ГОСТ 25663-83 Оборудование вакуумное. Насосы вакуумные механические. Методы испытаний (с Изменениями N 1, 2).
ГОСТ 25663-83
Группа Г82
МЕЖГОСУДАРСТВЕННЫЙ СТАНДАРТ
Оборудование вакуумное
НАСОСЫ ВАКУУМНЫЕ МЕХАНИЧЕСКИЕ
Методы испытаний
Vacuum equipment. Mechanical vacuum pumps. Test methods
МКС 23.160
ОКП 62 9448
Дата введения 1984-01-01
ИНФОРМАЦИОННЫЕ ДАННЫЕ
1. УТВЕРЖДЕН И ВВЕДЕН В ДЕЙСТВИЕ Постановлением Государственного комитета СССР по стандартам от 03.03.83 N 1068
2. ВВЕДЕН ВПЕРВЫЕ
3. Стандарт полностью соответствует СТ СЭВ 3409-81*
4. ССЫЛОЧНЫЕ НОРМАТИВНО-ТЕХНИЧЕСКИЕ ДОКУМЕНТЫ
Обозначение НТД, на который дана ссылка | Номер пункта |
Вводная часть | |
Вводная часть |
5. Ограничение срока действия снято по протоколу N 4-93 Межгосударственного совета по стандартизации, метрологии и сертификации (ИУС 4-94)
6. ИЗДАНИЕ (май 2010 г.) с Изменениями N 1, 2, утвержденными в апреле 1984 г., ноябре 1988 г. (ИУС 8-84, 2-89)
Настоящий стандарт распространяется на механические вакуумные насосы объемного действия, применяемые в вакуумных системах технологического оборудования для производства изделий электронной техники, работающие при выпускном давлении, равном атмосферному, и создающие на входе давление менее 1000 Па, и устанавливает методы измерения предельного остаточного давления и быстроты действия.
Стандарт полностью соответствует СТ СЭВ 3409-81.
Термины, применяемые в настоящем стандарте, и их пояснения - по ГОСТ 5197 и ГОСТ 26790.
(Измененная редакция, Изм. N 1, 2).
1. МЕТОД ИЗМЕРЕНИЯ ПРЕДЕЛЬНОГО ОСТАТОЧНОГО ДАВЛЕНИЯ
1.1. Метод измерения предельного остаточного давления основан на откачивании газа из специальной измерительной камеры испытуемым насосом с последующим измерением давления в камере через равные промежутки времени при постоянной температуре.
1.2. Испытательная установка представлена на черт.1.
1 - испытуемый насос; 2 - измерительная камера; 3 - измерительные преобразователи давления; 4 - натекатель; 5 - напускная трубка
Черт. 1
1.3. Измерительная камера представлена на черт.2.
1 - направление потока газа; 2 - напускная трубка; 3 - место подсоединения измерительного преобразователя давления
Черт. 2
1.3.1. Объемы и диаметры измерительных камер приведены в таблице.
, дм |  , дм |  , мм | |||
|
| До
| 0,26 | 1,3 | 100 |
Св. | 0,26 | " | 1,10 | 5,5 | 160 |
" | 1,10 | " | 4,20 | 21,0 | 250 |
" | 4,20 | " | 17,00 | 85,0 | 400 |
" | 17,00 | " | 65,00 | 325,0 | 630 |
| 65,00 | " | 260,00 | 1300,0 | 1000 |
Для получения доступа к полной версии без ограничений вы можете выбрать подходящий тариф или активировать демо-доступ.