными интерферометрами.

8.2.3 В соответствии с инструкцией по эксплуатации АСМ проводят пробное сканирование поверяемого элемента рельефа. При этом предварительно:

- выполняют юстировку зеркал в соответствии с инструкцией по эксплуатации применяемых лазерных интерферометров;

- путем изменения угла наклона исследуемого объекта обеспечивают взаимную параллельность направления прохождения информативного луча вертикального лазерного интерферометра и направления вертикального перемещения Z-сканера АСМ при сканировании элемента рельефа;

- в соответствии с инструкциями по эксплуатации применяемых АСМ и лазерных интерферометров определяют частоту и скорость сканирования поверяемого элемента, при которых в электронно-фазометрических системах интерферометров можно четко регистрировать количество целых и дробных полос интерференции, соответствующих значениям фазовых сдвигов между опорными и информативными лучами горизонтального и вертикального интерферометров;

- устанавливают показания электронно-фазометрических систем применяемых лазерных интерферометров в "нулевое" положение, определяемое нестабильностью младшего разряда используемых аналого-цифровых преобразователей в указанных электронно-фазометрических системах.

8.2.2, 8.2.3 (Измененная редакция, Изм. N 1).     

8.3 Определение метрологических характеристик

8.3.1 Проводят измерение параметров окружающей среды и показателей качества питающей электрической сети и проверяют выполнение требований, указанных в 7.1.

8.3.2 В соответствии с инструкциями по эксплуатации применяемых АСМ и лазерных интерферометров проводят сканирование выступа поверяемого элемента рельефной меры. Одновременно с помощью лазерных интерферометров проводят измерения горизонтального перемещения подвижной части рабочего стола АСМ и вертикального перемещения Z-сканера АСМ.

Сечение выступа трапецеидальной формы и места начального и конечного положений зонда АСМ приведены на рисунке 1.

- ширина нижнего основания выступа;

- ширина верхнего основания выступа;

- высота выступа;  

- значение проекции наклонной стенки на плоскость нижнего основания выступа

Рисунок 1 - Сечение поверяемого элемента рельефной меры

Видеопрофиль, соответствующий этому выступу, представлен на рисунке 2.

- точка на видеопрофиле, соответствующая начальному положению зонда АСМ при сканировании;

- точка на видеопрофиле, соответствующая конечному положению зонда при сканировании;

- высота выступа, измеренная по видеопрофилю;

- разность абсцисс конечной и начальной точек горизонтального сканирования, соответствующая величине горизонтального  перемещения подвижной части рабочего стола АСМ, вычисленная по видеопрофилю

Рисунок 2 - Видеопрофиль сечения поверяемого элемента рельефной меры,  приведенного на рисунке 1 (направление сканирования - слева направо)     

8.3.3 По показаниям электронно-фазометрической системы горизонтального лазерного интерферометра определяют значение горизонтального фазового сдвига

в радианах между информативным и опорным лучами этот интерферометра.

8.3.4 По показаниям электронно-фазометрической системы вертикального лазерного интерферометра определяют значение вертикального фазового сдвига

в радианах между информативным и опорным лучами этого интерферометра.

8.3.5 Проводят измерение параметров окружающей среды и показателей качества питающей электрической сети и проверяют выполнение требований, указанных в 7.1.     

8.3.1-8.3.5 (Измененная редакция, Изм. N 1).

8.4 Оформление протокола поверки

Результаты измерений параметров рельефной меры по 8.3.2-8.3.4, а также приведенных на рисунке 2, оформляют в виде протокола. Также в протоколе указывают данные условий поверки до начала и после окончания измерений по 8.3.1 и 8.3.5.

Форма протокола - произвольная. Протокол с результатами проверки должен храниться как минимум до следующей проверки рельефной меры.

(Измененная редакция, Изм. N 1).

      9 Обработка результатов измерений

9.1 (Исключен, Изм. N 1).  

9.2 Вычисление горизонтального перемещения подвижной части рабочего стола АСМ при сканировании поверяемого элемента рельефа

Горизонтальное перемещение подвижной части рабочего стола

, нм, от начального до конечного положения при сканировании поверяемого элемента рельефа вычисляют по формуле

,

где

 - длина волны излучения гелий-неонового лазера в вакууме, приведенная в паспорте (формуляре) на горизонтальный лазерный интерферометр, нм;

- фазовый сдвиг, измеренный по 8.3.3, рад;

- показатель преломления воздуха при фактических значениях температуры окружающей среды, влажности воздуха и атмосферного давления, вычисленный по приложению А.

9.3 Вычисление масштабного коэффициента видеоизображения для оси абсцисс

Масштабный коэффициент видеоизображения

, нм/пиксель, для оси абсцисс вычисляют по формуле

,

где

- перемещение подвижной части рабочего стола АСМ при горизонтальном сканировании, вычисленное по 9.2, нм;

- разность абсцисс конечной и начальной точек горизонтального сканирования, соответствующая горизонтальному перемещению подвижной части рабочего стола АСМ, вычисленная по видеопрофилю (см. рисунок 2), пиксель.

9.4 (Исключен, Изм. N 1).    

9.5 Вычисление вертикального перемещения Z-сканера АСМ при сканировании поверяемого элемента

Вертикальное перемещение Z-сканера АСМ

, нм, при сканировании поверяемого элемента вычисляют по формуле

,

где

- длина волны излучения гелий-неонового лазера в вакууме, приведенная в паспорте (формуляре) на вертикальный лазерный интерферометр, нм;

- фазовый сдвиг, измеренный по 8.3.4, рад;

- показатель преломления воздуха при фактических значениях температуры окружающей среды, влажности воздуха и атмосферного давления, вычисленный по приложению А.

(Измененная редакция, Изм. N 1).

9.6  (Исключен, Изм. N 1).  

9.7 Вычисление высоты выступа поверяемого элемента рельефа

Значение высоты выступа

в нанометрах равно значению вертикального перемещения

-сканера

, вычисленному по 9.5.

(Измененная редакция, Изм. N 1).  

9.8 Вычисление вспомогательной величины для определения ширины верхнего основания выступа поверяемого элемента рельефа

При определении ширины верхнего основания трапецеидального выступа

используют вспомогательную величину, для вычисления которой:

- вычисляют производную по горизонтальной координате. Для видеопрофиля, изображенного на рисунке 2, результат такого вычисления приведен на рисунке 3;

- проводят анализ результатов вычисления производной видеопрофиля по координате и вычисляют вспомогательную величину

, пиксель, которая равна разности соответствующих абсцисс точек, как показано на рисунке 3.

- ось абсцисс по 8.2.2;

,

- начальная и конечная точки положения  зонда АСМ при сканировании поверяемого элемента, расположенные по 8.2.1;

- ось ординат по значению производной величины видеосигнала по координате

.

Рисунок 3 - Графическое изображение первой производной видеопрофиля  по координате в направлении горизонтального перемещения подвижной части стола АСМ

9.9 Вычисление ширины верхнего основания трапецеидального выступа

Ширину верхнего основания выступа

, нм, вычисляют по формуле

,

где

- масштабный коэффициент видеоизображения для оси абсцисс, вычисленный по 9.3, нм/пиксель;

- вспомогательная величина, вычисленная по 9.8, пиксель.

9.10 Вычисление ширины нижнего основания трапецеидального выступа

Ширину нижнего основания трапецеидального выступа

, нм, вычисляют по формуле

,

где

- ширина верхнего основания поверяемого выступа, вычисленная по 9.9, нм;

- высота поверяемого выступа, вычисленная по 9.7, нм.

9.11 Вычисление проекции наклонной стенки на плоскость нижнего основания выступа

Проекцию наклонной стенки на плоскость нижнего основания выступа

, нм, вычисляют по формуле

,

где

- высота выступа, вычисленная по 9.7, нм.

9.12 Погрешность измерений

При соблюдении условий проведения измерений и использовании средств поверки с метрологическими характеристиками не хуже указанных в 4.1 абсолютные погрешности измерений значений линейных размеров поверяемого элемента рельефной меры приведены в таблице 2.

Таблица 2 - Абсолютные погрешности измерений значений линейных размеров

,

,

и

Наименование и обозначение линейного размера поверяемого элемента рельефной меры	Абсолютная погрешность измерений, нм, не более
Ширина верхнего основания трапецеидального выступа,	±0,8
Ширина нижнего основания трапецеидального выступа,	±1,4
Высота трапецеидального выступа,	±0,3
Проекция наклонной стенки на плоскость нижнего основания выступа,	±0,3

9.10-9.12 (Измененная редакция, Изм. N 1).

      10 Оформление результатов поверки   

10.1 Результаты поверки оформляют в виде свидетельства установленной формы и внесением соответствующей записи в паспорт (формуляр) рельефной меры.

10.2 На лицевой стороне свидетельства о поверке наносят знак поверки (поверительное клеймо), а также указывают даты выдачи и окончания срока действия свидетельства. На оборотной стороне свидетельства о поверке и в паспорте (формуляре) рельефной меры должны быть приведены значения высоты выступа, ширины верхнего и нижнего его оснований, а также значение проекции наклонной стенки на плоскость нижнего основания выступа поверяемого элемента. Для перечисленных метрологических характеристик рельефной меры необходимо также указать абсолютные погрешности их измерений, приведенные в подразделе 9.12 настоящего стандарта.     

10.1, 10.2 (Измененная редакция, Изм. N 1).

Приложение А

(справочное)

Вычисление показателя преломления воздуха

А.1 Исходные данные

При вычислении показателя преломления воздуха

исходными данными являются следующие параметры окружающей среды:

- температура

, °C;

- атмосферное давление

, Па;

- относительная влажность

, %.

Параметры окружающей среды измеряют до начала и после окончания измерений, при этом разность показаний должна быть не более:

- температуры окружающей среды - ±1 °С;

- атмосферного давления - ±300 Па;

- относительной влажности воздуха - ±10%.

А.2 Константы для вычисления показателя преломления воздуха

При вычислениях используют константы, приведенные в таблице А.1.

Таблица А.1 - Константы для вычисления показателя преломления воздуха

Обозначение константы	Числовое значение
	8342,54
	2406147
	15998
	96095,43
	0,601
	0,00972
	0,003661

А.3 Вычисление вспомогательной величины

Вспомогательную величину

вычисляют по формуле

,

где

,

- значения длин волн излучения в вакууме гелий-неоновых лазеров по 9.2 и 9.5, нм, соответственно.

А.4 Вычисление вспомогательной величины

Вспомогательную величину

вычисляют по формуле

,

где

,

,

- константы по А.2;

- вспомогательная величина, вычисленная по А.3.

А.5 Вычисление вспомогательной величины

Вспомогательную величину

вычисляют по формуле

,

где

,

,

- константы по А.2;

- температура окружающей среды, °С;

- атмосферное давление, Па.

А.6 Вычисление вспомогательной величины

Вспомогательную величину

вычисляют по формуле

,

где

- атмосферное давление, Па;

- вспомогательная величина, вычисленная по А.4;

- вспомогательная величина, вычисленная по А.5;

- константа по А.2.

А.7 Вычисление парциального давления паров воды

Парциальное давление паров воды

, Па, вычисляют по формуле

,

где

- относительная влажность воздуха, %;

- давление насыщенного водяного пара при температуре окружающей среды

, вычисленное по А.8-А.14, Па.

А.8 Константы для вычисления давления насыщенного водяного пара

Для вычисления давления насыщенного водяного пара при температуре окружающей среды

, °C, используют константы, приведенные в таблице А.2.

Таблица А.2 - Константы для вычисления давления насыщенного водяного пара

Обозначение константы	Значение
	1167,05214528
	-724213,167032
	-17,0738469401
	12020,8247025
	-3232555,03223
	14,9151086135
	-4823,26573616
	405113,405421
	-23,8555575678
	650,175348448

А.9 Вычисление вспомогательной величины

Вспомогательную величину

вычисляют по формуле

,

где

- температура окружающей среды, °С ;

,

- константы пo A.8.

А.10 Вычисление вспомогательной величины

Вспомогательную величину

вычисляют по формуле

,

где

- вспомогательная величина, вычисленная по А.9;

,

- константы по А.8.

А.11 Вычисление вспомогательной величины

Вспомогательную величину

вычисляют по формуле

,

где

,

,

- константы по А.8;

- вспомогательная величина, вычисленная по А.9.

А.12 Вычисление вспомогательной величины

Вспомогательную величину

вычисляют по формуле

,

где

,

,

- константы по А.8;

- вспомогательная величина, вычисленная по А.9.

А.13 Вычисление вспомогательной величины

Вспомогательную величину

вычисляют по формуле

,

где

- вспомогательная величина, вычисленная по А.11;

- вспомогательная величина, вычисленная по А.10;

- вспомогательная величина, вычисленная по А.12.

А. 14 Вычисление давления насыщенного водяного пара

Давление насыщенного водяного пара

, Па, вычисляют по формуле

,

где

- вспомогательная величина, вычисленная по А.12;

- вспомогательная величина, вычисленная по А.13.

А.15 Вычисление показателя преломления воздуха

Показатель преломления воздуха

вычисляют по формуле

,

где

- вспомогательная величина, вычисленная по А.6;

- вспомогательная величина, вычисленная по А.3;

- парциальное давление паров воды, вычисленное по А.7, Па;

- температура окружающей среды, °С.

(Измененная редакция, Изм. N 1).

 Библиография

444

________________________________________________________________________________________

УДК 531.711.7.089:006.354           ОКС 17.040.01           Т88.1

Ключевые слова: рельефные меры нанометрового диапазона, с трапецеидальным профилем элементов, сканирующий зондовый атомно-силовой микроскоп, лазерный интерферометр, методика поверки

________________________________________________________________________________________