ГОСТ Р 8.640-2008 Государственная система обеспечения единства измерений (ГСИ). Радиометры ультрафиолетового излучения для контроля технологических процессов в фотолитографии. Методика поверки.
ГОСТ Р 8.640-2008
Группа Т84.10
НАЦИОНАЛЬНЫЙ СТАНДАРТ РОССИЙСКОЙ ФЕДЕРАЦИИ
Государственная система обеспечения единства измерений
РАДИОМЕТРЫ УЛЬТРАФИОЛЕТОВОГО ИЗЛУЧЕНИЯ
ДЛЯ КОНТРОЛЯ ТЕХНОЛОГИЧЕСКИХ ПРОЦЕССОВ В ФОТОЛИТОГРАФИИ
Методика поверки
State system for ensuring the uniformity of measurements.
Radiometers of ultraviolet radiation measurements
for photolithography technological processes testing. Verification methods
ОКС 17.020
ОКСТУ 0008
Дата введения 2009-01-01
Предисловие
Цели и принципы стандартизации в Российской Федерации установлены Федеральным законом от 27 декабря 2002 г. N 184-ФЗ "О техническом регулировании", а правила применения национальных стандартов Российской Федерации - ГОСТ Р 1.0-2004 "Стандартизация в Российской Федерации. Основные положения"
Сведения о стандарте
1 РАЗРАБОТАН Федеральным государственным унитарным предприятием "Всероссийский научно-исследовательский институт оптико-физических измерений" (ФГУП ВНИИОФИ)
2 ВНЕСЕН Управлением метрологии Федерального агентства по техническому регулированию и метрологии
3 УТВЕРЖДЕН И ВВЕДЕН В ДЕЙСТВИЕ Приказом Федерального агентства по техническому регулированию и метрологии от 26 марта 2008 г. N 60-ст
4 ВВЕДЕН ВПЕРВЫЕ
Информация об изменениях к настоящему стандарту публикуется в указателе "Национальные стандарты", а текст изменений и поправок - в ежемесячно издаваемых информационных указателях "Национальные стандарты". В случае пересмотра (замены) или отмены настоящего стандарта соответствующее уведомление будет опубликовано в ежемесячно издаваемом информационном указателе "Национальные стандарты". Соответствующая информация, уведомление и тексты размещаются также в информационной системе общего пользования - на официальном сайте Федерального агентства по техническому регулированию и метрологии в сети Интернет
1 Область применения
Настоящий стандарт распространяется на средства измерений (СИ) характеристик ультрафиолетового (УФ) излучения - радиометры УФ-излучения, используемые в фотолитографии (далее - радиометры УФ-излучения), и устанавливает методику их первичной и периодической поверок.
Методы оценки погрешностей радиометров УФ-излучения, представленные в настоящем стандарте, соответствуют рекомендациям N 53 Международной комиссии по освещению [1].
Межповерочный интервал - не более одного года.
2 Нормативные ссылки
В настоящем стандарте использованы нормативные ссылки на следующие стандарты:
ГОСТ 8.207-76 Государственная система обеспечения единства измерений. Прямые измерения с многократными наблюдениями. Методы обработки результатов наблюдений. Основные положения
ГОСТ 8.552-2001 Государственная система обеспечения единства измерений. Государственная поверочная схема для средств измерений потока излучения и энергетической освещенности в диапазоне длин волн от 0,03 до 0,40 мкм
Примечание - При пользовании настоящим стандартом целесообразно проверить действие ссылочных стандартов в информационной системе общего пользования - на официальном сайте Федерального агентства по техническому регулированию и метрологии в сети Интернет или по ежегодно издаваемому информационному указателю "Национальные стандарты", который опубликован по состоянию на 1 января текущего года, и по соответствующим ежемесячно издаваемым информационным указателям, опубликованным в текущем году. Если ссылочный стандарт заменен (изменен), то при пользовании настоящим стандартом следует руководствоваться заменяющим (измененным) стандартом. Если ссылочный стандарт отменен без замены, то положение, в котором дана ссылка на него, применяется в части, не затрагивающей эту ссылку.
3 Операции поверки
При проведении поверки выполняют операции, указанные в таблице 1.
Таблица 1
|
|
|
|
Наименование операции | Номер пункта настоящего стандарта | Проведение операций при поверке | |
|
| первичной | периодической |
Внешний осмотр | 8.1 | + | + |
Опробование | 8.2 | + | + |
Определение метрологических характеристик | 8.3 | + | + |
Определение погрешности коррекции спектральной чувствительности | 8.3.1 | + | - |
Определение погрешности абсолютной чувствительности в диапазоне длин волн от 0,01 до 0,25 мкм | 8.3.2 | + | + |
Определение погрешности, обусловленной отклонением коэффициента линейности от единицы. Определение границ диапазона измерений энергетической освещенности | 8.3.3 | + | - |
Определение погрешности угловой коррекции чувствительности | 8.3.4 | + | - |
Примечание - Знак "+" означает, что выполнение операций обязательно, знак "-" - необязательно.
| |||
4 Средства поверки
При проведении поверки применяют следующие средства:
- установку для измерений спектральной чувствительности приемников излучения в диапазоне длин волн от 0,01 до 1,1 мкм в составе рабочего эталона потока излучения и энергетической освещенности (далее - РЭ ПИ и ЭО) по ГОСТ 8.552. Установка включает в себя источники излучения - лампы типов ДКсШ-120, КГМ-12-100, ЛД2(Д), ИПИ-47 (или аналогичные), монохроматоры типов МДР-23, ВМР-2, ДФС-29 (или аналогичные), светофильтр типа БС-2, фотоприемники типов ФПД-1, ФД-288К, AXUV-100 (или аналогичные). Относительное суммарное среднее квадратическое отклонение (далее - СКО) - не более 3%;
- установку для измерений абсолютной чувствительности радиометров УФ-излучения в диапазоне длин волн от 0,01 до 0,25 мкм в составе РЭ ПИ и ЭО по ГОСТ 8.552. Установка включает в себя комплект источников излучения - лампы типов ДРТ-250, ДКсШ-120, ЛД2(Д), ИПИ-47 (или аналогичные), многоканальный радиометр УФ-излучения. Относительное суммарное СКО - не более 4%;
- установку для измерений коэффициента линейности чувствительности радиометров УФ-излучения в составе РЭ ПИ и ЭО по ГОСТ 8.552. Установка включает в себя набор нейтральных ослабителей, источники излучения - лампы типов ДРШ-250, ЛД2(Д), ИПИ-47 (или аналогичные). Относительное суммарное СКО - не более 5%;
- установку для измерений угловой зависимости чувствительности радиометров УФ-излучения в составе РЭ ПИ и ЭО по ГОСТ 8.552, включающую в себя гониометр типа ГС-5 (или аналогичный). Относительное суммарное СКО - не более 5%.
5 Требования к квалификации поверителей
Поверку должны проводить лица, аттестованные в качестве поверителей, освоившие работу с радиометрами и используемыми средствами поверки, изучившие настоящий стандарт и эксплуатационные документы на средства поверки и радиометры УФ-излучения.
6 Требования безопасности
При поверке радиометров УФ-излучения соблюдают правила электробезопасности. Измерения должны проводить два оператора, аттестованные по группе электробезопасности не ниже III, прошедшие инструктаж на рабочем месте по безопасности труда при эксплуатации электрических установок. При работе с источниками УФ-излучения необходимо использовать средства защиты персонала от УФ-излучения - защитные очки, щитки, перчатки и т.п.
7 Условия поверки
При проведении поверки должны быть соблюдены следующие условия:
|
|
- температура окружающего воздуха | (20±5) °С; |
- относительная влажность воздуха | (65±15)%; |
- атмосферное давление | от 84 до 104 кПа; |
- напряжение питающей сети | (220±4) В; |
- частота питающей сети | (50±1) Гц. |
8 Подготовка и проведение поверки
Методика поверки радиометров УФ-излучения включает в себя подготовку к поверке, внешний осмотр, опробование и определение метрологических характеристик. При подготовке к поверке радиометров УФ-излучения необходимо включить все приборы в соответствии с их инструкциями по эксплуатации.
8.1 Внешний осмотр
При внешнем осмотре должны быть установлены:
- соответствие комплектности радиометров УФ-излучения паспортным данным;
- отсутствие механических повреждений блоков радиометров УФ-излучения, сохранность соединительных кабелей и сетевых разъемов;
- четкость надписей на панелях радиометров УФ-излучения;
- наличие маркировки (тип и заводской номер радиометров УФ-излучения);
- отсутствие сколов, царапин и загрязнений на оптических деталях радиометров УФ-излучения.
8.2 Опробование
При опробовании должны быть установлены:
- наличие показаний радиометра при освещении УФ-излучением;
- правильное функционирование переключателей пределов измерений, режимов работы радиометров УФ-излучения.
8.3 Определение метрологических характеристик
8.3.1 Определение погрешности коррекции спектральной чувствительности
Погрешность радиометров УФ-излучения, обусловленную неидеальной коррекцией спектральной чувствительности, определяют по результатам измерений отклонений относительной спектральной чувствительности (далее - ОСЧ) поверяемого радиометра от стандартной (приложение А). ОСЧ поверяемого радиометра УФ-излучения сравнивают с известной спектральной чувствительностью эталонного радиометра УФ-излучения, поверенного в ранге РЭ ПИ и ЭО по ГОСТ 8.552 в диапазоне длин волн от 0,01 до 1,10 мкм. Измерения относительной спектральной чувствительности поверяемого радиометра УФ-излучения проводят с использованием источников УФ-излучения - ламп типов ДКсШ-120, КГМ-12-100, ЛД2(Д), ИПИ-47, а также монохроматоров типов МДР-23, ВМР-2, ДФС-29, светофильтра БС-2, фотоприемников типов ФПД-1, ФД-288К и AXUV-100, поверенных в ранге РЭ ПИ и ЭО по ГОСТ 8.552.
Значение относительного суммарного СКО результатов измерений ОСЧ в диапазоне длин волн от 0,01 до 1,1 мкм не должно превышать 5%.
|
|
Длина волны, нм | |
9,8 | 231 |
10 | 279 |
13 | 680 |
15 | 975 |
18,5 | 1385 |
20 | 1504 |
25 | 1663 |
30 | 1622 |
35 | 1493 |
40 | 1326 |
45 | 1172 |
50 | 1020 |
60 | 7791 |
70 | 601 |
80 | 471 |
90 | 375 |
100 | 302 |
110 | 249 |
120 | 206 |
130 | 173 |
140 | 146 |
150 | 124 |
160 | 106 |
180 | 81,4 |
200 | 63,6 |
225 | 47,8 |
250 | 36,9 |
275 | 29,1 |
300 | 23,5 |
350 | 15,9 |
400 | 11,1 |
500 | 6,38 |
600 | 3,33 |
700 | 2,67 |
800 | 1,89 |
900 | 1,38 |
1000 | 1,04 |
1100 | 0,82 |
|
|
Длина волны, нм | |
200 | 5,55·10  |
205 | 8,19·10 |
210 | 1,04·10  |
215 | 1,04·10 |
220 | 1,23·10 |
225 | 1,29·10 |
230 | 1,18·10 |
235 | 1,02·10 |
240 | 8,64·10 |
245 | 4,87·10 |
250 | 9,05·10 |
255 | 4,42·10 |
260 | 1,75·10 |
265 | 2,93·10 |
270 | 1,01·10 |
275 | 6,52·10 |
280 | 1,78·10 |
285 | 2,15·10 |
290 | 8,08·10 |
295 | 1,21·10 |
300 | 1,48·10 |
305 | 3,67·10 |
310 | 1,20·10 |
315 | 6,09·10 |
320 | 1,50·10 |
325 | 1,19·10 |
330 | 1,13·10 |
335 | 1,03·10 |
340 | 9,48·10  |
345 | 7,87·10 |
350 | 6,71·10 |
355 | 9,12·10 |
360 | 9,51·10 |
365 | 1,000 |
370 | 2,68·10 |
375 | 1,01·10 |
380 | 1,03·10 |
385 | 7,87·10 |
390 | 2,27·10 |
395 | 5,82·10 |
400 | 7,40·10 |
405 | 3,30·10 |
410 | 7,52·10 |
415 | 8,64·10 |
420 | 8,36·10 |
425 | 9,92·10 |
430 | 1,39·10 |
435 | 6,38·10 |
440 | 2,37·10 |
445 | 1,20·10 |
450 | 7,58·10 |
455 | 6,42·10 |
460 | 5,43·10 |
465 | 5,19·10 |
470 | 5,57·10 |
475 | 5,65·10 |
480 | 5,38·10 |
485 | 6,13·10 |
490 | 1,79·10 |
495 | 7,15·10 |
500 | 4,26·10 |
505 | 4,49·10 |
510 | 4,63·10 |
515 | 4,70·10 |
520 | 4,65·10 |
525 | 4,69·10 |
530 | 4,74·10 |
535 | 9,77·10 |
540 | 6,49·10 |
545 | 7,18·10 |
550 | 5,61·10 |
555 | 5,50·10 |
560 | 5,40·10 |
565 | 5,51·10 |
570 | 6,27·10 |
575 | 9,48·10 |
580 | 7,04·10 |
585 | 5,47·10 |
590 | 5,07·10 |
595 | 5,05·10 |
600 | 5,02·10 |
605 | 4,98·10 |
610 | 4,99·10 |
615 | 4,92·10 |
620 | 4,97·10 |
625 | 4,94·10 |
630 | 4,92·10 |
635 | 4,95·10 |
640 | 4,99·10 |
645 | 5,02·10 |
650 | 5,07·10 |
655 | 5,16·10 |
660 | 5,25·10 |
665 | 5,27·10 |
670 | 6,07·10 |
675 | 5,22·10 |
680 | 5,21·10 |
685 | 5,23·10 |
690 | 5,82·10 |
695 | 5,27·10 |
700 | 5,25·10 |
705 | 5,34·10 |
710 | 7,11·10 |
715 | 5,05·10 |
720 | 5,01·10 |
725 | 4,94·10 |
730 | 4,89·10 |
735 | 4,90·10 |
740 | 4,93·10 |
745 | 4,92·10 |
750 | 4,94·10 |
755 | 4,98·10 |
760 | 4,97·10 |
765 | 4,99·10 |
770 | 5,01·10 |
775 | 5,04·10 |
780 | 5,05·10 |
785 | 5,11·10 |
790 | 5,09·10 |
795 | 5,11·10 |
800 | 5,14·10 |
805 | 5,16·10 |
810 | 5,16·10 |
815 | 5,16·10 |
820 | 5,18·10 |
825 | 5,18·10 |
830 | 5,19·10 |
835 | 5,22·10 |
840 | 5,25·10 |
845 | 5,28·10 |
850 | 5,31·10 |
855 | 5,33·10 |
860 | 5,36·10 |
865 | 5,38·10 |
870 | 5,41·10 |
875 | 5,43·10 |
880 | 5,45·10 |
885 | 5,48·10 |
890 | 5,52·10 |
895 | 5,55·10 |
900 | 5,58·10 |
905 | 5,62·10 |
910 | 5,65·10 |
915 | 5,70·10 |
920 | 5,72·10 |
925 | 5,76·10 |
930 | 5,79·10 |
935 | 5,82·10 |
940 | 5,84·10 |
945 | 5,87·10 |
950 | 5,89·10 |
955 | 5,92·10 |
960 | 5,96·10 |
965 | 5,98·10 |
970 | 6,01·10 |
975 | 6,04·10 |
980 | 6,05·10 |
985 | 6,05·10 |
990 | 6,07·10 |
995 | 6,08·10 |
1000 | 6,09·10 |
1005 | 6,09·10 |
1010 | 6,23·10 |
1015 | 7,66·10 |
1020 | 6,18·10 |
1025 | 6,09·10 |
1030 | 6,08·10 |
1035 | 6,06·10 |
1040 | 6,04·10 |
1045 | 6,01·10 |
1050 | 5,96·10 |
1055 | 5,93·10 |
1060 | 5,89·10 |
1065 | 5,86·10 |
1070 | 5,82·10 |
1075 | 5,79·10 |
1080 | 5,75·10 |
1085 | 5,72·10 |
1090 | 5,69·10 |
1095 | 5,66·10 |
1100 | 5,69·10 |
|
|
Длина волны, нм | |
280 | 2,07·10  |
285 | 1,18·10  |
290 | 1,58·10  |
295 | 8,78·10 |
300 | 1,81·10 |
305 | 6,06·10 |
310 | 1,86·10 |
315 | 6,33·10 |
320 | 1,09·10 |
325 | 2,23·10 |
330 | 3,85·10 |
335 | 5,83·10 |
340 | 7,57·10 |
345 | 9,19·10 |
350 | 1,000 |
355 | 9,75·10 |
360 | 8,63·10 |
365 | 8,74·10 |
370 | 5,58·10 |
375 | 3,98·10 |
380 | 2,70·10 |
385 | 1,78·10 |
390 | 1,14·10 |
395 | 6,99·10 |
400 | 4,26·10 |
405 | 3,28·10 |
410 | 6,31·10 |
415 | 9,85·10 |
420 | 6,38·10 |
425 | 4,11·10 |
430 | 2,84·10 |
435 | 1,55·10 |
440 | 1,83·10 |
445 | 1,17·10 |
450 | 9,48·10 |
455 | 7,95·10 |
460 | 6,36·10 |
465 | 5,53·10 |
470 | 5,09·10 |
475 | 4,63·10 |
480 | 4,24·10 |
485 | 3,92·10 |
490 | 2,67·10 |
495 | 3,61·10 |
500 | 3,31·10 |
505 | 3,20·10 |
510 | 2,94·10 |
515 | 3,10·10 |
520 | 2,50·10 |
525 | 2,67·10 |
530 | 2,36·10 |
535 | 2,35·10 |
540 | 1,92·10 |
545 | 3,74·10 |
550 | 5,27·10 |
555 | 1,51·10 |
560 | 1,47·10 |
565 | 1,23·10 |
570 | 1,13·10 |
575 | 9,95·10 |
580 | 3,52·10 |
585 | 1,49·10 |
590 | 8,67·10 |
595 | 7,24·10 |
600 | 6,96·10 |
|
|
Длина волны, нм | |
9 | 1,00 |
11 | 1,44 |
13 | 5,62 |
13,5 | 6,40 |
14 | 5,84 |
15 | 3,80 |
16 | 2,61 |
18 | 1,32 |
20 | 1,02 |
30 | 0,87 |
40 | 0,59 |
50 | 0,21 |
60 | 0,14 |
80 | 0,074 |
100 | 0,035 |
200 | 1,60·10 |
300 | 1,03·10 |
400 | 5,90·10 |
500 | 3,48·10 |
600 | 2,64·10 |
800 | 6,05·10 |
1000 | 2,02·10 |
1100 | 3,23·10 |
|
|
Длина волны, нм | |
200 | 8,03·10 |
205 | 6,22·10 |
210 | 2,30·10 |
215 | 4,15·10 |
220 | 9,01·10 |
225 | 1,20·10 |
230 | 1,68·10 |
235 | 1,75·10 |
240 | 1,83·10 |
245 | 1,99·10 |
250 | 2,17·10 |
255 | 2,38·10 |
260 | 2,61·10 |
265 | 2,79·10 |
270 | 2,98·10 |
275 | 3,16·10 |
280 | 3,35·10 |
285 | 3,59·10 |
290 | 3,78·10 |
295 | 3,99·10 |
300 | 4,13·10 |
305 | 4,49·10 |
310 | 4,88·10 |
315 | 5,22·10 |
320 | 5,59·10 |
325 | 5,86·10 |
330 | 6,15·10 |
335 | 6,44·10 |
340 | 6,74·10 |
345 | 7,01·10 |
350 | 7,30·10 |
355 | 7,63·10 |
360 | 7,98·10 |
365 | 8,33·10 |
370 | 8,70·10 |
375 | 8,76·10 |
380 | 8,82·10 |
385 | 9,07·10 |
390 | 9,32·10 |
395 | 1,000 |
400 | 8,08·10 |
|
|
Длина волны, нм | |
270 | 7,83·10 |
275 | 1,03·10 |
280 | 1,33·10 |
285 | 1,68·10 |
290 | 2,09·10 |
295 | 2,57·10 |
300 | 3,13·10 |
305 | 3,75·10 |
310 | 4,49·10 |
315 | 5,37·10 |
320 | 6,38·10 |
325 | 7,55·10 |
330 | 8,94·10 |
335 | 1,04·10 |
340 | 1,21·10 |
345 | 1,42·10 |
350 | 1,62·10 |
355 | 1,85·10 |
360 | 2,12·10 |
365 | 2,39·10 |
370 | 2,70·10 |
375 | 3,05·10 |
380 | 3,44·10 |
385 | 3,84·10 |
390 | 4,27·10 |
395 | 4,72·10 |
400 | 5,21·10 |
405 | 5,74·10 |
410 | 6,33·10 |
415 | 6,90·10 |
420 | 7,56·10 |
425 | 8,20·10 |
430 | 8,90·10 |
435 | 9,68·10 |
440 | 1,05·10 |
445 | 1,13·10 |
450 | 1,21·10 |
455 | 1,30·10 |
460 | 1,39·10 |
465 | 1,48·10 |
470 | 1,58·10 |
475 | 1,68·10 |
480 | 1,78·10 |
485 | 1,88·10 |
490 | 1,99·10 |
495 | 2,10·10 |
500 | 2,22·10 |
505 | 2,33·10 |
510 | 2,45·10 |
515 | 2,57·10 |
520 | 2,69·10 |
525 | 2,81·10 |
530 | 2,94·10 |
535 | 3,07·10 |
540 | 3,20·10 |
545 | 3,33·10 |
550 | 3,46·10 |
555 | 3,59·10 |
560 | 3,72·10 |
565 | 3,86·10 |
570 | 3,99·10 |
575 | 4,12·10 |
580 | 4,26·10 |
585 | 4,39·10 |
590 | 4,52·10 |
595 | 4,66·10 |
600 | 4,79·10 |
605 | 4,93·10 |
610 | 5,07·10 |
615 | 5,21·10 |
620 | 5,34·10 |
625 | 5,48·10 |
630 | 5,61·10 |
635 | 5,75·10 |
640 | 5,88·10 |
645 | 6,01·10 |
650 | 6,14·10 |
655 | 6,27·10 |
660 | 6,39·10 |
665 | 6,52·10 |
670 | 6,64·10 |
675 | 6,76·10 |
680 | 6,88·10 |
685 | 7,00·10 |
690 | 7,12·10 |
695 | 7,24·10 |
700 | 7,35·10 |
705 | 7,46·10 |
710 | 7,57·10 |
715 | 7,68·10 |
720 | 7,78·10 |
725 | 7,88·10 |
730 | 7,98·10 |
735 | 8,07·10 |
740 | 8,16·10 |
745 | 8,25·10 |
750 | 8,34·10 |
755 | 8,42·10 |
760 | 8,51·10 |
765 | 8,59·10 |
770 | 8,67·10 |
775 | 8,75·10 |
780 | 8,83·10 |
785 | 8,90·10 |
790 | 8,97·10 |
795 | 9,04·10 |
800 | 9,11·10 |
805 | 9,18·10 |
810 | 9,24·10 |
815 | 9,30·10 |
820 | 9,35·10 |
825 | 9,40·10 |
830 | 9,45·10 |
835 | 9,50·10 |
840 | 9,54·10 |
845 | 9,59·10 |
850 | 9,63·10 |
855 | 9,67·10 |
860 | 9,70·10 |
865 | 9,74·10 |
870 | 9,77·10 |
875 | 9,80·10 |
880 | 9,82·10 |
885 | 9,85·10 |
890 | 9,87·10 |
895 | 9,89·10 |
900 | 9,91·10 |
905 | 9,93·10 |
910 | 9,95·10 |
915 | 9,96·10 |
920 | 9,97·10 |
925 | 9,98·10 |
930 | 9,98·10 |
935 | 9,99·10 |
940 | 9,99·10 |
945 | 1,000 |
950 | 1,000 |
955 | 1,000 |
960 | 9,99·10 |
965 | 9,99·10 |
970 | 9,98·10 |
975 | 9,98·10 |
980 | 9,97·10 |
985 | 9,96·10 |
990 | 9,96·10 |
995 | 9,95·10 |
1000 | 9,94·10 |
1005 | 9,93·10 |
1010 | 9,91·10 |
1015 | 9,89·10 |
1020 | 9,88·10 |
1025 | 9,86·10 |
1030 | 9,83·10 |
1035 | 9,81·10 |
1040 | 9,79·10 |
1045 | 9,77·10 |
1050 | 9,74·10 |
1055 | 9,71·10 |
1060 | 9,68·10 |
1065 | 9,65·10 |
1070 | 9,62·10 |
1075 | 9,59·10 |
1080 | 9,56·10 |
1085 | 9,53·10 |
1090 | 9,50·10 |
1095 | 9,47·10 |
1100 | 9,43·10 |
8.3.3 Определение погрешности, обусловленной отклонением коэффициента линейности от единицы. Определение границ диапазона измерений энергетической освещенности
8.3.4 Определение погрешности угловой коррекции чувствительности
При превышении приведенного значения косинусной погрешности допускается ограничивать угол зрения радиометра УФ-излучения с указанием в паспорте радиометра значения угла зрения и поправочных коэффициентов, учитывающих угловые размеры излучателя.
9 Обработка результатов измерений
Обработку результатов измерений характеристик радиометров УФ-излучения и определение основной относительной погрешности проводят в соответствии с ГОСТ 8.207.
Граница относительной неисключенной систематической погрешности радиометров УФ-излучения не должна превышать 16%.
9.4 Результаты поверки радиометров УФ-излучения считают положительными, если предел допускаемой основной относительной погрешности не превышает 20%.
10 Оформление результатов поверки
10.1 При положительных результатах поверки оформляют свидетельство о поверке и радиометр допускают к применению в качестве средств измерений характеристик УФ-излучения в фотолитографии.
10.2 При отрицательных результатах поверки свидетельство аннулируют и выдают извещение о непригодности.
Приложение А
(обязательное)
Характеристики радиометров УФ-излучения
Библиография
[1] CIE N53 Methods of characterizing the performance of radiometers and photometers. - 1982. - 24 p.