ГОСТ 5197-85 Вакуумная техника. Термины и определения (СТ СЭВ 4751-84, СТ СЭВ 4839-84, СТ СЭВ 4840-84).

Термин

Определение

 ОБЩИЕ ПОНЯТИЯ

1. Вакуум

D. Vakuum

Е. Vacuum

F. Vide

Состояние среды, абсолютное давление которой меньше атмосферного

2. Вакуумная техника

D. Vakuumtechnik

Е. Vacuum technology

F. Technique du vide

Техника получения, поддержания вакуума и проведения вакуумных измерений

3. Степень вакуума

D. Vakuumbereiche

Е. Ranges of vacuum

F. Domaines de vide

Характеристика вакуума в интервалах давлений, определяющих соотношение средней длины свободного пути молекул с линейным размером откачиваемого сосуда, характерным для рассматриваемого процесса.

Примечание. Принимают следующие интервалы давлений:

от 100 кПа до 100 Па - для низкого вакуума;

от 100 Па до 0,1 Па - для среднего вакуума;

от 0,1 Па до 10 мкПа - для высокого вакуума;

ниже 10 мкПа - для сверхвысокого вакуума

4. Вакуумное масло

D.

Е. Vacuum pump oil

F. Huile de pompe

vide primaire

Масло с малой упругостью паров, предназначенное для применения в вакуумных насосах

 ВАКУУМНАЯ СИСТЕМА И ЕЕ ЭЛЕМЕНТЫ

5. Вакуумная система

D. Vakuumsystem

Е. Vacuum system

F.

vide

Совокупность взаимосвязанных устройств для создания, повышения и поддержания вакуума, приборов для вакуумных измерений, а также откачиваемых сосудов и связывающих их вакуумных трубопроводов

6. Вакуумная установка

D. Vakuumanlage

Е. Vacuum plant

F. Installation de vide

Установка, состоящая из вакуумной системы и устройств, обеспечивающих ее действие

7. Вакуумный агрегат

D. Vakuumeinheit

Е. Vacuum unit

F.

vide

Вакуумная установка, конструктивно выполненная как единое целое

8. Откачной пост

D. Pumpstand

Е. Pumping station

F. Stand de pompage

Вакуумная установка, предназначенная для откачки, наполнения и тренировки изделий

9. Откачиваемый вакуумный сосуд

D. Vakuumkamer

Е. Pumped container

F. Enceinte

Сосуд, в котором создается вакуум

10. Элемент вакуумной системы

D. Vakuumsystemselement

Е. Element of vacuum system

F. Element du

vide

-

11. Вакуумный насос

D. Vakuumpumpe

Е. Vacuum pump

F. Pompe

vide

Устройство, предназначенное для создания, повышения и поддержания вакуума

12. Вакуумная ловушка

D. Falle

Е. Trap

F.

Элемент вакуумной системы, предназначенный для предотвращения проникновения паров и газов из одной части вакуумной системы в другую или для снижения их парциального давления

13. Вакуумный клапан

D. Vakuumventil

Е. Vacuum valve

F. Soupape de vide

Элемент вакуумной системы, позволяющий регулировать или полностью перекрывать поступление газа в вакуумную систему

14. Вакуумный затвор

D. Vakuumschlensenventil

Е. Vacuum gate valve

F.

Вакуумный клапан, позволяющий соединять и разобщать элементы вакуумной системы

15. Напускной вакуумный клапан

D. Beluftungsvakuumventil

Е. Admittance vacuum valve

F. Robinet

d’air

Вакуумный клапан, предназначенный для напуска воздуха или газа в вакуумную систему

16. Вакуумный натекатель

D. Nadelvakuumventil

E. Air admittance vacuum valve

F. Robinet

aiguille

Напускной вакуумный клапан, предназначенный для напуска малых потоков газа и их регулировки

17. Вакуумный ввод

D.

E. Vacuum feedthrough

F. Passage du vide

Элемент вакуумной системы, служащий для передачи в откачиваемый вакуумный сосуд механической или электрической энергии без нарушения вакуума

18. Вакуумный трубопровод

D. Vakuumrohrleitung

E. Vacuum pipework

F. Conduite

vide

Элемент вакуумной системы, представляющий собой трубопровод, по которому перемещается газ

19. Форвакуумный трубопровод

D. Vorpumpenrohrleitung

E. Backing line

F. Conduite

vide

Вакуумный трубопровод, служащий для присоединения к форвакуумному насосу

20. Байпасный трубопровод

D. Umwegleitung

E. Bypass line

F. Conduite by-pass

Вакуумный трубопровод, предназначенный для откачки сосуда, минуя высоковакуумный насос

21. Вакуумное защитное устройство

D. Vakuumsicherheitsvorrichtung

E. Vacuum protective device

F. Dispositif de

Элемент вакуумной системы, предназначенный для быстрого разобщения участка вакуумной системы, где произошел прорыв атмосферного воздуха, и остальной ее части

22. Уравнительный вакуумный баллон

D. Druckausgleichskolben

E. Equal vessel

F. Ballon

de pression

Элемент вакуумной системы, предназначенный для выравнивания колебаний давления в ней

 ВИДЫ ВАКУУМНЫХ НАСОСОВ

23. Низковакуумный насос

D. Grobvakuumpumpe

E. Rough vacuum pump

F. Pompe

vide primaire

Вакуумный насос, предназначенный для понижения давления в откачиваемом объеме, начиная от атмосферного, и создающий давление, лежащее в интервале, характерном для низкого вакуума

24. Высоковакуумный насос

D. Endvakuumpumpe

E. High vacuum pump

F. Pompe

vide secondaire

Вакуумный насос, работающий на ступени самого низкого давления системы, состоящей из двух или более последовательно соединенных насосов

25. Форвакуумный насос

D. Vorvakuumpumpe

E. Backing vacuum pump

F. Pompe primaire pour Ie vide

Вакуумный насос, предназначенный для поддержания давления в выходном сечении насоса более высокого вакуума, при котором последний может обеспечивать заданные параметры откачки

26. Бустерный вакуумный насос

D. Boostervakuumpumpe

E. Booster vacuum pump

F. Pompe

vide

Вакуумный насос, устанавливаемый между форвакуумным и высоковакуумным насосами с целью приведения в соответствие выпускного давления высоковакуумного насоса с впускным давлением форвакуумного насоса

27. Вакуумный насос предварительного разрежения

D. Vorvakuumpumpe

E. Roughing vacuum pump

F. Pompe

pour Ie vide

Вакуумный насос, предназначенный для понижения давления в откачиваемом объеме от атмосферного до значения, при котором может начать работу другой вакуумный насос или система насосов

 ГАЗОПЕРЕКАЧИВАЮЩИЕ ВАКУУМНЫЕ НАСОСЫ

28. Газоперекачивающий вакуумный насос

D. Gastransfervakuumpumpe

E. Pump for gas transporting

F. Pompe

vide du transport gazeus

Вакуумный насос, в котором перемещение газа от входа к выходу осуществляется либо вследствие механического движения рабочих частей насоса, либо за счет захвата газа или молекул газа струей рабочего вещества, либо за счет воздействия электрического и магнитного полей или одного электрического поля

29. Механический вакуумный насос

D. Rotationsvakuumpumpe

E. Vacuum mechanical pump

F. Pompe

vide

Газоперекачивающий вакуумный насос, откачивающее действие которого основано на перемещении газа вследствие механического движения рабочих частей насоса

30. Вакуумный насос объемного действия

D.

E. Positive displacement vacuum pump

F. Pompe

vide

Механический вакуумный насос, в котором объем, заполненный газом, периодически отсекается от входа и перемещается к выходу

31. Поршневой вакуумный насос

D. Hubkolbenvakuumpumpe

Е. Piston vacuum pump

F. Pompe

vide

piston alternatif

Вакуумный насос объемного действия, в котором сжатие и выброс газа происходят в результате возвратно-поступательного движения поршня

32. Вакуумный насос с масляным (жидкостным) уплотнением

D.

(flussigkeitsgedichtete) Vakuumpumpe

Е. Oil-sealed (liquid-sealed) vacuum pump

F. Pompe

vide

bain d’huile (

bain de liquide)

Вакуумный насос объемного действия, в котором для заполнения зазоров между движущимися относительно друг друга рабочими частями насоса и для уменьшения вредного пространства в рабочей камере в конце процесса сжатия используют вакуумное масло или жидкость

33. Газобалластный вакуумный насос

D. Gasballastvakuumpumpe

Е. Gas ballast vacuum pump

F. Pompe

vide

injection de gaz

Вакуумный насос с масляным уплотнением, снабженный устройством для дозированной подачи неконденсирующегося газа с целью предотвращения конденсации откачиваемых паров в насосе

34. Вакуумный насос с сухим уплотнителем

D. Trockenlaufende Vakuumpumpe

Е. Dry-sealed vacuum pump

F. Pompe

vide

Вакуумный насос объемного действия без масляного (жидкостного) уплотнения

35. Вращательный вакуумный насос

D.

Е. Rotary vacuum pump

F. Pompe

vide tournant

Вакуумный насос объемного действия, в котором сжатие и выброс газа осуществляются в результате вращения ротора

36. Пластинчато-роторный вакуумный насос

D. Drehschiebervakuumpumpe

Е. Sliding vane rotary vacuum pump

F. Pompe

vide

palettes

Вращательный вакуумный насос, в котором эксцентрично установленный ротор вращается тангенциально относительно неподвижной поверхности статора, при этом две или более пластины, скользящие в прорезях ротора и прижимающиеся к внутренней стенке статора, делят камеру статора на полости с изменяющимся объемом

37. Пластинчато-статорный вакуумный насос

D. Drehkolbenvakuumpumpe

Е. Rotary piston vacuum pump

F. Pompe

vide

piston tournant

Вращательный вакуумный насос, в котором эксцентрично установленный ротор вращается, скользя по внутренней стенке статора, при этом пластина, движущаяся относительно статора, прижимается к ротору и делит рабочую камеру на части с изменяющимся объемом

38. Плунжерный вакуумный насос

D. Sperrschiebervakuumpumpe

Е. Rotary plunger vacuum pump

F. Pompe

vide

piston oscillant

Вращательный вакуумный насос, в котором эксцентрично установленный ротор вращается относительно внутренней стенки статора, при этом пластина, жестко закрепленная на роторе, делит рабочую камеру на полости с изменяющимся объемом и скользит в золотнике, колеблющемся в соответствующем гнезде статора

39. Жидкостно-кольцевой вакуумный насос

D.

Е. Liquid ring vacuum pump

F. Pompe

vide

anneau liquide

Вращательный вакуумный насос, в котором эксцентрично установленный ротор с закрепленными на нем лопатками отбрасывает жидкость к стенке статора; жидкость принимает форму кольца, концентрического относительно статора, и вместе с лопатками ротора образует полости с изменяющимся объемом

40. Двухроторный вакуумный насос

D.

Е. Roots vacuum pump

F.

roots

Вращательный вакуумный насос, рабочая камера в котором образуется корпусом и профильными роторами, синхронно вращающимися в противоположных направлениях

41. Трохоидный вакуумный насос

D. Kreiskolbenvakuumpumpe

Е. Trochoid pump

F. Pompe trochoide

Вращательный вакуумный насос, у которого центр тяжести ротора, имеющего в поперечном сечении эллипс, описывает окружность, а рабочая камера насоса имеет в поперечном сечении форму трохоиды

42. Кинетический вакуумный насос

D. Kinetische Vakuumpumpe

Е. Kinetic vacuum pump

F. Pompe

vide

Механический вакуумный насос, в котором молекулам газа импульс движения передается таким образом, что газ непрерывно перемещается от входа к выходу насоса

43. Вакуумный турбонасос

D. Turbovakuumpumpe

Е. Turbine vacuum pump

F.

turbine

Кинетический вакуумный насос, в котором импульс движения газу передается от вращающихся твердых поверхностей

44. Осевой вакуумный турбонасос

D. Axialische Turbovakuumpumpe

Е. Axial flow turbine vacuum pump

F.

turbine

flux axial

Вакуумный турбонасос, в котором импульс движения передается газу вдоль оси вращения

45. Центробежный вакуумный турбонасос

D. Radialische Turbovakuumpumpe

Е. Radial flow turbine vacuum pump

F.

turbine

flux radial

Вакуумный турбонасос, в котором импульс движения передается газу в радиальном направлении

46. Струйный вакуумный насос

D. Treibmittelvakuumpumpe

Е. Jet kinetic vacuum pump

F. Pompe

vide

jet

Газоперекачивающий вакуумный насос, откачивающее действие которого основано на захвате удаляемого газа струей жидкости, пара или газа

47. Жидкостно-струйный вакуумный насос

D.

Е. Liquid jet vacuum pump

F. Pompe

vide

anneau liquide

Струйный вакуумный насос, в котором используют струю жидкости

48. Газоструйный вакуумный насос

D. Gasstrahlvakuumpumpe

Е. Gas jet vacuum pump

F. Ejecteur

gaz pour Ie vide

Струйный вакуумный насос, в котором используют струю газа

49. Пароструйный вакуумный насос

D. Dampfstrahlvakuumpumpe

Е. Vapour jet vacuum pump

F. Ejecteur

vapeur pour Ie vide

Струйный вакуумный насос, в котором используют струю пара

50. Эжекторный вакуумный насос

D. Treibmittelstrachlvakuumpumpe

Е. Ejector vacuum pump

F. Pompe

vide

ejecteur

Пароструйный низковакуумный насос, в котором происходит турбулентно-вязкостный захват газа струей

51. Диффузионный вакуумный насос

D. Diffusionsvakuumpumpe

Е. Diffusion pump

F. Pompe

diffusion

Пароструйный высоковакуумный насос, в котором захват газа струей происходит за счет диффузии газа в струю

52. Диффузионно-эжекторный вакуумный насос

D. Diffusionsjekterpumpe

Е. Diffusion-ejector pump

F. Pompe

diffusion et

ejecteur

Пароструйный вакуумный насос, в котором захват газа струей происходит за счет диффузии газа в струю и турбулентно-вязкостного захвата газа струей

53. Самоочищающийся диффузионный вакуумный насос

D. Selbstreinigende

Е. Self purifying diffusion pump

F. Pompe

diffusion autorectifiante

Диффузионный вакуумный насос специальной конструкции, в котором летучие примеси не возвращаются в кипятильник, а направляются к выходу

54. Фракционный диффузионный вакуумный насос

D. Fraktionierende

Е. Fractionating diffusion pump

F. Pompe

diffusion fractionnante

Диффузионный вакуумный насос, в котором откачка газа из ступени самого низкого давления осуществляется более плотными компонентами рабочего вещества, представляющими собой струю пара низкого давления, а откачка из ступеней более высокого давления - менее плотными компонентами с более высоким давлением пара

55. Ионный вакуумный насос

D. lonentransferpumpe

Е. Ion transfer vacuum pump

F. Pompe

ionisation

vide

Кинетический вакуумный насос, в котором молекулы газа ионизируются, а затем перемещаются к выходу насоса при помощи электрического и магнитного полей или одного электрического поля

 ГАЗОУЛАВЛИВАЮЩИЕ ВАКУУМНЫЕ НАСОСЫ

56. Газоулавливающий вакуумный насос

D. Gasbindende Vakuumpumре

Е. Entrapment vacuum pump

F. Pompe

vide

fixation

Вакуумный насос, в котором используется принцип сорбции или конденсации молекул газа на внутренних поверхностях насоса

57. Сорбционный вакуумный насос

D. Sorptionspumpe

Е. Sorption vacuum pump

F. Pompe

vide

sorption

Газоулавливающий вакуумный насос, в котором откачка происходит вследствие сорбции газа

58. Адсорбционный вакуумный насос

D. Adsorptionspumpe

Е. Adsorption vacuum pump

F. Pompe

vide

physisorption

Сорбционный вакуумный насос, в котором откачка происходит вследствие физической сорбции газа пористым сорбентом при низкой температуре

59. Геттерный вакуумный насос

D. Gettervakuumpumpe

Е. Getter vacuum pump

F. Pompe

vide

sorbeur

Сорбционный вакуумный насос, в котором откачка происходит преимущественно вследствие хемосорбции газа геттером

60. Испарительный геттерный вакуумный насос

D. Sublimations getter vakuumpumpe

Е. Sublimation vacuum pump

F. Pompe

vide

sublimation

sorbeur

Геттерный вакуумный насос, в котором поглощающая поверхность обновляется путем конденсации на ней термически испаряемого геттера

61. Геттерно-ионный вакуумный насос

D. lonengettervakuumpumpe

Е. Getter ion vacuum pump

F. Pompe

vide ionique

sorbeur

Геттерный вакуумный насос, в котором, наряду с хемосорбцией, возникает ионизация газа с последующим внедрением ускоренных ионов в поверхность распыленного геттера

62. Испарительно-ионный вакуумный насос

D. lonenverdampfervakuumpumpe

Е. Sublimation ion vacuum pump

F. Pompe

vide ionique

sublimation

Геттерно-ионный вакуумный насос, в котором ионизированный газ направляется к поверхности геттера, получаемой в результате непрерывного или периодического испарения

63. Магнитный электроразрядный вакуумный насос

D.

Е. Sputter ion pump

F. Pompe ionique

Геттерно-ионный вакуумный насос, в котором для распыления геттера используют газовый разряд в магнитном поле

64. Конденсационный вакуумный насос

D. Kondensationspumpe

Е. Condenserpump

F. Pompe condenser

Газоулавливающий вакуумный насос, в котором откачку производят путем конденсации газа на охлаждаемых поверхностях

65. Вакуумный крионасос

D. Kryovakuumpumpe

Е. Cryopump

F. Pompe cryostatique

Конденсационный или сорбционный насос с рабочими поверхностями, охлаждаемыми до сверхнизких температур

66. Комбинированный вакуумный насос

D. Vakuumpumpkombination

Е. Combined vacuum pump

F. Pompe

vide

Комбинации геттерного вакуумного насоса, магнитного электроразрядного вакуумного насоса и вакуумного крионасоса в различных сочетаниях, размещенных в одном корпусе

 ВИДЫ ВАКУУМНЫХ ЛОВУШЕК

67. Конденсационная вакуумная ловушка

D.

Е. Cold trap

F.

refroidi

Вакуумная ловушка, действие которой основано на конденсации паров и газов на внутренних охлаждаемых поверхностях

68. Сорбционная вакуумная ловушка

D. Sorptionsfalle

Е. Sorption trap

F.

sorption

Вакуумная ловушка, действие которой основано на сорбции паров и газов поверхностью пористого сорбента

69. Ионная вакуумная ловушка

D. lonisierungsfalle

Е. Ion trap

F.

ionique

Вакуумная ловушка, в которой для удаления определенных нежелательных компонентов из газовой смеси используется их ионизация

 ПАРАМЕТРЫ И ХАРАКТЕРИСТИКИ

70. Быстрота откачки

D.

Е. Pumping rate

F.

Величина, характеризующаяся объемом газа, откачиваемым в единицу времени в определенном сечении при данном давлении, измеренном в том же сечении

71. Быстрота действия вакуумного насоса

D.

Е. Volume flow rate of vacuum pump

F.

d’une pompe

vide

Величина, характеризующаяся быстротой откачки, получаемой во входном сечении насоса при его работе

72. Наибольшее давление запуска вакуумного насоса

D. Startdruck

Е. Starting pressure

F. Pression d’amorcage

Наибольшее давление во входном сечении вакуумного насоса, при котором насос может начать работать

73. Наибольшее выпускное давление вакуумного насоса

D. Maximal

Vorvakuumdruck

Е. Maximum backing pressure

F. Pression maximale de refoulement

Наибольшее давление в выходном сечении вакуумного насоса, при котором насос еще осуществляет откачку

74. Наибольшее рабочее давление вакуумного насоса

D. Maximaler Arbeitsdruck

Е. Maximum working pressure

F. Pression maximale de fonctiounement

Наибольшее давление во входном сечении насоса, при котором насос длительное время сохраняет номинальную быстроту действия

75. Предельное остаточное давление вакуумного насоса

D. Enddruck einer Vakuumpumpe

Е. Ultimate pressure of vacuum pump

F. Pression limite d’une pompe

vide

Давление, к которому асимптотически стремится давление в стандартизованном испытательном объеме без выпуска газа и при нормально работающем насосе

76. Наибольшая производительность вакуумного насоса по парам воды

D. Maximal

Wasserdampf

Е. Maximum rate of handling water vapour

F.

de pompage de vapeur d’eau admissible

Наибольшее количество паров воды в весовых единицах, которое может откачиваться газобалластным вакуумным насосом при длительной работе в нормальных климатических условиях

77. Наибольшее допустимое давление паров воды

D.

Е. Maximum tolerable water vapour inlet pressure

F. Pression maximale

d’aspiration de vapeur d’eau

Наибольшее давление паров воды, измеренное во входном сечении насоса, при котором газобалластный вакуумный насос может длительно откачивать пары воды в нормальных климатических условиях

78. Степень сжатия вакуумного насоса

D.

Е. Compression ratio

F. Taux de compression

Отношение объемов, занимаемых газом в начале и в конце процесса сжатия в вакуумных насосах объемного действия

 ВАКУУММЕТРЫ

79. Вакуумметр

D. Vakuummeter

Е. Vacuummeter

F.

vide

По ГОСТ 8.271-77

80. Абсолютный вакуумметр

D. Absolutes Vakuummeter

Е. Absolute vacuum gauge

F.

absolu

Вакуумметр, чувствительность которого одинакова для всех газов и может быть рассчитана по измеряемым физическим величинам

81. Дифференциальный вакуумметр

D. Differenzdruckvakuummeter

Е. Differential vacuum gauge

F.

Вакуумметр для измерения разности давлений, существующих одновременно по обе стороны разделительного чувствительного элемента

82. Измерительный преобразователь давления

D. Druckmessunformer

Е. Gauge pressure transducer

F. Transducteur de mesure pression

По ГОСТ 8.271-77

83. Измерительный блок вакуумметра

D. Betriebs und

eines

Е. Gauge control unit

F. Coffret d’alimentation et de mesure

Часть вакуумметра, предназначенная для выработки сигнала измерительной информации в форме, доступной для непосредственного восприятия наблюдателем, и содержащая блок питания и все электрические цепи, необходимые для работы вакуумметра

84. Отсчетное устройство вакуумметра

D.

eines

 

Е. Gauge indicating unit

F. Dispositif indicateur

Часть измерительного блока вакуумметра, предназначенная для отсчитывания значений измеряемой величины

85. Вакуумметр полного давления

D. Totaldruckvakuummeter

Е. Total pressure vacuum gauge

F.

de pression totale

Вакуумметр для измерения суммарного давления, оказываемого всеми компонентами газовой смеси

86. Жидкостный вакуумметр

D.

Е. Liquid level manometer

F.

liquide

Вакуумметр полного давления, действие которого основано на уравновешивании измеряемого давления или разности давлений давлением столба жидкости

87. U-образный вакуумметр

D. U-leitung Vakuummeter

Е. U-tube vacuum gauge

F. Avec unetube en U-

Жидкостный вакуумметр, состоящий из сообщающихся сосудов, в которых измеряемое давление определяют по одному или нескольким уровням жидкости

88. Компрессионный вакуумметр

D. Kompressionsvakuummeter

Е. Compression gauge

F.

compression

Жидкостный вакуумметр, в котором для измерения давления разреженного газа последний подвергается предварительному сжатию

89. Деформационный вакуумметр

D. Federelastisches Vakuummeter

Е. Elastic element gauge

F.

Вакуумметр полного давления, действие которого основано на зависимости деформации чувствительного элемента или развиваемой им силы от измеряемого давления

90. Мембранный вакуумметр

D. Membranvakuummeter

Е. Diaphragm gauge

F.

membrane

Деформационный вакуумметр, в котором чувствительным элементом является мембрана или мембранная коробка

91. Грузопоршневый вакуумметр

D. Druckwaage

Е. Pressure balance

F.

piston

Вакуумметр полного давления, действие которого основано на уравновешивании измеряемого давления давлением, создаваемым массой поршня с грузоприемным устройством и грузами, с учетом сил жидкостного трения

92. Вязкостный вакуумметр

D. Reibungsvakuummeter

Е. Viscosity gauge

F.

Вакуумметр полного давления, действие которого основано на зависимости вязкости разреженного газа, определяемой движением в нем твердого тела, от измеряемого давления

93. Тепловой вакуумметр

D.

Е. Thermal conductivity gauge

F.

conduction thermique

Вакуумметр полного давления, действие которого основано на зависимости теплопроводности разреженного газа от давления

94. Термопарный вакуумметр

D. Thermokreuz

Е. Thermocouple gauge

F.

thermocouple

Тепловой вакуумметр, в котором использована зависимость эдс термопары от измеряемого давления

95. Вакуумметр сопротивления

D. Thermistor-Vakuummeter

Е. Thermistor gauge

F.

thermistance

Тепловой вакуумметр, действие которого основано на зависимости электрического сопротивления нагреваемого током элемента от давления газа

96. Термомолекулярный вакуумметр

D. Molekularvakuummeter

Е. Thermo-molecular gauge

F.

thermomoleculaire

Вакуумметр полного давления, действие которого основано на передаче чувствительному элементу суммарного импульса молекул газа, отражающихся от поверхностей, имеющих различную температуру

97. Ионизационный вакуумметр

D. lonisationsvakuummeter

Е. lonisation vacuum gauge

F.

ionisation

Вакуумметр полного давления, действие которого основано на зависимости ионного тока, образованного в газе в результате ионизации молекул разреженного газа от давления

98. Радиоизотопный ионизационный вакуумметр

D. lonisationsvakuummeter mit radioaktiver Strahlungsquelle

Е. Radioactive ionization gauge

F.

source radioactive

Ионизационный вакуумметр, в котором для ионизации газа применяют излучение радиоактивных источников

99. Магнитный электроразрядный вакуумметр

D.

Е. Sputter ion gauge

F.

ionique

pulverisation

Ионизационный вакуумметр, действие которого основано на зависимости тока электрического разряда в магнитном поле от измеряемого давления

100. Вакуумметр Пеннинга

D. Penningvakuummeter

Е. Penning gauge

F.

de Penning

Магнитный электроразрядный вакуумметр, преобразователь которого имеет рамочный анод, расположенный между катодными пластинами

101. Электронный ионизационный вакуумметр

D. Elektronenionisations Vakuummeter

Е. Electronic type ionization vacuum

F.

ionization

faisceau

Ионизационный вакуумметр, в преобразователе которого ионизация газа осуществляется электронами, ускоряемыми электрическим полем

102. Электронный ионизационный вакуумметр с осевым коллектором

D. Elektronenionisations Vakuummeter mit Axialkollektor

Е. Twin-wire oscillator gauge

F.

oscillants

Электронный ионизационный вакуумметр, в котором фоновое давление уменьшено за счет использования в качестве коллектора ионов тонкой проволоки, помещенной соосно с цилиндрической сеткой, при этом катод укрепляют снаружи сетки

103. Экстракторный вакуумметр

D. lonisationsvakuummeter mit Extraktor-System

E. Extractor gauge

F.

extracteur

Электронный ионизационный вакуумметр, в преобразователе которого фоновый ток уменьшен за счет использования в качестве коллектора ионов короткой и тонкой проволоки, находящейся на оси анода и выведенной из области ионизации

104. Электронный ионизационный вакуумметр с магнитным полем

D. Magnetronvakuummeter mit kalter Kathode

E. Cold cathode magnetron gauge

F.

cathode froide

Электронный ионизационный вакуумметр, преобразователь давления которого представляет собой цилиндрический магнетрон, в котором магнитное поле используется для удлинения траектории электронов и увеличения числа образованных ионов

105. Индикатор с разрядной трубкой

D.

E. Discharge tube indicator

F. Tube

Прозрачная газоразрядная трубка, в которой цвет и форма свечения разряда дают представление о роде и давлении газа

106. Вакуумметр парциального давления

D. Partialdruckvakuummeter

E. Partial pressure vacuum gauge

F. Analyseur de pressions partielles

Вакуумметр для измерения давления, которое оказывал бы один из газов, входящих в газовую смесь, если из нее удалить остальные газы при условии сохранения первоначальных объема и температуры.

Примечание. Обычно это масс-спектрометры, не имеющие собственной откачной системы

107. Масс-спектрометр

D. Massenspektrometer

E. Mass spectrometer

F.

de masse

По ГОСТ 15624-75

 ХАРАКТЕРИСТИКИ ВАКУУММЕТРОВ

108. Диапазон измерений

D.

E. Pressure range

F. Etendue de mesurage

По ГОСТ 16263-70*.

Примечание. Для некоторых типов вакуумметров этот диапазон зависит от природы газа. В таких случаях должен быть указан диапазон давлений для азота

109. Чувствительность

D. Empfindlichkeit

E. Sensitivity

F.

По ГОСТ 16263-70.

Примечание. Для некоторых типов вакуумметров чувствительность зависит от природы газа. В таких случаях должна быть указана чувствительность для азота

110. Относительная чувствительность вакуумметра

D. Relative Vakuummeterempfindlicnkeit

E. Relative sensitivity factor

F. Facteur de

relative

Отношение чувствительности вакуумметра для данного газа к чувствительности его для азота при том же давлении и идентичных условиях измерения

111. Приведенная чувствительность ионизационного вакуумметра

D. Vakuummeterkonstante eines lonisationsvakuummeters

E. lonization gauge coefficient

F. Coefficient d’un

ionisation

Отношение ионного тока для данного газа к произведению ионизирующего тока и соответствующего давления

112. Эквивалентное азотное давление

D. Stickstoffaquivalentdruck

E. Equivalent nitrogen pressure

F. Pression

d’azote

Давление чистого азота, которое давало бы показание вакуумметра, равное показанию, вызванному воздействующим на него газом

113. Фоновое давление вакуумметра

D. Untergrunddruck

E. Background pressure

F. Pression residuelle

Условное давление чистого азота, соответствующее такому же показанию ионизационного вакуумметра, как при остаточном токе, не зависящем от давления