ГОСТ 5197-85 Вакуумная техника. Термины и определения (СТ СЭВ 4751-84, СТ СЭВ 4839-84, СТ СЭВ 4840-84).
ГОСТ 5197-85
(СТ СЭВ 4751-84,
СТ СЭВ 4839-84,
СТ СЭВ 4840-84)
Группа Т00
ГОСУДАРСТВЕННЫЙ СТАНДАРТ СОЮЗА ССР
ВАКУУМНАЯ ТЕХНИКА
Термины и определения
Vacuum technology. Terms and definitions
ОКСТУ 6360
Дата введения 1986-07-01
Постановлением Государственного комитета СССР по стандартам от 27 ноября 1985 г. N 3743 срок введения установлен с 01.07.86
ВЗАМЕН ГОСТ 5197-70
Настоящий стандарт устанавливает термины и определения понятий в области вакуумной техники.
Термины, установленные настоящим стандартом, обязательны для применения во всех видах документации и литературы, входящих в сферу действия стандартизации или использующих результаты этой деятельности.
Настоящий стандарт полностью соответствует СТ СЭВ 4840-84.
Стандарт соответствует СТ СЭВ 4751-84, СТ СЭВ 4839-84 в части, указанной в справочном приложении 2.
Для каждого понятия установлен один стандартизованный термин.
Применение терминов - синонимов стандартизованного термина не допускается.
Приведенные определения можно при необходимости изменять, вводя в них производные признаки, раскрывая значение используемых в них терминов, указывая объекты, входящие в объем определяемого понятия. Изменения не должны нарушать объем и содержание понятий, определенных в данном стандарте.
В случаях, когда в термине содержатся все необходимые и достаточные признаки понятия, определение не приведено и в графе "Определение" поставлен прочерк.
В стандарте в качестве справочных приведены иноязычные эквиваленты стандартизованных терминов на немецком (D), английском (Е), французском (F) языках.
В стандарте имеется справочное приложение терминов общетехнических понятий, применяемых в вакуумной технике.
В стандарте приведены алфавитные указатели содержащихся в нем терминов на русском языке и иноязычных эквивалентов.
Стандартизованные термины набраны полужирным шрифтом.
|
|
|
|
| |
Термин | Определение | ||||
ОБЩИЕ ПОНЯТИЯ
| |||||
1. Вакуум
D. Vakuum
Е. Vacuum
F. Vide | Состояние среды, абсолютное давление которой меньше атмосферного | ||||
2. Вакуумная техника
D. Vakuumtechnik
Е. Vacuum technology
F. Technique du vide | Техника получения, поддержания вакуума и проведения вакуумных измерений | ||||
3. Степень вакуума
D. Vakuumbereiche
Е. Ranges of vacuum
F. Domaines de vide | Характеристика вакуума в интервалах давлений, определяющих соотношение средней длины свободного пути молекул с линейным размером откачиваемого сосуда, характерным для рассматриваемого процесса.
Примечание. Принимают следующие интервалы давлений:
от 100 кПа до 100 Па - для низкого вакуума;
от 100 Па до 0,1 Па - для среднего вакуума;
от 0,1 Па до 10 мкПа - для высокого вакуума;
ниже 10 мкПа - для сверхвысокого вакуума
| ||||
4. Вакуумное масло
D.  Е. Vacuum pump oil
F. Huile de pompe  vide primaire | Масло с малой упругостью паров, предназначенное для применения в вакуумных насосах | ||||
ВАКУУМНАЯ СИСТЕМА И ЕЕ ЭЛЕМЕНТЫ | |||||
5. Вакуумная система
D. Vakuumsystem
Е. Vacuum system
F.  vide | Совокупность взаимосвязанных устройств для создания, повышения и поддержания вакуума, приборов для вакуумных измерений, а также откачиваемых сосудов и связывающих их вакуумных трубопроводов | ||||
6. Вакуумная установка
D. Vakuumanlage
Е. Vacuum plant
F. Installation de vide | Установка, состоящая из вакуумной системы и устройств, обеспечивающих ее действие | ||||
7. Вакуумный агрегат
D. Vakuumeinheit
Е. Vacuum unit
F.  vide | Вакуумная установка, конструктивно выполненная как единое целое | ||||
8. Откачной пост
D. Pumpstand
Е. Pumping station
F. Stand de pompage | Вакуумная установка, предназначенная для откачки, наполнения и тренировки изделий | ||||
9. Откачиваемый вакуумный сосуд
D. Vakuumkamer
Е. Pumped container
F. Enceinte  | Сосуд, в котором создается вакуум | ||||
10. Элемент вакуумной системы
D. Vakuumsystemselement
Е. Element of vacuum system
F. Element du  vide | - | ||||
11. Вакуумный насос
D. Vakuumpumpe
Е. Vacuum pump
F. Pompe vide | Устройство, предназначенное для создания, повышения и поддержания вакуума | ||||
12. Вакуумная ловушка
D. Falle
Е. Trap
F.  | Элемент вакуумной системы, предназначенный для предотвращения проникновения паров и газов из одной части вакуумной системы в другую или для снижения их парциального давления | ||||
13. Вакуумный клапан
D. Vakuumventil
Е. Vacuum valve
F. Soupape de vide | Элемент вакуумной системы, позволяющий регулировать или полностью перекрывать поступление газа в вакуумную систему | ||||
14. Вакуумный затвор
D. Vakuumschlensenventil
Е. Vacuum gate valve
F.  | Вакуумный клапан, позволяющий соединять и разобщать элементы вакуумной системы | ||||
15. Напускной вакуумный клапан
D. Beluftungsvakuumventil
Е. Admittance vacuum valve
F. Robinet  d’air | Вакуумный клапан, предназначенный для напуска воздуха или газа в вакуумную систему | ||||
16. Вакуумный натекатель
D. Nadelvakuumventil
E. Air admittance vacuum valve
F. Robinet aiguille | Напускной вакуумный клапан, предназначенный для напуска малых потоков газа и их регулировки | ||||
17. Вакуумный ввод
D.  E. Vacuum feedthrough
F. Passage du vide | Элемент вакуумной системы, служащий для передачи в откачиваемый вакуумный сосуд механической или электрической энергии без нарушения вакуума | ||||
18. Вакуумный трубопровод
D. Vakuumrohrleitung
E. Vacuum pipework
F. Conduite vide | Элемент вакуумной системы, представляющий собой трубопровод, по которому перемещается газ | ||||
19. Форвакуумный трубопровод
D. Vorpumpenrohrleitung
E. Backing line
F. Conduite vide  | Вакуумный трубопровод, служащий для присоединения к форвакуумному насосу | ||||
20. Байпасный трубопровод
D. Umwegleitung
E. Bypass line
F. Conduite by-pass | Вакуумный трубопровод, предназначенный для откачки сосуда, минуя высоковакуумный насос | ||||
21. Вакуумное защитное устройство
D. Vakuumsicherheitsvorrichtung
E. Vacuum protective device
F. Dispositif de  | Элемент вакуумной системы, предназначенный для быстрого разобщения участка вакуумной системы, где произошел прорыв атмосферного воздуха, и остальной ее части | ||||
22. Уравнительный вакуумный баллон
D. Druckausgleichskolben
E. Equal vessel
F. Ballon  de pression | Элемент вакуумной системы, предназначенный для выравнивания колебаний давления в ней | ||||
ВИДЫ ВАКУУМНЫХ НАСОСОВ | |||||
23. Низковакуумный насос
D. Grobvakuumpumpe
E. Rough vacuum pump
F. Pompe vide primaire | Вакуумный насос, предназначенный для понижения давления в откачиваемом объеме, начиная от атмосферного, и создающий давление, лежащее в интервале, характерном для низкого вакуума | ||||
24. Высоковакуумный насос
D. Endvakuumpumpe
E. High vacuum pump
F. Pompe vide secondaire | Вакуумный насос, работающий на ступени самого низкого давления системы, состоящей из двух или более последовательно соединенных насосов | ||||
25. Форвакуумный насос
D. Vorvakuumpumpe
E. Backing vacuum pump
F. Pompe primaire pour Ie vide | Вакуумный насос, предназначенный для поддержания давления в выходном сечении насоса более высокого вакуума, при котором последний может обеспечивать заданные параметры откачки | ||||
26. Бустерный вакуумный насос
D. Boostervakuumpumpe
E. Booster vacuum pump
F. Pompe vide  | Вакуумный насос, устанавливаемый между форвакуумным и высоковакуумным насосами с целью приведения в соответствие выпускного давления высоковакуумного насоса с впускным давлением форвакуумного насоса | ||||
27. Вакуумный насос предварительного разрежения
D. Vorvakuumpumpe
E. Roughing vacuum pump
F. Pompe  pour Ie vide | Вакуумный насос, предназначенный для понижения давления в откачиваемом объеме от атмосферного до значения, при котором может начать работу другой вакуумный насос или система насосов | ||||
ГАЗОПЕРЕКАЧИВАЮЩИЕ ВАКУУМНЫЕ НАСОСЫ | |||||
28. Газоперекачивающий вакуумный насос
D. Gastransfervakuumpumpe
E. Pump for gas transporting
F. Pompe vide du transport gazeus | Вакуумный насос, в котором перемещение газа от входа к выходу осуществляется либо вследствие механического движения рабочих частей насоса, либо за счет захвата газа или молекул газа струей рабочего вещества, либо за счет воздействия электрического и магнитного полей или одного электрического поля | ||||
29. Механический вакуумный насос
D. Rotationsvakuumpumpe
E. Vacuum mechanical pump
F. Pompe  vide | Газоперекачивающий вакуумный насос, откачивающее действие которого основано на перемещении газа вследствие механического движения рабочих частей насоса | ||||
30. Вакуумный насос объемного действия
D.  E. Positive displacement vacuum pump
F. Pompe vide  | Механический вакуумный насос, в котором объем, заполненный газом, периодически отсекается от входа и перемещается к выходу | ||||
31. Поршневой вакуумный насос
D. Hubkolbenvakuumpumpe
Е. Piston vacuum pump
F. Pompe vide piston alternatif | Вакуумный насос объемного действия, в котором сжатие и выброс газа происходят в результате возвратно-поступательного движения поршня | ||||
32. Вакуумный насос с масляным (жидкостным) уплотнением
D.  (flussigkeitsgedichtete) Vakuumpumpe Е. Oil-sealed (liquid-sealed) vacuum pump
F. Pompe vide bain d’huile ( bain de liquide) | Вакуумный насос объемного действия, в котором для заполнения зазоров между движущимися относительно друг друга рабочими частями насоса и для уменьшения вредного пространства в рабочей камере в конце процесса сжатия используют вакуумное масло или жидкость | ||||
33. Газобалластный вакуумный насос
D. Gasballastvakuumpumpe
Е. Gas ballast vacuum pump
F. Pompe vide injection de gaz | Вакуумный насос с масляным уплотнением, снабженный устройством для дозированной подачи неконденсирующегося газа с целью предотвращения конденсации откачиваемых паров в насосе | ||||
34. Вакуумный насос с сухим уплотнителем
D. Trockenlaufende Vakuumpumpe
Е. Dry-sealed vacuum pump
F. Pompe vide  | Вакуумный насос объемного действия без масляного (жидкостного) уплотнения | ||||
35. Вращательный вакуумный насос
D.  Е. Rotary vacuum pump
F. Pompe vide tournant | Вакуумный насос объемного действия, в котором сжатие и выброс газа осуществляются в результате вращения ротора | ||||
36. Пластинчато-роторный вакуумный насос
D. Drehschiebervakuumpumpe
Е. Sliding vane rotary vacuum pump
F. Pompe vide palettes | Вращательный вакуумный насос, в котором эксцентрично установленный ротор вращается тангенциально относительно неподвижной поверхности статора, при этом две или более пластины, скользящие в прорезях ротора и прижимающиеся к внутренней стенке статора, делят камеру статора на полости с изменяющимся объемом | ||||
37. Пластинчато-статорный вакуумный насос
D. Drehkolbenvakuumpumpe
Е. Rotary piston vacuum pump
F. Pompe vide piston tournant | Вращательный вакуумный насос, в котором эксцентрично установленный ротор вращается, скользя по внутренней стенке статора, при этом пластина, движущаяся относительно статора, прижимается к ротору и делит рабочую камеру на части с изменяющимся объемом | ||||
38. Плунжерный вакуумный насос
D. Sperrschiebervakuumpumpe
Е. Rotary plunger vacuum pump
F. Pompe vide piston oscillant | Вращательный вакуумный насос, в котором эксцентрично установленный ротор вращается относительно внутренней стенки статора, при этом пластина, жестко закрепленная на роторе, делит рабочую камеру на полости с изменяющимся объемом и скользит в золотнике, колеблющемся в соответствующем гнезде статора | ||||
39. Жидкостно-кольцевой вакуумный насос
D.  Е. Liquid ring vacuum pump
F. Pompe vide anneau liquide | Вращательный вакуумный насос, в котором эксцентрично установленный ротор с закрепленными на нем лопатками отбрасывает жидкость к стенке статора; жидкость принимает форму кольца, концентрического относительно статора, и вместе с лопатками ротора образует полости с изменяющимся объемом | ||||
40. Двухроторный вакуумный насос
D.  Е. Roots vacuum pump
F.  roots | Вращательный вакуумный насос, рабочая камера в котором образуется корпусом и профильными роторами, синхронно вращающимися в противоположных направлениях | ||||
41. Трохоидный вакуумный насос
D. Kreiskolbenvakuumpumpe
Е. Trochoid pump
F. Pompe trochoide | Вращательный вакуумный насос, у которого центр тяжести ротора, имеющего в поперечном сечении эллипс, описывает окружность, а рабочая камера насоса имеет в поперечном сечении форму трохоиды | ||||
42. Кинетический вакуумный насос
D. Kinetische Vakuumpumpe
Е. Kinetic vacuum pump
F. Pompe vide  | Механический вакуумный насос, в котором молекулам газа импульс движения передается таким образом, что газ непрерывно перемещается от входа к выходу насоса | ||||
43. Вакуумный турбонасос
D. Turbovakuumpumpe
Е. Turbine vacuum pump
F.  turbine | Кинетический вакуумный насос, в котором импульс движения газу передается от вращающихся твердых поверхностей | ||||
44. Осевой вакуумный турбонасос
D. Axialische Turbovakuumpumpe
Е. Axial flow turbine vacuum pump
F. turbine flux axial | Вакуумный турбонасос, в котором импульс движения передается газу вдоль оси вращения | ||||
45. Центробежный вакуумный турбонасос
D. Radialische Turbovakuumpumpe
Е. Radial flow turbine vacuum pump
F. turbine flux radial | Вакуумный турбонасос, в котором импульс движения передается газу в радиальном направлении | ||||
46. Струйный вакуумный насос
D. Treibmittelvakuumpumpe
Е. Jet kinetic vacuum pump
F. Pompe vide jet  | Газоперекачивающий вакуумный насос, откачивающее действие которого основано на захвате удаляемого газа струей жидкости, пара или газа | ||||
47. Жидкостно-струйный вакуумный насос
D.  Е. Liquid jet vacuum pump
F. Pompe vide anneau liquide | Струйный вакуумный насос, в котором используют струю жидкости | ||||
48. Газоструйный вакуумный насос
D. Gasstrahlvakuumpumpe
Е. Gas jet vacuum pump
F. Ejecteur gaz pour Ie vide | Струйный вакуумный насос, в котором используют струю газа | ||||
49. Пароструйный вакуумный насос
D. Dampfstrahlvakuumpumpe
Е. Vapour jet vacuum pump
F. Ejecteur vapeur pour Ie vide | Струйный вакуумный насос, в котором используют струю пара | ||||
50. Эжекторный вакуумный насос
D. Treibmittelstrachlvakuumpumpe
Е. Ejector vacuum pump
F. Pompe vide ejecteur | Пароструйный низковакуумный насос, в котором происходит турбулентно-вязкостный захват газа струей | ||||
51. Диффузионный вакуумный насос
D. Diffusionsvakuumpumpe
Е. Diffusion pump
F. Pompe diffusion | Пароструйный высоковакуумный насос, в котором захват газа струей происходит за счет диффузии газа в струю | ||||
52. Диффузионно-эжекторный вакуумный насос
D. Diffusionsjekterpumpe
Е. Diffusion-ejector pump
F. Pompe diffusion et ejecteur | Пароструйный вакуумный насос, в котором захват газа струей происходит за счет диффузии газа в струю и турбулентно-вязкостного захвата газа струей | ||||
53. Самоочищающийся диффузионный вакуумный насос
D. Selbstreinigende  Е. Self purifying diffusion pump
F. Pompe diffusion autorectifiante | Диффузионный вакуумный насос специальной конструкции, в котором летучие примеси не возвращаются в кипятильник, а направляются к выходу | ||||
54. Фракционный диффузионный вакуумный насос
D. Fraktionierende Е. Fractionating diffusion pump
F. Pompe diffusion fractionnante | Диффузионный вакуумный насос, в котором откачка газа из ступени самого низкого давления осуществляется более плотными компонентами рабочего вещества, представляющими собой струю пара низкого давления, а откачка из ступеней более высокого давления - менее плотными компонентами с более высоким давлением пара | ||||
55. Ионный вакуумный насос
D. lonentransferpumpe
Е. Ion transfer vacuum pump
F. Pompe ionisation vide | Кинетический вакуумный насос, в котором молекулы газа ионизируются, а затем перемещаются к выходу насоса при помощи электрического и магнитного полей или одного электрического поля | ||||
ГАЗОУЛАВЛИВАЮЩИЕ ВАКУУМНЫЕ НАСОСЫ | |||||
56. Газоулавливающий вакуумный насос
D. Gasbindende Vakuumpumре
Е. Entrapment vacuum pump
F. Pompe vide fixation | Вакуумный насос, в котором используется принцип сорбции или конденсации молекул газа на внутренних поверхностях насоса | ||||
57. Сорбционный вакуумный насос
D. Sorptionspumpe
Е. Sorption vacuum pump
F. Pompe vide sorption | Газоулавливающий вакуумный насос, в котором откачка происходит вследствие сорбции газа | ||||
58. Адсорбционный вакуумный насос
D. Adsorptionspumpe
Е. Adsorption vacuum pump
F. Pompe vide physisorption | Сорбционный вакуумный насос, в котором откачка происходит вследствие физической сорбции газа пористым сорбентом при низкой температуре | ||||
59. Геттерный вакуумный насос
D. Gettervakuumpumpe
Е. Getter vacuum pump
F. Pompe vide sorbeur | Сорбционный вакуумный насос, в котором откачка происходит преимущественно вследствие хемосорбции газа геттером | ||||
60. Испарительный геттерный вакуумный насос
D. Sublimations getter vakuumpumpe
Е. Sublimation vacuum pump
F. Pompe vide sublimation sorbeur | Геттерный вакуумный насос, в котором поглощающая поверхность обновляется путем конденсации на ней термически испаряемого геттера | ||||
61. Геттерно-ионный вакуумный насос
D. lonengettervakuumpumpe
Е. Getter ion vacuum pump
F. Pompe vide ionique sorbeur | Геттерный вакуумный насос, в котором, наряду с хемосорбцией, возникает ионизация газа с последующим внедрением ускоренных ионов в поверхность распыленного геттера | ||||
62. Испарительно-ионный вакуумный насос
D. lonenverdampfervakuumpumpe
Е. Sublimation ion vacuum pump
F. Pompe vide ionique sublimation | Геттерно-ионный вакуумный насос, в котором ионизированный газ направляется к поверхности геттера, получаемой в результате непрерывного или периодического испарения | ||||
63. Магнитный электроразрядный вакуумный насос
D.  Е. Sputter ion pump
F. Pompe ionique  | Геттерно-ионный вакуумный насос, в котором для распыления геттера используют газовый разряд в магнитном поле | ||||
64. Конденсационный вакуумный насос
D. Kondensationspumpe
Е. Condenserpump
F. Pompe condenser | Газоулавливающий вакуумный насос, в котором откачку производят путем конденсации газа на охлаждаемых поверхностях | ||||
65. Вакуумный крионасос
D. Kryovakuumpumpe
Е. Cryopump
F. Pompe cryostatique | Конденсационный или сорбционный насос с рабочими поверхностями, охлаждаемыми до сверхнизких температур | ||||
66. Комбинированный вакуумный насос
D. Vakuumpumpkombination
Е. Combined vacuum pump
F. Pompe vide  | Комбинации геттерного вакуумного насоса, магнитного электроразрядного вакуумного насоса и вакуумного крионасоса в различных сочетаниях, размещенных в одном корпусе | ||||
ВИДЫ ВАКУУМНЫХ ЛОВУШЕК | |||||
67. Конденсационная вакуумная ловушка
D.  Е. Cold trap
F.  refroidi | Вакуумная ловушка, действие которой основано на конденсации паров и газов на внутренних охлаждаемых поверхностях | ||||
68. Сорбционная вакуумная ловушка
D. Sorptionsfalle
Е. Sorption trap
F.  sorption | Вакуумная ловушка, действие которой основано на сорбции паров и газов поверхностью пористого сорбента | ||||
69. Ионная вакуумная ловушка
D. lonisierungsfalle
Е. Ion trap
F. ionique | Вакуумная ловушка, в которой для удаления определенных нежелательных компонентов из газовой смеси используется их ионизация | ||||
ПАРАМЕТРЫ И ХАРАКТЕРИСТИКИ | |||||
70. Быстрота откачки
D.  Е. Pumping rate
F.  | Величина, характеризующаяся объемом газа, откачиваемым в единицу времени в определенном сечении при данном давлении, измеренном в том же сечении | ||||
71. Быстрота действия вакуумного насоса
D.  Е. Volume flow rate of vacuum pump
F.  d’une pompe vide | Величина, характеризующаяся быстротой откачки, получаемой во входном сечении насоса при его работе | ||||
72. Наибольшее давление запуска вакуумного насоса
D. Startdruck
Е. Starting pressure
F. Pression d’amorcage | Наибольшее давление во входном сечении вакуумного насоса, при котором насос может начать работать | ||||
73. Наибольшее выпускное давление вакуумного насоса
D. Maximal  Vorvakuumdruck Е. Maximum backing pressure
F. Pression maximale de refoulement | Наибольшее давление в выходном сечении вакуумного насоса, при котором насос еще осуществляет откачку | ||||
74. Наибольшее рабочее давление вакуумного насоса
D. Maximaler Arbeitsdruck
Е. Maximum working pressure
F. Pression maximale de fonctiounement | Наибольшее давление во входном сечении насоса, при котором насос длительное время сохраняет номинальную быстроту действия | ||||
75. Предельное остаточное давление вакуумного насоса
D. Enddruck einer Vakuumpumpe
Е. Ultimate pressure of vacuum pump
F. Pression limite d’une pompe vide | Давление, к которому асимптотически стремится давление в стандартизованном испытательном объеме без выпуска газа и при нормально работающем насосе | ||||
76. Наибольшая производительность вакуумного насоса по парам воды
D. Maximal  Wasserdampf Е. Maximum rate of handling water vapour
F.  de pompage de vapeur d’eau admissible | Наибольшее количество паров воды в весовых единицах, которое может откачиваться газобалластным вакуумным насосом при длительной работе в нормальных климатических условиях | ||||
77. Наибольшее допустимое давление паров воды
D.  Е. Maximum tolerable water vapour inlet pressure
F. Pression maximale  d’aspiration de vapeur d’eau | Наибольшее давление паров воды, измеренное во входном сечении насоса, при котором газобалластный вакуумный насос может длительно откачивать пары воды в нормальных климатических условиях | ||||
78. Степень сжатия вакуумного насоса
D.  Е. Compression ratio
F. Taux de compression
| Отношение объемов, занимаемых газом в начале и в конце процесса сжатия в вакуумных насосах объемного действия | ||||
ВАКУУММЕТРЫ | |||||
79. Вакуумметр
D. Vakuummeter
Е. Vacuummeter
F.  vide | |||||
80. Абсолютный вакуумметр
D. Absolutes Vakuummeter
Е. Absolute vacuum gauge
F.  absolu | Вакуумметр, чувствительность которого одинакова для всех газов и может быть рассчитана по измеряемым физическим величинам | ||||
81. Дифференциальный вакуумметр
D. Differenzdruckvakuummeter
Е. Differential vacuum gauge
F.  | Вакуумметр для измерения разности давлений, существующих одновременно по обе стороны разделительного чувствительного элемента | ||||
82. Измерительный преобразователь давления
D. Druckmessunformer
Е. Gauge pressure transducer
F. Transducteur de mesure pression | |||||
83. Измерительный блок вакуумметра
D. Betriebs und  eines  Е. Gauge control unit
F. Coffret d’alimentation et de mesure | Часть вакуумметра, предназначенная для выработки сигнала измерительной информации в форме, доступной для непосредственного восприятия наблюдателем, и содержащая блок питания и все электрические цепи, необходимые для работы вакуумметра | ||||
84. Отсчетное устройство вакуумметра
D. eines Е. Gauge indicating unit
F. Dispositif indicateur | Часть измерительного блока вакуумметра, предназначенная для отсчитывания значений измеряемой величины | ||||
85. Вакуумметр полного давления
D. Totaldruckvakuummeter
Е. Total pressure vacuum gauge
F. de pression totale | Вакуумметр для измерения суммарного давления, оказываемого всеми компонентами газовой смеси | ||||
86. Жидкостный вакуумметр
D.  Е. Liquid level manometer
F.  liquide | Вакуумметр полного давления, действие которого основано на уравновешивании измеряемого давления или разности давлений давлением столба жидкости | ||||
87. U-образный вакуумметр
D. U-leitung Vakuummeter
Е. U-tube vacuum gauge
F. Avec unetube en U-  | Жидкостный вакуумметр, состоящий из сообщающихся сосудов, в которых измеряемое давление определяют по одному или нескольким уровням жидкости | ||||
88. Компрессионный вакуумметр
D. Kompressionsvakuummeter
Е. Compression gauge
F. compression | Жидкостный вакуумметр, в котором для измерения давления разреженного газа последний подвергается предварительному сжатию | ||||
89. Деформационный вакуумметр
D. Federelastisches Vakuummeter
Е. Elastic element gauge
F.  | Вакуумметр полного давления, действие которого основано на зависимости деформации чувствительного элемента или развиваемой им силы от измеряемого давления | ||||
90. Мембранный вакуумметр
D. Membranvakuummeter
Е. Diaphragm gauge
F. membrane
| Деформационный вакуумметр, в котором чувствительным элементом является мембрана или мембранная коробка | ||||
91. Грузопоршневый вакуумметр
D. Druckwaage
Е. Pressure balance
F. piston | Вакуумметр полного давления, действие которого основано на уравновешивании измеряемого давления давлением, создаваемым массой поршня с грузоприемным устройством и грузами, с учетом сил жидкостного трения | ||||
92. Вязкостный вакуумметр
D. Reibungsvakuummeter
Е. Viscosity gauge
F.  | Вакуумметр полного давления, действие которого основано на зависимости вязкости разреженного газа, определяемой движением в нем твердого тела, от измеряемого давления | ||||
93. Тепловой вакуумметр
D.  Е. Thermal conductivity gauge
F. conduction thermique | Вакуумметр полного давления, действие которого основано на зависимости теплопроводности разреженного газа от давления | ||||
94. Термопарный вакуумметр
D. Thermokreuz
Е. Thermocouple gauge
F. thermocouple | Тепловой вакуумметр, в котором использована зависимость эдс термопары от измеряемого давления | ||||
95. Вакуумметр сопротивления
D. Thermistor-Vakuummeter
Е. Thermistor gauge
F. thermistance | Тепловой вакуумметр, действие которого основано на зависимости электрического сопротивления нагреваемого током элемента от давления газа | ||||
96. Термомолекулярный вакуумметр
D. Molekularvakuummeter
Е. Thermo-molecular gauge
F.  thermomoleculaire | Вакуумметр полного давления, действие которого основано на передаче чувствительному элементу суммарного импульса молекул газа, отражающихся от поверхностей, имеющих различную температуру | ||||
97. Ионизационный вакуумметр
D. lonisationsvakuummeter
Е. lonisation vacuum gauge
F. ionisation | Вакуумметр полного давления, действие которого основано на зависимости ионного тока, образованного в газе в результате ионизации молекул разреженного газа от давления | ||||
98. Радиоизотопный ионизационный вакуумметр
D. lonisationsvakuummeter mit radioaktiver Strahlungsquelle
Е. Radioactive ionization gauge
F. source radioactive | Ионизационный вакуумметр, в котором для ионизации газа применяют излучение радиоактивных источников | ||||
99. Магнитный электроразрядный вакуумметр
D.  Е. Sputter ion gauge
F. ionique pulverisation | Ионизационный вакуумметр, действие которого основано на зависимости тока электрического разряда в магнитном поле от измеряемого давления | ||||
100. Вакуумметр Пеннинга
D. Penningvakuummeter
Е. Penning gauge
F. de Penning | Магнитный электроразрядный вакуумметр, преобразователь которого имеет рамочный анод, расположенный между катодными пластинами | ||||
101. Электронный ионизационный вакуумметр
D. Elektronenionisations Vakuummeter
Е. Electronic type ionization vacuum
F. ionization faisceau  | Ионизационный вакуумметр, в преобразователе которого ионизация газа осуществляется электронами, ускоряемыми электрическим полем | ||||
102. Электронный ионизационный вакуумметр с осевым коллектором
D. Elektronenionisations Vakuummeter mit Axialkollektor
Е. Twin-wire oscillator gauge
F.  oscillants | Электронный ионизационный вакуумметр, в котором фоновое давление уменьшено за счет использования в качестве коллектора ионов тонкой проволоки, помещенной соосно с цилиндрической сеткой, при этом катод укрепляют снаружи сетки | ||||
103. Экстракторный вакуумметр
D. lonisationsvakuummeter mit Extraktor-System
E. Extractor gauge
F. extracteur | Электронный ионизационный вакуумметр, в преобразователе которого фоновый ток уменьшен за счет использования в качестве коллектора ионов короткой и тонкой проволоки, находящейся на оси анода и выведенной из области ионизации | ||||
104. Электронный ионизационный вакуумметр с магнитным полем
D. Magnetronvakuummeter mit kalter Kathode
E. Cold cathode magnetron gauge
F.  cathode froide | Электронный ионизационный вакуумметр, преобразователь давления которого представляет собой цилиндрический магнетрон, в котором магнитное поле используется для удлинения траектории электронов и увеличения числа образованных ионов | ||||
105. Индикатор с разрядной трубкой
D.  E. Discharge tube indicator
F. Tube  | Прозрачная газоразрядная трубка, в которой цвет и форма свечения разряда дают представление о роде и давлении газа | ||||
106. Вакуумметр парциального давления
D. Partialdruckvakuummeter
E. Partial pressure vacuum gauge
F. Analyseur de pressions partielles | Вакуумметр для измерения давления, которое оказывал бы один из газов, входящих в газовую смесь, если из нее удалить остальные газы при условии сохранения первоначальных объема и температуры.
Примечание. Обычно это масс-спектрометры, не имеющие собственной откачной системы
| ||||
107. Масс-спектрометр
D. Massenspektrometer
E. Mass spectrometer
F.  de masse | |||||
ХАРАКТЕРИСТИКИ ВАКУУММЕТРОВ | |||||
108. Диапазон измерений
D.  E. Pressure range
F. Etendue de mesurage | По ГОСТ 16263-70*.
Примечание. Для некоторых типов вакуумметров этот диапазон зависит от природы газа. В таких случаях должен быть указан диапазон давлений для азота | ||||
| |||||
109. Чувствительность
D. Empfindlichkeit
E. Sensitivity
F.  | По ГОСТ 16263-70.
Примечание. Для некоторых типов вакуумметров чувствительность зависит от природы газа. В таких случаях должна быть указана чувствительность для азота | ||||
110. Относительная чувствительность вакуумметра
D. Relative Vakuummeterempfindlicnkeit
E. Relative sensitivity factor
F. Facteur de  relative | Отношение чувствительности вакуумметра для данного газа к чувствительности его для азота при том же давлении и идентичных условиях измерения | ||||
111. Приведенная чувствительность ионизационного вакуумметра
D. Vakuummeterkonstante eines lonisationsvakuummeters
E. lonization gauge coefficient
F. Coefficient d’un  ionisation | Отношение ионного тока для данного газа к произведению ионизирующего тока и соответствующего давления | ||||
112. Эквивалентное азотное давление
D. Stickstoffaquivalentdruck
E. Equivalent nitrogen pressure
F. Pression  d’azote | Давление чистого азота, которое давало бы показание вакуумметра, равное показанию, вызванному воздействующим на него газом | ||||
113. Фоновое давление вакуумметра
D. Untergrunddruck
E. Background pressure F. Pression residuelle | Условное давление чистого азота, соответствующее такому же показанию ионизационного вакуумметра, как при остаточном токе, не зависящем от давления | ||||
АЛФАВИТНЫЙ УКАЗАТЕЛЬ ТЕРМИНОВ НА РУССКОМ ЯЗЫКЕ
|
|
Агрегат вакуумный | 7 |
Баллон вакуумный уравнительный | 22 |
Блок вакуумметра измерительный | 83 |
Быстрота действия вакуумного насоса | 71 |
Быстрота откачки | 70 |
Вакуум | 1 |
Вакуумметр | 79 |
Вакуумметр абсолютный | 80 |
Вакуумметр вязкостный | 92 |
Вакуумметр грузопоршневой | 91 |
Вакуумметр деформационный | 89 |
Вакуумметр дифференциальный | 81 |
Вакуумметр жидкостный | 86 |
Вакуумметр ионизационный | 97 |
Вакуумметр ионизационный радиоизотопный | 98 |
Вакуумметр ионизационный электронный | 101 |
Вакуумметр ионизационный электронный с магнитным полем | 104 |
Вакуумметр ионизационный электронный с осевым коллектором | 102 |
Вакуумметр компрессионный | 88 |
Вакуумметр магнитный электроразрядный | 99 |
Вакуумметр мембранный | 90 |
Вакуумметр парциального давления | 106 |
Вакуумметр Пеннинга | 100 |
Вакуумметр полного давления | 86 |
Вакуумметр сопротивления | 95 |
Вакуумметр тепловой | 93 |
Вакуумметр термомолекулярный | 96 |
Вакуумметр термопарный | 94 |
Вакуумметр U-образный | 87 |
Вакуумметр экстракторный | 103 |
Ввод вакуумный | 17 |
Давление вакуумметра фоновое | 113 |
Давление вакуумного насоса выпускное наибольшее | 73 |
Давление вакуумного насоса предельное остаточное | 75 |
Давление запуска вакуумного насоса наибольшее | 72 |
Давление вакуумного насоса наибольшее рабочее | 74 |
Давление паров воды наибольшее допустимое | 77 |
Давление эквивалентное азотное | 112 |
Диапазон измерений | 108 |
Затвор вакуумный | 14 |
Индикатор с разрядной трубкой | 105 |
Клапан вакуумный | 13 |
Клапан вакуумный напускной | 15 |
Крионасос вакуумный | 65 |
Ловушка вакуумная | 12 |
Ловушка вакуумная ионная | 69 |
Ловушка вакуумная конденсационная | 67 |
Ловушка вакуумная сорбционная | 68 |
Масло вакуумное | 4 |
Масс-спектрометр | 107 |
Насос вакуумный | 11 |
Насос вакуумный адсорбционный | 58 |
Насос вакуумный бустерный | 26 |
Насос вакуумный вращательный | 35 |
Насос вакуумный газобалластный | 33 |
Насос вакуумный газоперекачивающий | 28 |
Насос вакуумный газоструйный | 48 |
Насос вакуумный газоулавливающий | 56 |
Насос вакуумный геттерный | 59 |
Насос вакуумный геттерный испарительный | 60 |
Насос вакуумный геттерно-ионный | 61 |
Насос вакуумный двухроторный | 40 |
Насос вакуумный диффузионный | 51 |
Насос вакуумный диффузионно-эжекторный | 52 |
Насос вакуумный диффузионный самоочищающийся | 53 |
Насос вакуумный диффузионный фракционный | 54 |
Насос вакуумный жидкостно-кольцевой | 39 |
Насос вакуумный жидкостно-струйный | 47 |
Насос вакуумный ионный | 55 |
Насос вакуумный испарительно-ионный | 62 |
Насос вакуумный кинетический | 42 |
Насос вакуумный комбинированный | 66 |
Насос вакуумный конденсационный | 64 |
Насос вакуумный магнитный электроразрядный | 63 |
Насос вакуумный механический | 29 |
Насос вакуумный объемного действия | 30 |
Насос вакуумный пароструйный | 49 |
Насос вакуумный пластинчато-роторный | 36 |
Насос вакуумный пластинчато-статорный | 37 |
Насос вакуумный плунжерный | 38 |
Насос вакуумный поршневой | 31 |
Насос вакуумный предварительного разрежения | 27 |
Насос вакуумный с масляным (жидкостным) уплотнением | 32 |
Насос вакуумный с сухим уплотнением | 34 |
Насос вакуумный сорбционный | 57 |
Насос вакуумный струйный | 46 |
Насос вакуумный трохоидный | 41 |
Насос вакуумный эжекторный | 50 |
Насос высоковакуумный | 24 |
Насос низковакуумный | 23 |
Насос форвакуумный | 25 |
Натекатель вакуумный | 16 |
Преобразователь давления измерительный | 82 |
Производительность вакуумного насоса по парам воды наибольшая | 76 |
Пост откачной | 8 |
Система вакуумная | 5 |
Сосуд откачиваемый вакуумный | 9 |
Степень вакуума | 3 |
Степень сжатия вакуумного насоса | 78 |
Техника вакуумная | 2 |
Трубопровод байпасный | 20 |
Трубопровод вакуумный | 18 |
Трубопровод форвакуумный | 19 |
Турбонасос вакуумный | 43 |
Турбонасос вакуумный осевой | 44 |
Турбонасос вакуумный центробежный | 45 |
Установка вакуумная | 6 |
Устройство вакуумметра отсчетное | 84 |
Устройство защитное вакуумное | 21 |
Чувствительность | 109 |
Чувствительность вакуумметра относительная | 110 |
Чувствительность ионизационного вакуумметра приведенная | 111 |
Элемент вакуумной системы | 10 |
АЛФАВИТНЫЙ УКАЗАТЕЛЬ ТЕРМИНОВ НА НЕМЕЦКОМ ЯЗЫКЕ
|
|
Absolutes Vakuummeter | 80 |
Adsorptionspumpe | 58 |
 eines  | 84 |
Axialische Turbovakuumpumpe | 44 |
Beluftungsvakuumventil | 15 |
Betriebs und eines | 83 |
Boostervakuumpumpe | 26 |
Dampfstrahlvakuumpumpe | 49 |
Differenzdruckvakuummeter | 81 |
Diffusionsjekterpumpe | 52 |
Diffusionsvakuumpumpe | 51 |
Drehkolbenvakuumpumpe | 37 |
Drehschiebervakuumpumpe | 36 |
Druckausgleichskolben | 22 |
Druckmessunformer | 82 |
Druckwaage | 91 |
Elektronenionisations Vakuummeter | 101 |
Elektronenionisations Vakuummeter mit Axialkollektor | 102 |
Empfindlichkeit | 109 |
Enddruck einer Vakuumpumpe | 75 |
Endvakuumpumpe | 24 |
Falle | 12 |
Federelastisches Vakuummeter | 89 |
| 39 |
 | 47 |
| 86 |
Fraktionierende | 54 |
Gasballastvakuumpumpe | 33 |
Gasbindende Vakuumpumpe | 56 |
Gasstrahlvakuumpumpe | 48 |
Gastransfervakuumpumpe | 28 |
Gettervakuumpumpe | 59 |
Grobvakuumpumpe | 23 |
 | 105 |
Hubkolbenvakuumpumpe | 31 |
lonengettervakuumpumpe | 61 |
lonentransferpumpe | 55 |
lonenverdampfervakuumpumpe | 62 |
| 63 |
| 99 |
lonisationsvakuummeter | 97 |
lonisationsvakuummeter mit Extraktor-System | 103 |
lonisationsvakuummeter mit radioaktiver Strahlungsquelle | 98 |
lonisierungsfalle | 69 |
Kinetische Vakuumpumpe | 42 |
Kompressionsvakuummeter | 88 |
| 78 |
Kondensationspumpe | 64 |
Kreiskolbenvakuumpumpe | 41 |
Kryovakuumpumpe | 65 |
| 67 |
Magnetronvakuummeter mit kalter Kathode | 104 |
Massenspektrometer | 107 |
Maximal Wasserdampf | 76 |
Maximal  Vorvakuumdruck | 73 |
Maximaler Arbeitsdruck | 74 |
Membranvakuummeter | 90 |
| 108 |
Molekularvakuummeter | 96 |
Nadelvakuumventil | 16 |
 (flussigkeitsgedichtete) Vakuumpumpe | 32 |
Partialdruckvakuummeter | 106 |
Penningvakuummeter | 100 |
| 71 |
Pumpstand | 8 |
Radialische Turbovakuumpumpe | 45 |
Reibungsvakuummeter | 92 |
Relative Vakuummeterempfundlichkeit | 110 |
Rotationsvakuumpumpe | 29 |
 | 35 |
| 70 |
Selbstreinigende | 53 |
Sorptionsfalle | 68 |
Sorptionspumpe | 57 |
Sperrschiebervakuumpumpe | 38 |
Startdruck | 72 |
Stickstoffaquivalentdruck | 112 |
Sublimationsgettervakuumpumpe | 60 |
Thermistor-Vakuummeter | 95 |
Thermokreuz | 94 |
Totaldruckvakuummeter | 85 |
Treibmittelstrachlvakuumpumpe | 50 |
Treibmittelvakuumpumpe | 46 |
Trockenlaufende Vakuumpumpe | 34 |
Turbovakuumpumpe | 43 |
U-leitung Vakuummeter | 87 |
Umwegleitung | 20 |
Untergrunddruck | 113 |
Vakuum | 1 |
Vakuumanlage | 6 |
Vakuumbereiche | 3 |
 | 17 |
Vakuumeinheit | 7 |
Vakuumkamer | 9 |
Vakuummeter | 79 |
Vakuummeterkonstante eines lonisationsvakuummeters | 111 |
Vakuumpumpe | 11 |
 | 4 |
Vakuumpumpkombination | 66 |
Vakuumrohrleitung | 18 |
Vakuumschlensenventil | 14 |
Vakuumsicherheitsvorrichtung | 21 |
Vakuumsystem | 5 |
Vakuumsystemselement | 10 |
Vakuumtechnik | 2 |
Vakuumventil | 13 |
| 30 |
Vorpumpenrohrleitung | 19 |
Vorvakuumpumpe | 25, 27 |
 | 40 |
| 93 |
| 77 |
АЛФАВИТНЫЙ УКАЗАТЕЛЬ ТЕРМИНОВ НА АНГЛИЙСКОМ ЯЗЫКЕ
|
|
Absolute vacuum gauge | 80 |
Admittance vacuum valve | 15 |
Adsorption vacuum pump | 58 |
Air admittance vacuum valve | 16 |
Axial flow turbine vacuum pump | 44 |
Background pressure | 113 |
Backing line | 19 |
Backing vacuum pump | 25 |
Booster vacuum pump | 26 |
Bypass line | 20 |
Cold cathode magnetron gauge | 104 |
Cold trap | 67 |
Combined vacuum pump | 66 |
Compression gauge | 88 |
Compression ratio | 78 |
Condenserpump | 64 |
Cryopump | 65 |
Diaphragm gauge | 90 |
Differential vacuum gauge | 81 |
Diffusion-ejector pump | 52 |
Diffusion pump | 51 |
Discharge tube indicator | 105 |
Dry-sealed vacuum pump | 34 |
Ejector vacuum pump | 50 |
Elastic element gauge | 89 |
Electronic type ionization vacuum | 101 |
Element of vacuum system | 10 |
Entrapment vacuum pump | 56 |
Equal vessel | 22 |
Equivalent nitrogen pressure | 112 |
Extractor gauge | 103 |
Fractionating diffusion pump | 54 |
Gas ballast vacuum pump | 33 |
Gas jet vacuum pump | 48 |
Gauge control unit | 83 |
Gauge indicating unit | 84 |
Gauge pressure transducer | 82 |
Getter ion vacuum pump | 61 |
Getter vacuum pump | 59 |
High vacuum pump | 24 |
Ion transfer vacuum pump | 55 |
Ion trap | 69 |
Ionization gauge coefficient | 111 |
Ionization vacuum gauge | 97 |
Jet kinetic vacuum pump | 46 |
Kinetic vacuum pump | 42 |
Liquid jet vacuum pump | 47 |
Liquid level manometer | 86 |
Liquid ring vacuum pump | 39 |
Mass spectrometer | 107 |
Maximum backing pressure | 73 |
Maximum rate of handling water vapour | 76 |
Maximum tolerable water vapour inlet pressure | 77 |
Maximum working pressure | 74 |
Oil-sealed (liquid-sealed) vacuum pump | 32 |
Partial pressure vacuum gauge | 106 |
Penning gauge | 100 |
Piston vacuum pump | 31 |
Positive displacement vacuum pump | 30 |
Pressure balance | 91 |
Pressure range | 108 |
Pumped container | 9 |
Pumping rate | 70 |
Pumping station | 8 |
Pump for gas transporting | 28 |
Radial flow turbine vacuum pump | 45 |
Radioactive ionization gauge | 98 |
Ranges of vacuum | 3 |
Relative sensitivity factor | 110 |
Roots vacuum pump | 40 |
Rotary piston vacuum pump | 37 |
Rotary plunger vacuum pump | 38 |
Rotary vacuum pump | 35 |
Rough vacuum pump | 23 |
Roughing vacuum pump | 27 |
Self purifying diffusion pump | 53 |
Sensitivity | 109 |
Sliding vane rotary vacuum pump | 36 |
Sorption trap | 68 |
Sorption vacuum pump | 57 |
Sputter ion gauge | 99 |
Sputter ion pump | 63 |
Starting pressure | 72 |
Sublimation ion vacuum pump | 62 |
Sublimation vacuum pump | 60 |
Thermal conductivity gauge | 93 |
Thermistor gauge | 95 |
Thermocouple gauge | 94 |
Thermo-molecular gauge | 96 |
Total pressure vacuum gauge | 85 |
Trap | 12 |
Trochoid pump | 41 |
Turbine vacuum pump | 43 |
Twin-wire oscillator gauge | 102 |
Ultimate pressure of vacuum pump | 75 |
U-tube vacuum gauge | 87 |
Vacuum | 1 |
Vacuum feedthrough | 17 |
Vacuum gate valve | 14 |
Vacuum mechanical pump | 29 |
Vacuum pipework | 18 |
Vacuum plant | 6 |
Vacuum protective device | 21 |
Vacuum pump | 11 |
Vacuum pump oil | 4 |
Vacuum system | 5 |
Vacuum technology | 2 |
Vacuum unit | 7 |
Vacuum valve | 13 |
Vacuummeter | 79 |
Vapour jet vacuum pump | 49 |
Viscosity gauge | 92 |
Volume flow rate of vacuum pump | 71 |
АЛФАВИТНЫЙ УКАЗАТЕЛЬ ТЕРМИНОВ НА ФРАНЦУЗСКОМ ЯЗЫКЕ
|
|
Analyseur de pressions partielles | 106 |
Avec unetube en U- | 87 |
Ballon  de pression | 22 |
de pompage de vapeur d’eau admissible | 76 |
Coefficient d’un ionisation | 111 |
Coffret d’alimentation et de mesure | 83 |
Conduite bypass | 20 |
Conduite vide | 18 |
Conduite vide  | 19 |
 d’une pompe vide | 71 |
 | 70 |
 turbine | 43 |
turbine flux axial | 44 |
turbine flux radial | 45 |
 roots | 40 |
Dispositif de | 21 |
Dispositif indicateur | 84 |
Domaines de vide | 3 |
Ejecteur gaz pour Ie vide | 48 |
Ejecteur vapeur pour Ie vide | 49 |
Element du  vide | 10 |
Enceinte | 9 |
Etendue de mesurage | 108 |
Facteur de relative | 110 |
Huile de pompe vide primaire | 4 |
Installation de vide | 6 |
compression | 88 |
conduction thermique | 93 |
 | 89 |
differentiel | 81 |
oscillants | 102 |
extracteur | 103 |
ionisation | 97 |
ionisation faisceau | 101 |
liquide | 86 |
membrane | 90 |
piston | 91 |
source radioactive | 98 |
thermistance | 95 |
thermocouple | 94 |
vide | 79 |
| 92 |
absolu | 80 |
de Penning | 100 |
de  totale | 85 |
 | 81 |
ionique pulverisation | 99 |
 cathode froide | 104 |
thermomoleculaire | 96 |
Passage du vide | 17 |
 | 12 |
 sorption | 68 |
ionique | 69 |
refroidi | 67 |
Pompe diffusion | 51 |
Pompe diffusion autorectifiante | 53 |
Pompe diffusion et ejecteur | 52 |
Pompe diffusion fractionnante | 54 |
Pompe ionisation vide | 55 |
Pompe vide | 11 |
Pompe vide anneau liquide | 39, 47 |
Pompe vide bain d’huile ( bain de liquide) | 32 |
Pompe vide ejecteur | 50 |
Pompe vide fixation | 56 |
Pompe vide physisorption | 58 |
Pompe vide injection de gaz | 33 |
Pompe vide jet  | 46 |
Pompe vide palettes | 36 |
Pompe vide piston alternatif | 31 |
Pompe vide piston oscillant | 38 |
Pompe vide piston tournant | 37 |
Pompe vide sorbeur | 59 |
Pompe vide sorption | 57 |
Pompe vide sublimation sorbeur | 60 |
Pompe vide | 42 |
Pompe vide  | 66 |
Pompe vide du transport gazeus | 28 |
Pompe vide  | 26 |
Pompe vide ionique sorbeur | 61 |
Pompe vide ionique sublimation | 62 |
Pompe vide primaire | 23 |
Pompe vide | 34 |
Pompe vide secondaire | 24 |
Pompe vide tournant | 35 |
Pompe vide  | 30 |
Pompe condenser | 64 |
Pompe cryostatique | 65 |
Pompe ionique  | 63 |
Pompe vide | 29 |
Pompe  pour Ie vide | 27 |
Pompe primaire pour Ie vide | 25 |
Pompe trochoide | 41 |
Pression d’amorcage | 72 |
Pression  d’azote | 112 |
Pression maximale de fonctionnement | 74 |
Pression maximale de refoulement | 73 |
Pression limite d’une pompe vide | 75 |
Pression maximale  d’aspiration de vapeur d’eau | 77 |
Pression residuelle | 113 |
Robinet aiguille | 16 |
Robinet  d’air | 15 |
| 109 |
Soupape de vide | 13 |
 de masse | 107 |
Stand de pompage | 8 |
vide | 5 |
Taux de compression | 78 |
Technique du vide | 2 |
Transducteur de mesure pression | 82 |
Tube  | 105 |
vide | 7 |
| 14 |
Vide | 1 |
ПРИЛОЖЕНИЕ 1
Справочное
ТЕРМИНЫ, ПРИМЕНЯЕМЫЕ В ВАКУУМНОЙ ТЕХНИКЕ
|
|
Термин | Определение |
1. Газ | Состояние вещества, при котором движение молекул практически не ограничено межмолекулярными силами, так что вещество может занимать любое доступное пространство.
Примечания: 1. Под газом понимают химически индивидуальный газ и смесь газов.
2. В вакуумной технике этот термин применяют к неконденсирующемуся газу и к пару
|
2. Неконденсирующийся газ | Газ, который во всем диапазоне рабочих температур не может быть переведен в конденсированную фазу только путем увеличения его давления |
3. Идеальный газ | |
4. Парциальное давление газа | Давление, оказываемое химически индивидуальным газом, содержащимся в газовой смеси, равное давлению, которое оказывал бы этот газ, если удалить из занимаемого газовой смесью объема остальные газы, при условии сохранения первоначальных объема и температуры |
5. Полное давление газа | Сумма парциальных давлений компонентов газовой смеси.
Примечание. Термин применяют, если термин "Давление" четко не указывает на разницу между отдельными парциальными давлениями и их суммой
|
6. Давление газа на ограничивающую поверхность | Нормальная составляющая силы, действующей со стороны газа на ограничивающую поверхность, деленная на площадь этой поверхности.
Примечание.
1. При наличии потока молекул газа указывают ориентацию поверхности по отношению к вектору этого потока.
2. Термин "Давление" без дополнительных определений означает статическое давление в газе при его установившемся течении
|
7. Давление в определенной точке газового пространства | Скорость переноса нормальной составляющей количества движения, связанного с движением молекул в обоих направлениях через площадку на воображаемой плоскости, проходящей через эту точку, деленная на величину этой площадки.
Примечание. При наличии потока молекул газа указывают ориентацию плоскости по отношению к вектору этого потока
|
8. Количество газа | Произведение объема, занимаемого газом, находящимся в равновесном состоянии, на его давление |
9. Пар | Газ, верхний предел рабочих температур которого ниже критической температуры сжижения |
10. Насыщенный пар | Пар, находящийся при данной температуре в термодинамическом равновесии с одной из конденсированных фаз рассматриваемого вещества |
11. Давление насыщенного пара | Давление пара, находящегося при данной температуре в термодинамическом равновесии с одной из его конденсированных фаз |
12. Ненасыщенный пар | Пар, давление которого меньше давления насыщенного пара рассматриваемого вещества при заданной температуре |
13. Степень насыщения пара | Отношение давления пара к давлению насыщенного пара |
14. Молекулярная концентрация | Число молекул газа в единице объема |
15. Молекулярная концентрация заданного компонента | Число молекул заданного компонента в единице объема |
16. Плотность газа | Масса единицы объема газа |
17. Плотность газа, приведенная к единице давления | Плотность газа, деленная на его давление |
18. Длина свободного пути молекул | Длина пути, пройденного молекулой между двумя последовательными столкновениями с другими молекулами |
19. Средняя длина свободного пути молекулы | Среднее арифметическое значение длин свободного пути молекул |
20. Число столкновений молекул в единицу времени | Среднее арифметическое число столкновений, испытываемое молекулой за единицу времени при движении ее относительно других молекул |
21. Число столкновений молекул в единице объема за единицу времени | - |
22. Диффузия газа | Движение газа в другой среде под влиянием градиента концентрации.
Примечание. Средой может быть другой газ (в этом случае наблюдается взаимная диффузия) или конденсированная фаза
|
23. Коэффициент диффузии газа | |
24. Течение газа | Перемещение газа в трубопроводе под действием разности давлений или температур на его концах |
25. Ламинарное течение | |
26. Турбулентное течение | |
27. Вязкостное течение | Течение газа в трубопроводе в условиях, когда средняя длина свободного пути молекул очень мала по сравнению с наименьшим внутренним поперечным размером трубопровода, так что поток зависит от плотности газа.
Примечание. Течение может быть ламинарным или турбулентным
|
28. Пуазейлевское течение | Ламинарное вязкостное течение в длинной трубе круглого сечения |
29. Молекулярное течение | Течение газа в трубопроводе при условиях, когда средняя длина свободного пути молекул значительно превышает внутренний размер поперечного сечения трубопровода |
30. Молекулярно-вязкостное течение | Течение газа в трубопроводе при условиях, промежуточных между ламинарным вязкостным течением и молекулярным течением |
31. Эффузионное течение | Течение газа через отверстие, когда наибольший размер отверстия меньше средней длины свободного пути молекул |
32. Температурная транспирация | Течение газа между соединенными сосудами вследствие разности температур сосудов, результатом которой является образование градиента давлений |
33. Поток молекул | Число молекул, проходящих через некоторое сечение в единицу времени |
34. Результирующий поток молекул | Разность числа молекул, пересекающих в единицу времени некоторую поверхность в одном направлении, и числа молекул, пересекающих ее в обратном направлении |
35. Плотность потока молекул | Результирующий поток молекул, деленный на площадь поверхности, которую он пересекает |
36. Массовый поток газа | Масса газа, пересекающего некоторую поверхность за единицу времени |
37. Объемный поток газа | Объем газа при указанных температуре и давлении, пересекающего некоторую поверхность за единицу времени |
38. Молярный поток газа | Число молей газа, пересекающего некоторую поверхность за единицу времени |
39. Распределение Максвелла по скоростям | Распределение по скоростям, соответствующее функции распределения Максвелла-Больцмана.
Примечание. Распределение Максвелла-Больцмана по скоростям соответствует распределению по скоростям молекул газа, находящегося в состоянии равновесия при заданной температуре на расстоянии от стенок сосуда намного большем, чем средняя длина свободного пути молекул
|
40. Вероятность прохождения | Вероятность того, что молекула, вошедшая через входное отверстие канала, выйдет через его выходное отверстие и не пройдет входное отверстие в обратном направлении |
41. Проводимость элемента вакуумной системы | Свойство, характеризуемое отношением потока газа, проходящего по каналу или через отверстие, к разности давлений в двух указанных сечениях канала или по обеим сторонам отверстия |
42. Внутренняя проводимость элемента вакуумной системы | Проводимость в частном случае, когда канал (или отверстие) соединяет два сосуда при условии максвелловского распределения молекул по скоростям в обоих сосудах.
Примечание. В случае молекулярного течения внутренняя проводимость равна произведению проводимости входного отверстия и вероятности его прохождения
|
43. Молекулярная проводимость элемента вакуумной системы | Проводимость, определяемая отношением потока молекул к разности средних чисел молекул в единице объема по обеим сторонам отверстия или в двух поперечных сечениях канала |
44. Сопротивление элемента вакуумной системы | Величина, обратная проводимости элемента вакуумной системы |
45. Сорбция | Захват газа или пара твердым телом или жидкостью |
46. Адсорбция | Сорбция, при которой газ или пар удерживаются на поверхности твердого вещества или жидкости |
47. Абсорбция | Сорбция, при которой газ диффундирует в объем твердого тела или жидкости |
48. Физическая сорбция | Сорбция под действием физических сил, при которой не образуются химические связи |
49. Хемосорбция | Сорбция, при которой происходит образование химических связей |
50. Коэффициент аккомодации | Величина, определяемая отношением средней энергии, реально передаваемой поверхности налетающими молекулами, к средней энергии, которая была бы передана поверхности налетающими молекулами, если бы они отрывались от поверхности после достижения с нею полного теплового равновесия |
51. Частота столкновений | Число молекул, сталкивающихся с единицей площади поверхности в единицу времени |
52. Скорость конденсации | Число молекул, конденсирующихся на единице площади поверхности в единицу времени |
53. Скорость прилипания | Число молекул, сорбируюшихся на единице площади поверхности в единицу времени |
54. Вероятность прилипания | Отношение скоростей прилипания к частоте столкновений |
55. Время удержания | Среднее время, в течение которого молекулы удерживаются на поверхности в состоянии сорбции |
56. Миграция | Движение молекул на поверхности |
57. Десорбция | Освобождение газов или паров, сорбированных каким-либо материалом |
58. Скорость десорбции | Количество газа, десорбирующееся с единицы площади поверхности в единицу времени |
59. Скорость испарения | Число молекул вещества, испаряющегося с единицы площади поверхности в единицу времени |
60. Просачивание | Процесс прохождения газа через твердый барьер.
Примечание. Процесс включает в себя диффузию газа в твердом теле и различные поверхностные явления |
61. Проницаемость твердой перегородки | Отношение потока газа через перегородку к потоку газа через то же сечение при отсутствии перегородки, являющееся функцией давлений по обе стороны перегородки и структуры перегородки |
62. Коэффициент проницаемости газа | Величина, определяемая произведением проницаемости на отношение толщины перегородки к ее площади |
63. Условный проход | Диаметр проходного сечения элемента вакуумной системы, определяющий присоединительные размеры по действующим стандартам |
64. Манометр | |
65. Откачка | Уменьшение молекулярной концентрации газа при помощи устройств, удаляющих или поглощающих газ |
66. Газовыделение | Самопроизвольное выделение газа из материала в вакуум |
67. Обезгаживание | Принудительное удаление газа из материала |
68. Обратная диффузия | Диффузия газа в направлении, противоположном направлению откачки |
69. Обратная миграция | Поверхностная миграция масла в откачиваемый объем по внутренним поверхностям вакуумной системы в направлении, противоположном направлению откачки |
70. Рабочее вещество | Вещество или его пары, используемое для увлечения откачиваемых газов в струйных вакуумных насосах |
71. Радиочастотный масс-спектрометр | Масс-спектрометр, в котором разделение ионов происходит в радиочастотном продольном электрическом поле |
72. Квадрупольный масс-спектрометр | Масс-спектрометр, в котором разделение ионов происходит в высокочастотном электрическом поле анализатора, образованного четырьмя параллельными электродами |
73. Монополярный масс-спектрометр | Масс-спектрометр, в котором разделение ионов происходит в высокочастотном электрическом поле анализатора, состоящего из двух электродов |
74. Масс-спектрометр с магнитным отклонением | Масс-спектрометр, в котором ускоренные ионы, имеющие разные массы, под действием магнитного поля движутся по различным круговым траекториям |
75. Циклоидальный масс-спектрометр | Масс-спектрометр, в котором ионы разделяются скрещенными электрическим и магнитным полями, в которых они следуют по различным циклоидным траекториям, в результате чего ионы фиксируются в разных точках в зависимости от отношения массы к заряду |
76. Омегатронный масс-спектрометр | Масс-спектрометр, в котором ионы разделяются при движении по спиральным траекториям в радиочастотном электрическом и постоянном магнитном полях, перпендикулярных друг другу |
77. Времяпролетный масс-спектрометр | Масс-спектрометр, в котором газ ионизируется электронным пучком с импульсной модуляцией и ускоряющиеся в пространстве дрейфа ионы разделяются по времени прибытия на коллектор в зависимости от отношения массы иона к заряду |
ПРИЛОЖЕНИЕ 2
Справочное
ИНФОРМАЦИОННЫЕ ДАННЫЕ О СООТВЕТСТВИИ
ГОСТ 5197-85 СТ СЭВ 4839-84 И СТ СЭВ 4751-84
|
|
Термин по ГОСТ 5197-85 | Термин по СТ СЭВ 4839-84, по СТ СЭВ 4751-84 |
Вакуумная ловушка | Ловушка |
Вакуумное защитное устройство | Устройство задержки газового потока |
Бустерный вакуумный насос | Бустерный насос |
Вакуумный насос предварительного разрежения | Насос предварительного разрежения |
Трохоидный вакуумный насос | Трохоидальный вакуумный насос |
Струйный вакуумный насос | Струйный кинетический вакуумный насос |
Газоструйный вакуумный насос | Газоэжекторный вакуумный насос |
Пароструйный вакуумный насос | Пароэжекторный вакуумный насос |
Вакуумный крионасос | Криогенный вакуумный насос |
Испарительный геттерный вакуумный насос | Сублимационный вакуумный насос |
Рабочее вещество | Откачивающий элемент |
Конденсационная вакуумная ловушка | Конденсационная охлаждаемая ловушка |
Сорбционная вакуумная ловушка | Сорбционная ловушка |
Ионная вакуумная ловушка | Ионная ловушка |
Быстрота откачки | Быстрота откачки вакуумного насоса |
Молекулярная концентрация заданного компонента | Концентрация молекул заданного компонента |
Число столкновений в единице объема за единицу времени | Объемное число столкновений в единицу времени |
Полное давление газа | Полное давление |
Парциальное давление газа | Парциальное давление |
Массовый поток газа | Массовый расход газа |
Объемный поток газа | Объемный расход газа |
Молярный поток газа | Молярный расход газа |
Проницаемость твердой перегородки | Проницаемость |
Физическая сорбция | Физисорбция |
Средняя длина свободного пути молекул | Средняя длина свободного пробега молекул |
Проводимость элемента вакуумной системы | Проводимость |
Внутренняя проводимость элемента вакуумной системы | Внутренняя проводимость |
Сопротивление элемента вакуумной системы | Сопротивление |
Проницаемость твердой перегородки | Проницаемость |
Коэффициент проницаемости газа | Коэффициент проницаемости |
Наибольшее давление запуска вакуумного насоса | Наибольшее давление запуска вакуумного насоса (начальное давление) |
Предельное остаточное давление вакуумного насоса | Предельное давление вакуумного насоса |
Наибольшая производительность вакуумного насоса по парам воды | Производительность вакуумного насоса по водяному пару |
Наибольшее допустимое давление паров воды | Максимально допустимое впускное давление водяного пара |